【国家标准(GB)】 电子显微镜X射线泄漏剂量

中华人民共和国国家标准
电子显微镜X射线泄漏剂量Www.bzxZ.net
The dose of X-rays leakage from electron microscope1主题内容与适用范围
GB 7667--1996
代替GB7667--87
本标准规定了电子显微镜（以下简称电镜)X射线泄漏剂量、试验方法及检验规。本标准适用于透射、扫描、反射、透射扫描和电子探针等不同类型的电镜。2技术要求
电镜X射线泄漏的空气吸收剂量率不应大于2.5μGy/h。3试验方法
3.1试验设备
带有修正因子（指校正X射线）X射线剂量率仪，其等级为二级。最小档刻度值不能大于1μGy/h。3.2试验步骤
3.2.1将加速电压调到最高档，选用最大正常工作束流和最大束斑。3.2.2将聚光镜调整到正常工作状态，放大倍率调到最低档，并将活动光阑全部退出。对扫描电镜和电子探针等测应以钨为样品将吸收电流调到最大值。3.2.3试验部位为照相室、观察室、样品室、活动光阑、电子枪（电镜加速电压等于大于400kV的电子枪被测部位指隔离层）、真空管道、显像管、镜筒及其附属装置。在试验样品室以上的部位时，则应将物镜活动光阑插入电子束通道、
3.2.4将X射线剂量率仪在离开试验部位50mm处作缓慢移动，测出其X射线最大泄漏的空气吸收剂基率。
4检验规则
产品检验抽样方案按逐台检验方案进行。附加说明：
本标准由中华人民共和国机械工业部提出。本标准由上海电子光学技术研究所负责起草并归口。国家技术监督局1996-08-13批准634
1996-12-01实施
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