【国家标准(GB)】 电子显微镜X射线泄漏剂量

中华人民共和国国家标准 电子显微镜X射线泄漏剂量 The Dose of X-rays Leakage from Electron Microscope 1 主题内容与适用范围 本标准规定了电子显微镜（以下简称电镜）X射线泄漏剂量、试验方法及检验规则。本标准适用于透射、扫描、反射、透射扫描和电子探针等不同类型的电镜。 2 技术要求 电镜X射线泄漏的空气吸收剂量率不应大于2.5μGy/h。 3 试验方法 3.1 试验设备 带有修正因子（指校正X射线）的X射线剂量率仪，其等级为二级。最小档刻度值不能大于1μGy/h。 3.2 试验步骤 3.2.1 将加速电压调到最高档，选用最大正常工作束流和最大束斑。 3.2.2 将聚光镜调整到正常工作状态，放大倍率调到最低档，并将活动光阑全部退出。对扫描电镜和电子探针等测量应以钨为样品，将吸收电流调到最大值。 3.2.3 试验部位为照相室、观察室、样品室、活动光阑、电子枪（电镜加速电压等于或大于400kV的电子枪被测部位指隔离层）、真空管道、显像管、镜筒及其附属装置。若试验样品室以上的部位时，则应将物镜活动光阑插入电子束通道。 3.2.4 将X射线剂量率仪在离开试验部位50mm处作缓慢移动，测出其X射线最大泄漏的空气吸收剂量率。 4 检验规则 产品检验抽样方案按逐台检验方案进行。 附加说明：本标准由中华人民共和国机械工业部提出，本标准由上海电子光学技术研究所负责起草并归口。国家技术监督局1996-08-13批准，1996-12-01实施。