【其他行业标准】 钛蒸发料

ICS77.150.50
中华人民共和国有色金属行业标准YS/T1141—2016
钛蒸发料
Evaporatedtitaniummaterial
2016-07-11发布
中华人民共和国工业和信息化部发布
2017-01-01实施
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。YS/T1141-2016
本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。本标准主要起草人：张涛、刘书芹、何金江、万小勇、徐学礼、罗俊锋、丁照崇、王越、高岩、刘冬青、吴艳华。
1范围
钛蒸发料
YS/T1141—2016
本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)内容。
本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。2
规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划GB/T4698.7海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氧量、氮量的测定GB/T4698.14海绵钛、钛及钛合金化学分析方法碳量的测定GB/T4698.15海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氢量的测定YS/T891
高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法YS/T892高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定电感耦合等离子体质谱法3要求
3.1产品分类
3.1.1产品按照纯度分为IC-Ti99.9、IC-Ti99.995、IC-Ti99.999三个牌号。3.1.2产品主要分为片状、柱状，如图1所示。A
说明：
A——边长；
B——边长；
C——厚度；
D—直径；
L-—长度。
a）片状
b)柱状
图1钛蒸发料示意图
YS/T1141-—2016
化学成分
产品的化学成分
产品的化学成分要求见表1。
钛蒸发料的纯度，按照减量法计算，即为100%减去表中规定的杂质实测总和而得。需方对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商执行。表1化学成分
IC-Ti99.9
IC-Ti99.995
IC-Ti99.999
IC-Ti.99.9
IC-Ti99.995
IC-Ti99.999
IC-Ti99.9
IC-Ti99.995
IC-Ti99.999
Ti(质量分数）/%，
不小于
Ti(质量分数)/%，
不小于
Ti(质量分数)/%，
不小于
产品的气体杂质元素含量
产品的气体杂质元素含量要求见表2。表2
IC-Ti99.9
IC-Ti99.995
IC-Ti99.999
几何尺寸
Ti(质量分数)/%，
不小于
产品的规格及允许偏差见表3。
杂质含量（质量分数)（X10=*)/%，不大于B
杂质含量（质量分数）（X10-*)/%，不大于Mg
杂质含量（质量分数）（×10-*)/%，不大于Th
气体杂质元素含量
气体元素含量（质量分数）（×10-4）/%，不大于c
允许偏差
表3规格及允许偏差
注：经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的产品。3.4外观质量
3.4.1产品表面应光亮平整、洁净，边角完整，无飞边、毛刺、夹杂和裂纹等缺陷。3.4.2产品表面应清洁、无油污和锈蚀；应无颗粒附加物和其他沾污。3.4.3产品端面或表面允许有轻微的冲、剪、裁等痕迹。4试验方法
4.1化学成分的分析方法
YS/T1141—2016
单位为毫米
金属杂质元素的分析方法：牌号为IC-Ti99.9的产品按照YS/T892测定；牌号为ICTi99.995%和IC-Ti99.999的产品按照YS/T891测定。4.1.2非金属杂质元素C、H、N、O的分析方法按照GB/T4698.14、GB/T4698.15、GB/T4698.7的规定进行。
4.1.3非金属杂质元素S的分析方法按照YS/T891的规定进行。4.2产品几何尺寸测量
用相应精度的量具测定。
4.3外观质量
用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。5检验规则
5.1检查和验收
5.1.1产品由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准和合同（或订货单）的规定，并填写质量证明书。
5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准（或订货合同）的规定不符时，应在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方共同进行。
5.2组批
产品应成批提交检验。每批应由同一牌号、同一规格的产品组成。3
YS/T1141—2016bZxz.net
5.3检验项目及取样
产品检验项目、取样位置及数量符合表4的规定。表4检验项目及取样
检验项目
化学成分
几何尺寸
外观质量
取样位置
成品随机取样
成品随机取样
检验结果的判定
取样数量
每批一份，供方可以由原铸锭分析结果报出：需方在产品上取样分析
按GB/T2828.1取S-1，AQL=1.5抽取样品按GB/T2828.1取S-1，AQL=1.5抽取样品5.4.1化学成分不合格时，则判该批产品为不合格。要求的章条号
试验方法的章条号
5.4.2几何尺寸、外观质量不合格时，则判该批产品不合格。但允许对余下的产品进行逐件检验，合格者重新组批交货。
6标志、包装、运输、贮存及质量证明书6.1标志
已检验合格的每瓶或每袋产品应附标签，并注明以下内容：a）产品名称；
牌号；
规格；
净重；
批号；
生产日期；
供方名称；
生产厂家地址电话。
包装、运输和贮存
6.2.1产品内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种，塑料瓶包装的瓶口铝封膜要封口完整，无开裂、无贯通。真空袋封口要平整无贯通，真空袋体无漏洞和泄漏。6.2.2产品外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装。6.2.3产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沾污产品，并保证运输过程中产品及包装完整。6.2.4产品应保存于清洁、干燥的环境中。6.3质量证明书
每批产品应附有质量证明书，并注明以下内容：需方名称；
供方名称；
产品名称；
d）牌号；
规格；
数量；
净重；
批号；
各项分析检验结果及质量部门印记；生产日期；
本标准编号（YS/T1141—2016）。合同（或订货单）内容
订购本标准所列产品的合同（或订货单）内应包括下列内容：产品名称；
牌号；
规格；
数量；
本标准编号（YS/T1141-2016）；其他。
YS/T1141—2016
YS/T1141-2016
中华人民共和国有色金属
行业标准
钛蒸发料
YS/T1141—2016
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中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销
开本880×12301/16
2017年5月第一版
印张0.75字数10千字
2017年5月第一次印刷
书号：155066·2-31620定价
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