【其他行业标准】 钨钛合金靶材

ICS 77. 160
中华人民共和国有色金属行业标准YS/T1129—2016
钨钛合金靶材
Tungsten titanium alloy sputtering target2016-07-11发布
中华人民共和国工业和信息化部发布
2017-01-01实施
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。YS/T1129—2016
本标准起草单位：西安瑞福莱钨钼有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司、厦门虹鹭钨钼工业有限公司。
本标准主要起草人：李长亮、任吉文、刘云飞、苏国平、白锋、韩蕊蕊。I
1范围
钨钛合金靶材
YS/T1129—2016
本标准规定了溅射用钨钛合金靶坏的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同)等内容。
本标准适用于钨钛合金溅射靶材加工用靶坏规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法GB/T4324（所有部分）钨化学分析方法GB/T6394
GB/T8651
GB/T14265
YS/T901
3要求
3.1分类
金属平均晶粒度测定方法
金属板材超声板波探伤方法
金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则高纯钨化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法
产品按外形分圆形、矩形。
产品按化学成分分为WTi-99.9、WTi-99.95、WTi-99.99、WTi-99.995、WTi-99.999。3.1.2
化学成分
产品的化学成分应符合表1的规定，其中钨钛含量为100%减去表中非气体杂质实测含量总和。表1化学成分
钨钛含量（质量分数）/%，不小于合金元素含量wwW.bzxz.Net
（质量分数）/%
非气体杂质含量
（质量分数）/%
（×10-6），不大于
WTi-99.95
WTi-99.99
WTi-99.995
WTi-99.999
YS/T 1129—2016
钨钛含量（质量分数）/%，不小于Fe
非气体杂质含量
（质量分数）/%
（×10-），不大于
气体杂质含量
（质量分数）/%
（×10-6），不大于
Li+Na+K
产品的密度值应不小于理论密度的98%。晶粒尺寸
表１（续）
WTi-99.95
WTi-99.99
产品由钨和钛两种晶粒组成，两者的晶粒尺寸应符合表2规定，晶粒尺寸
晶粒组成
钨晶粒尺寸
钛晶粒尺寸
平均值/μm
WTi-99.995
最大值/μm
WTi-99.999
3.5内部质量
产品的内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷。3.6尺寸及其允许偏差
产品尺寸及允许偏差应符合供需双方签订的技术图样。3.7外观质量
产品表面应清洁，无油污、锈蚀、无颗粒附加物，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。4试验方法
4.1化学成分分析方法
YS/T1129—2016
4.1.1纯度为99.9%、99.95%、99.99%的产品中非气体杂质元素分析按照GB/T4324（所有部分）的规定进行；纯度为99.995%和99.999%的产品中非气体杂质元素的分析按照YS/T901的规定进行4.1.2气体元素C、N、O、H、S分析按照GB/T14265的规定进行4.1.3Ti元素的分析方法用电感耦合等离子体光谱法测定。4.2
2密度检验
产品的密度检验按照GB/T3850的规定进行。4.3晶粒尺寸检验
产品的晶粒尺寸检验按照GB/T6394的规定进行。4.4内部质量检验
产品的内部质量检验按照GB/T8651的规定执行。4.5尺寸及其允许偏差检验
产品外形尺寸及其允许偏差应用相应精度的量具进行测量。6外观质量检验
产品外观质量用目视检查，必要时，用放大镜进行检验。5检验规则
5.1检查和验收
5.1.1产品应由供方进行检验，保证产品质量符合本标准及订货单（或合同）的规定，并填写质量证明书。
2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验，复验结果与本标准及订货单（或合同）的规定不5.1.2
符时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方共同进行。
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5.2组批
产品应成批提交验收。每批应由同一牌号、同一规格的产品组成。3检验项目及取样
产品的检验项目及取样见表3。
表3检验项目及取样
检验项目
化学成分
晶粒尺寸
内部质量
尺寸及其允许偏差
外观质量
检验结果的判定
取样规定
每批随机抽取1件，在靶坏边部取样每批随机抽取1件，在靶坏边部取样逐件
要求的章条号
试验方法的章条号
5.4.1产品化学成分、密度检验不合格时，应加倍取样进行重复检验（含原件），若复验后仍有一个检验结果不合格时，则判该批产品不合格。2产品晶粒尺寸检验不合格时，应加倍取样进行重复检验，若有一项不合格，则判该批产品不5.4.2
合格。
产品内部质量、尺寸允许偏差及外观质量检验不合格时，则判该件产品不合格，标志、包装、运输、贮存及质量证明书6
每块检验合格产品上进行如下标记：供方名称；
产品名称和牌号；
生产批号。
在每个外包装上贴纸质标贴，外包装应注明以下内容：供方名称；
产品名称；
产品牌号；
订单编号；
生产批号；
出厂日期；
其他。
6.2包装
6.2.1产品内包装应单块采用塑料袋密封包装。4
YS/T 1129—2016
2外包装采用木箱包装。包装盒内应有防碰撞措施，各个方向均有缓冲物质（如珍珠棉）包覆。将6.2.2
质量证明书用塑封袋装好后粘贴于包装盒内侧。3运输与存
产品应贮存在于清洁的环境中。运输及贮存过程中，应注意防震、防潮、防压，防止二次污染。6.4
质量证明书
每批产品应附有质量证明书，注明以下内容：a)
供方名称、地址、电话、传真；产品名称；
牌号：
订单编号；
生产批号；
分析检测结果和检印；
出广日期。
订货单（或合同)内容
订购本标准所列产品的订货单（或合同)应包括以下内容：a)
产品名称；
牌号；
c）规格；
d）数量；
本标准编号，YS/T1129—2016；e）
其他。
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