本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备亦可参照执行。 SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范 SJ/T11275-2002
本规范规定了推板式高温隧道电窑通用术语、产品分类型号及命名方法、技术要求、试验方法、验收方法及设备标志、包装、运输、贮存的基本要求。本规范适用于电子行业各种型号规格的推板式高温隧道电窑,包括:在空气气氛或在保护气氛中烧结产品的导轨式窑、辊道一导轨式窑。其他行业类似设备亦可参照执行。 SJ/T 112
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