本文件规定了在产品技术文件中与基准和基准体系标注及理解相关的术语、规则和方法。本文件同时提供了所涉及概念的相应解释，以便于理解。 本文件定义了建立基准和基准体系的规范操作集（见GB/T24637.2）。其检验操作集（见GB/T24637.2）可以采用不同的形式（实物模拟或数学拟合），但这不是本文件所

本文件规定了稳健区域高斯滤波器，特别指定了如何分离表面的长波和短波成分。 本文件适用于可能包含尖峰不连续、深谷和高峰特征的表面评定。

本文件规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉(CSI)测量系统的计量特性。

本文件规定了使用点自动对焦探针测量表面结构的非接触式仪器的计量特性。

本文件规定了使用变焦（FV）传感器测量表面结构的非接触式仪器的计量特性。

本文件规定了使用基于白光轴向色散特性的共聚焦色差探针测量表面结构的非接触式仪器的设计与计量特性。

本文件规定了用于存储和交换形貌及轮廓数据的XML文件格式x3p。

本文件建立了有关区域形态学分割的术语和概念。 本文件假定为连续表面，特别描述了分水岭分割算法和沃尔夫修剪算法。

本文件规定了相移干涉法（PSI）轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。

本文件规定了适用于区域法评定表面结构（尺度限定表面）的完整规范操作集。