【电子行业标准(SJ)】 铬版

UDC621.382.019.77:531.7
中华人民共和国国家标准
GB 7237--87
降为SJ/T10857-96
铬版及其测试方法　
Chrome blanks and their testing methods1987-02-06发布
1987-11-01实施
国家标准局发布
中华人民共和国国家标准
Chronme bianks
本标准适用于半导体器件(分立器件和集成电路)用铬版。品种规格
见表1。
标称尺寸，mm
50×50×1.6
63×63×1.6
76×76×1.6
101×101×1.6
101×101×2.3
127×127×2.3
2定义
基片材料及代号
绿玻璃（L）
白冕玻璃（B）
低膨胀玻璃（D）
石英玻璃（S）
铬膜及代号
亮铬版（L）
低反射率铬版（DL）
621.382.049
.77 : 531.7
GB7237-87
光刻胶膜
正性光刻胶
2.1质量区：比标称尺寸小12.5mm的中心区圆面积。例如：101mm×101mm基片的质量区为@88.5mm。
质量区图示见下图。
国家标准局1987-02-06批准
1987-1101实施
GB 7237-87,
质量区
L-长度；W-宽度，Φ—直径，L=W标称尺寸L与质量区直径Φ的关系列于表2。表2
标称尺寸(L)
50×50×1.6此内容来自标准下载网
63×63×1.6
76×76×1.6
101×101×2.3
127127×2.3
质量区直径（Φ）
2.2平整度：样品质量区表面上最高点与最低点（峰与谷）的高度差。2.3针孔：为不透明膜上的任何透光点。大小以最大尺寸为准。针孔群就是相互距离在1mm之内的两个或多个针孔。
2.4光密度与透光率的关系为：
式中：D——光密度，
【人——人射光强度；
I透——透射光强度。
3技术要求
3.1基片
3.1.1基片尺寸规格见表3。
标称尺寸
50×50×1.6
63×63×1.6
76×76×1.6
101×101×1.6
101×101×2.3
127×127×2.3
GB7237-87
长（L）×宽(W）×厚（T)
50.8-0.4×50.8-.4×1.6±0.1
63.5-0.4×63.5-0.4x1.6±0.1
76.2-0.4×76.2-0.4x1.6±0.1
101.5-0.8x101.5-0.gx1.6×0.1101.5 -0.g× 101.5-0.gx 2.3±0.1127.0-0.8127.0-0.gx2.3±0.1
3.1.2正方度：小于0.006mm/1mm。边缘：基片的所有边缘都经过研磨并倒成45°角。3.1.3
平整度规定见表4。
50×50×1.6
63×63×1.6
注：各种平整度范圈大于下限小于或等于上限。3.2铬膜
76×76×1.6
平整度
3.2.1铬膜种类：亮铬L，低反射率铬DL。3.2.2厚度及其偏差规定见表5。表5
厚度（nm）
130160
注：其它膜厚指标由供、需双方商定。同一块版内厚度偏差
101×101×1.6
101×101×2.3
127×127×2.3
不同批次厚度平均值偏差
GB7237-87
3.2.3光密度为2.5±0.3（在白光下测量）。3.2.4表面反射率规定见表6。
充铬版（正面）
低反射率铬版（正面）
测试波长（nm）
400~600
405~436
3.2.5针孔
针孔在质量区内，应为无规则分布，无针孔群，无5μm以上的针孔。2～5μm以下的针孔密度规见表7。针孔密度等级
3.2.6腐蚀特性
3.2.6.1腐蚀液配方
硝酸铈铵Ce（NH)2（NO)6（AR）冰醋酸CH;COOH（99%）35ml
去离子水H,0
温度22±1℃
反射率
针孔密度（个数/cm2）
3.2.6.2腐蚀时间小于60s。
3.2.6.3均匀性：同一批和不同批次版与版之间腐蚀时间的变化不得超过表8规定。表8
同-批版与版之间
不同批版与版之间
3.3光刻胶膜
3.3.1厚度：400nm、500nm、600nm。3.3.2均匀性：±3.3%
腐蚀时间
3.3.3表面质量：在漫射的黄色安全灯光下用肉眼检查，在质量区内应无肉眼可见的颗粒、斑点、气泡、彗星状划痕等缺陷和变色。胶膜厚度在均匀性规定的范围内亦属合格。4试验方法
基片尺寸
GB7237-87
长度、宽度尺寸用精度达0.02mm的游标卡尺测量；厚度用百分表测量。4.2基片正方度用精度为2的万能量角器测量。4.3基片平整度按GB7238一87《玻璃及铬版表面平整度的测试方法》进行测试。4.4铬膜厚度按GB7239-87《铬版铬膜和胶膜厚度的测试方法》进行测试。4.5铬膜光密度按GB7241一87《铬版光密度的测试方法》进行测试。4.6表面反射率GB7240一87《铬版铬膜表面反射率的测试方法》进行测试。4.7针孔密度用40倍大视场立体显微镜测量，针孔尺寸大小用500倍显微镜测量。4.8光刻胶膜厚度按GB7239-87进行测试。4.9光刻胶表面质量，在100级超净台内黄色安全灯下，按3.3.3条表面质量的规定，用肉眼检查光刻胶表面质量。
5检验规则
5.1产品供货方的检验部门按本标准进行检验，并附有检验合格证。5.2使用方收到产品时，应根据产品发运单及时检查包装质量和产品完整与否。凡因包装质量而造成的产品损坏，应在到货之日起的15日内向供货方提出交涉。5.3使用方收到产品后，按本标准规定进行验收，如发现产品不符合本标准规定时，在到货之日起三个月内向供货方提出，经双方协商后进行复验或聘请第三者仲裁。5.4交收抽样试验。用户收到铬版3个月内，在规定的环境条件下，每30块任意抽5块检验如下项目：
外型尺寸及外观，
b.针孔，
c.胶膜表面均匀性及缺陷：
d．铬膜面平整度。
6包装、运输、贮存
6.1包装
6.1.1内包装：应在100级净化等级，相对湿度50±5%，温度22±1℃的黄色安全灯下用ABS或聚丙烯塑料制成的包装盒包装。内加垫片以防晃动，在上、下盒盖交界处用不透光的胶带密封。每盒上均贴上合格证，合格证上应注明：a.产品名称、编号：
产品级别、胶种类、厚度；
数量；
铬版类型与规格尺寸，
检验日期及检验员签章。
6.1.2：内包装每盒分10片、15片、20片和30片四种包装。外包装采用钙塑瓦楞纸或硬纸板制作的箱子包装，包装箱应附有标签并标明：6.1.3
产品名称、牌号；
b.产品编号；
出版日期，
d．制造单位。
6.1.4包装箱外应印有：保持干燥，向上1，小心易碎等字样和合同号，发收货地址及单位。6.2运输
产品在运输过程中防湿、防震、防损伤。不得与腐蚀性物质混装运输。
6.3贮存
GB 7237-87
6.3.1贮存条件：产品应存放在温度为5~25℃，相对湿度不大于60%，避光、干净、无有害气体的库房内。
贮存期：从出厂之日起，限期为6个月。6.3.2
附加说明：
本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标准由电子工业部标准化研究所、电子工业部4435厂和航天工业部771所负责起草。6
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