【电子行业标准(SJ)】 压阻式压力传感器总规范

中华人民共和国电子行业标准
SJ/T10429—93
压阻式压力传感器总规范
General specification for thePiezoresistive pressure transducer1993-12-17发布
1994-06-01实施
中华人民共和国电子工业部发布中华人民共和国申子行业标准
压阻式压力传感器总规范
General spccificatinn for thc Piczo-Fesistive pressurre Irsunsdueer1主期内溶和适用范压
SJ/T10429—93
本标准规定了压用式压力传感器（以下科称传感器的待生和先先估、式验方法，验收规则。
本标准适压式压力传感得的研剂，生产和使月中作为设计、试塑和验收的依据，2引用标准
GR2422
GR2423,2
GR 2433.3
CB2123.1U
GT2423.15
GH2523
GB7663
3名词术语
申工自子产品成本坏随试源想理总则电工电于产品基本环境试验规程名调术落电工电子产品蒸本环烧磁规程试险A：低温电工电子产品基本环境试验规程试验R：高温电工化子产品据本环境试验规程试整Ca恒定流熟电工电子产品激本动境试游规症电工电子产品基本环境试避现程心工也子产品基中环境试整趣程避批控查计数抽样理序及表
传盛器通用术进
武路Ea，中击
战验Fc：振动（正强的）
就整G：恒加速度
B65划定的术谱外，下刻术谱适州平本标座：要息稳定性
在规是工作条件下传感器在…定时间间陷内识持零点输出稳定的程度.满量程输出稳定呢
在规定工作条件下，传感器在一定时间间随内+识持满车程确出定间理港。4特性和优先值
4.1被测压力的类型
稳对压力、表压力和差压、并虚指是艳态压力或动态正力、中华人民共和国电予工业部1993-12-17发布1994-06-01实施
4.2热测介质的类型
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气体，液体、度蚀介质和非蚀介质等，4.3转换元件的类型
粘始体型、扩款型、兰宝面外延硅应变计等。非粘贴型：口制作应变让的杯、柱，梁尊，4.4查芯困
传感器测意范的上限值（对十负正传感器为下限低）应以下述系列中述取：1. nxi0a
5.0×10°
其中-0,1.2,......
6.0×10l%
必要时也可以使用kPa、MPa，GPa为单。对于券压传成应路出压力，
4.5工作银度范围
传感器工作竭度范用的上、下限温变皮从下列退皮中选收，下限将度,—53.—40,—25,—10,十5C下限温度：4n、55、70.85.100、125.15%、2G0℃注若无其请志，在200℃以上即000℃以下内陷度内应优先选用下州数值：25.316.4:10,63FxmmG.
4-石“激动电源
当件感蛋的邀励品恒压源时.其现值为6、9.13,15、18、24V真流或冬统有效值，变证供电时度给出熟率。
当传够器的激励楚恒疏源时、具代先值为L、2.5.10mA。4.7绝缘电阻
传感器的绝漆自阻应不小乎100M2.稳态湿热后应不小生50M。4.B举点输出
传您器的等点物山应以下列值中选：2%、5.10%.29%3S，
4.9满量程拍出
传感器的满量程输出的标称位应从下列值中选取。20.50160.200.50个nV1
5,10,20,50 mA,
上标称值的充许惯差分别均0%士2%、%，上.0%，4. 10 精度等娠
伐够器的构确度等必表上中造攻精病度等经
注带报的等级为不推荐值，
4.11零点时源
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传感器的琴点时操空从下列值中选求：东许带产强差
（相对尚量程输值）
+心2%
±1.0%、±0.5%，±0.25%、=0.1%、±0.05%、±0.02、±0.01%,±0.05%F5，4.12热零点源秘和热灵敏度漂秘传感器在工作温度或规定的补性温度范国内，感器的热零点镶移和热敏良票落应从下研值中遂攻，
±0. 5%.±0. 1%,±0.05%、±0. 02%,±0. 01%、±C. 0%F/它。4.13充许过载
传感群的允许过载应从下列值中选液120%.450%、200%.300%，
4、14零点稳定性和游量理辅出总定性恋器崎学点稳定性和满量程拾出稳定性应忧先从下列值宁选联：2%、1.0%、0.3%.0.2%C-1%.0.05%Fs(1年或6个H3,5试验方法
5.1试验大气年件
除非木标雅另有规定外，所有试验均在GB2421规定的“正常的试验人气策*下进行。止常的试验人气条件
：15~35己
相对虚度：45~75%
压：86-106k1a
5.2试将设备及要求
5.2.1标准露
标准器基本误差的绝对莅不应超过效测传感需许基本误差绝对值的1/3，对0.05燃的被测传够器可以选用一等标准舒，所用标准器应有未过期的检定证书。SI/1 10429 93
与标准光能至的正款真究员统店能生宝测范国内过调5.2-2做刷中源
超传感轻要求配备，北热定度接传感转安要求施家，一整为装测传牌器允许实木房差的1/3--1/10。
5.2-3数记录装网
读致记录装置可根据传感器紧求能备，其议差应为流传感器免许本劳的1/105.2.4其定设备及州局
其它设备及用具根专临端要求而资。5.3外现检卖
产品的外用目遵论查，密无可比伤。5.4标志
产品的量用目谢变，应送。
5.5外形总安装尺
详细裁微中指明的适个于量具副盘的以寸都世进行检查，应衍合详洲规范规定的设计图要求，
5-6抢入乳扰电用
当输端并的时，来用组航测试仪器测战传站器输入的阻新，共结具和测试键率应符骨详细规范的超定：
在供电时，！给出箱入电医，
5.了输出阻抗（电阻）
当挚入短略时，采用阻玩测试仪留量传感馨物出罪的阳抗，其结果和划试版牢应节台洋细规的规定，
在直流供审只给出输出出压，
5.8绝缘电阻
用高函测试仪测量传感器输出·入端与壳体之间的论象四附，其结果应行台1.7承内见宽
除非另有现定+测盛心医100士15Vc，5.9手点输出
传感解按详细规范规定的激励供车，于热mm后，在不均压杀件下测量传感器的箱出，绝压传感密孕点输山的测成杀件应压详细规范中规定，测盘结果应衍合4.8条的规定。
5.10静态校准
5.0落器的整案接准成遵守下列案计5.10.1.1传够器依不同精功度等级，采用下列坏境摄：0. 02数以上
0. 05 级~~心. 1 级
0. 2 纸 ~0. 5 级
其它等级
20±2℃
相对湿度
45~~75%
B-~inGkPa
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5.10.1.2应按计细规举规定的激动供电.并符介4.6条的规益。5.10.1.3除非另有规定，格难前传感器子热时间为a0nir.，5.10.1.4教准前传感器加压统应加满以程压力+检吉气率性对十粘贴H阻式K小传盛器应子压三款，
5.10.2控难秤序
5.10.2.1传虑器全量拐范围内合理分布校准点，其数思不少于入点（包据季点及橘量程点）.5.10.2.2快准从测盘范围下限开始-接规定的各依准点平德地加压至测量范围,上限值（称为正行理)替厅按原校准点供字面控（为反行程)。分别记录正反行程各按准点的数相。一.个正、反行程称为一个循环。
设行我的输出上限值应是在正行程上限压力提高约2%后，再面谢测量范间主限时第二次读取的数据，
5..2.3静态校难至少需要连续进行三个循坏。5.103工作直线
本标准规定以校推数据的“母小二乘直战为工作直载，其特性方程变示如下：Y-
式中,
传感器的输出mV.V载nA
——传感器的拍人压力+Pa,KPaMa特性方程的概距
一特性方程的彩率。
.上式中的G、占按下式计：
式中Y-一第i个校准点箍值的Y均值，mY、V或mA热——校准点效
X：第上个控点的箱人压力，Pa.户M2a5.10.4询量给出
510.4.1传需的满量程输凹准静杰格确片进计算.民计算公式如下：(4)
式中：p-一接1作言线确是的划股也回上限的输出销，mV，V成mA——按作方钱通定的澳范用下取的输山但.…VV或A5.10.4.2其结果应合4.9热的规定当需给灵整度时，可将满盘挡维出统以压力量而求得，5.10.5非线性课差
5.10.5.1格诚器的非线性送券在静念按准后进行计就，其计并公式如下；式
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×100%）
各拉准点整据均值与工作有线相虚点的怕之差的微大值，㎡Y、V或A5.10-5.2其结果成符台详细规范的规定。5.10.6退带误券
5.10.6.1传宽薪的迟需差在静态按准后进行计算，其计算公式如下：×100
式中,Hm—行校准点上正，反行程给出P均直的大差位，mVV或mA5.10.6.2其结果应合详细超获的热定.5.10.7不更性误节
5.10-7.1停当能的不重复性误差在渗按准后进行计算，其计算公式下，n此内容来自标准下载网
式中：
X1%）
工程上用S代替，计算方法显射录A..5.10.7.2其结果应存合详细规范的规定，5.10.日精确定
5.10.日.传感券的精确度在前态校确后述行计算，求计算公式如下：(Ap)x
不用复生诉差
(AY)nx-正及行档多自交准点教据的平吗伯与.1.作克践把应点的值之差中的最k信,mV.V岁mA
5.10.8.？其果应符合逆组规范卵本标准4.10系的规宝5.11单点时源
5.11.1传感器在试验大气逐件下，购热30min，在不加压情说下，每30in一达零点数帮，连续读取2h（5次）：
传感器的孕点时损按下式计节，X100)
式中AY
零点数据的展大差值，mV.V岁mA.5.11.2其站果应符合详细规范和本标难4.1条的款定，5-12茄穿点遵转
传感器的热单点想按和热灵理停试应间时进行。ta
5-12.1将被测传感器放入试验新，分到在实温，下限湿度叫工限温度各保温至少1h，并记录逆温度时的零点数据。
热琴点漂移按下式计算：
Tm(f--t,)
武中——家摄，除将历市规忘，度为21分别为下限和主限逼，
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Yac—传感器在温度t时的季点输山mV.V或mAYao—传感器在盟度时的车点愉山+mV或mA当规定了盗度补偿滤道时，，则为湿度补偿范国时上、下限温度C)式的分子放火润度补尝范国内举点始山的成大值，5.12.2根据（10式分别计弹止、负温范函的热季点源转（符号应根据计算结果确定），其销果应剂合详纠规范和本标准4.17杀的规定.5.13热敏漂格
5.131将被测传感器放入试验箱，分别在室溢、下限温度和上展温度各闲温至1h，记学上述温唐时的满基理山，
热灵做度源移按下式计算：
Yrsi - Ye × 100<)
式中，Yaa
传态器在湖度，时的满孟式愉出+mV、V或mA传器亡湿度时的满用是愉出mV或m(11)
普规定温度补培游书时则为得年扑偿池压的下限泥年（式分下晚温席补偿指国内满量将输出的母人差值，5.13.2根据上式分别让算正负温范生的热灵觉度两移（符号应根据计律结总确定），共结系应符合详细现范和本标准1.13录的规总.5.14充许过载
5.14.1传感器分许过截试验在静态按准后进行。5.14.2将传感器压全详细规范现完的过载值.除非另有见定，保持其压力3mi，然后减正至零，校化方法进行三次。
5.14.3在试验大气系件下恢或1Gmir.后，进行一个循区萨态测定，其结呆应符合本标准4.10亲的规定，
5.15动态特性
5.15.1当传感誉现定了“动态特性“时，应采用避态而装置要正募压力发生进行动态偿准.
5.15.2当采用屏态激放法试验时，传感端应尽可能按使而能资装状法，装在激波管的侧面或端面。阶快函数的上}：时间盘足够短，至少应是停虑器预期的上升时间的三分之一点更短，在传感等使归率为儿千赫以下，可用正弦正小发生武行校准。当来用正强微型法试验时，正强压力发牛器心剂滋有标随传感器，的尚响成能必优于被测传盛能。
5-15.3共结应符合详细熟范钓规定，5.16择点根究性
传感群的学点疱定生利满您芒物山稳完性应在静态校准后进行5-16.1在评细热范想定的我定非检测期川，传感幕卡H至少连续两也4h次，并按5.3条测基举点输山。各火控测时的境条件应扣同。传感器的季点题定生接下计算，Se
Yo/m ×100%)
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一率定性检测期间内零点数据的报大差值的绝对值-mV、V或ni.4支中！aYmax..
5.16.2其计算结果1Y|mmx不应超过详细规范规定的充许基本误整，So值应符合木标准4.14美的规定
5.17满盘我输出稳定性
5.17.1在详细规范规定的定性检测期间，传感器每月至少连续通电1h次，并按5.10.4条测量满量程输山，各次检测时的环境条件应相同，传够笛的满量程输出稳定性按下式计单：1AYeg/max × 100 %)
359g =
式中Ymnx
稳定性检测期阅内，各次检测的满整程输出值与稳定性检测前的满量程输出值的最大差值的绝对值，mV.V或mA5.17.2其让算结果1>Ygmax不应帮过详组规消规定的允许基本误差5值应符仑本标准4.14条规定。
5.18换动
5.18.1详细现范规定报动试验时，应在静态校准后进行。5.18.2传器应序变GB2423.1U的试验Fu.采用的安装法知严酷等级应在评细规范占规定。
5.13试验后，对传感器逆行外税检查，应本可以损伤：然店，进行一个循坏的链态测定，片确率应符合4.1争的规定、
5.19冲击
5.19.1详规现击试验时，应在静态校难片进行。5.19.2传感器应承受CB2423.5的试龄F4，采用的姿装方法和严借等级应也许细观范中规定。
5.19.3试验后，对传感器进行外惠检变，应无可见担伤，然片，进行·-个筛环的静充测定：其精确度应符合4,10条规定。
5.20恒加速度
5.20.1伴酒规范规定恒加速度试验时，应在静态较准后进行。5.20.2传悠器皮必GB2423.15的试验Ga.果用的安装方法和严酷等级应在详细规范中滤定，
5.20.3试验后，对传感器进行外观检吉，应无可见损物，热后，进行一个循环的静态造，其精确度应符合4.10条的规定。
5.2t恒定湿热
5.21.1转感器应2.7和3.8条测盘前缺电阻和乎点输出。5.21.2当规定了“包封\时，按详划规范的规定让行5.21.3传感器应承受GB2423.3的减验Ca.采用的严等缴应在详细规4规定。5.21.4试验后，在试验大气条件下恢复1-4h，慈后近行外规利标志检查.应符合计细规范的规定，并按4.7和4.8条测尽绝象市阻和零点输出，其结果应符仑细规范的规定，522其地环境试验
其他环境试验如格辅射、送场，气互、产读，宽编射、点宁冷燃将，离蚀性等，应根据传感器的用途和仪计、与用户妙商后在详组越范中规定且体要求，试验方法和验收法法。5.23循环寿命
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5231转感普的循坏券命试胺应在静态校准眉试验人气杀件下逃行5232将传感器安装在压力衰劳试验机上，按通电源.按规定的显率进行满尽程压力的循环试验：数率和循环次教应在详细规范中定，5.23.3循坏试照充许中间体止，以便进行性能检查：但每欲不得超过8小,停止次数不翻过5快：在此期间不得停正供电。
5.23.4F月新环试验期间，应对传感器进行冷却，以避免或减小因调环产生的高虚所造成的其地应力的影响
5.23.5试整后，在试验大气策件下恢真4h，然后进行一个话环的静态测定，其特确度应符合详细规范的规定。
5.24乾存寿命
5.24.1除非详谢规菌另有规定-传感器应在静态校准后汀上限于作温度下进行存寿命试验，
524.2将传感器放在短度试验箱内，调些温度为工作祖度的工限值，传感器不近电，不加载荷。试验时间应在详细规范中规症：5.24.3联在寿命试充许中叫停以进行中间誉试每中测话的时选，市间谢试次数不植过5资。
5.24.4试验后，在试验大气系件下恢放4l，然后行一个错环的静态测定，其精确应符合详细规范的规定，
6骆收规则
制造」交货的传感器，应些质量棕骑部门检查，保证新安的电感器符食本标准及有关洋细规范规定的要求。
传感器是查符会本标雅及有关销细规范的要求，需进行交改试险和划行试验。61变收试
61.1交收试验应按表2规定的项日频序行。一个控整批度由小相风杀忙下生产的同时提优检验的相回要产品判成61.2实收试验的抽推方密扰G日2月28\此拉克计整抽推理序及期样表*中的一次油样方案检查本1，合格质盘水半为1.0%进行2
外规检业
外形及发装尺于
植入阻抗(电组）
输山座扰(电组》
跑禁电阻
深点趟山
两程编出
非续性误差
迟帝设差
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试验项目
不重复性换基
情确度
季点时激
热零点
热子敏灵调梦
6.1.3交收试骑不合指的报，制造厂可以返修该批产品以纠正其缺必期除不合格品升直新据交点验，新提交批应采用加严控查进行控验，6.2韧行试验
6.2.1侧行试验应接规定的周期定期进行，当在设计、工艺或使用性村料有重大改变时，以设不经带生产的产品再次生产时亦应进行。6.2.2例行试验按表3规定项口利师序进行。6.2.3创行试验的样品度反核既期内生产并经交收式验合的批中确轨抽取，样品数量见表3。所有样品应经交收试验项目检游分格后：再分列表3务组进行试验。表3
充过载
河定部构
其环演试验
实点秘定性
满量程输心接正性
循环专会
在寿会
. 5. 4
12个月
24个月
24个月
华品效
6.2.当受试样品经垫验后不合格品教不超过每组1个和各组签的不食格品教不超过1个例行试验台格。
若例行试坚不合格、应停土产品的交收成整和发货，直至在生严中查明产牛不合格的原因，并采取护患加以消除。
6.3定试验
定正后轻是仓新试制的传举定型时进行。6.3.1总型试验成由制浩厂减上级士管部门认可的试验室进行，E3.2意型试验的均口和师字山表私表3组成6.2.3，出型试验的托忌应是中生产中正常使用的设备和工芯所牛产的产品，样品数盛为12今、按志？试验时可以有各份样品。SJ/T10429—93
全部样品（包括备份样品)应先垒丧2规定的检贸，然后将详品分列表3各组巡行检验。起表2检验时发现不合格的样不能用于表3各组，6.3.4表2抢验时不含情虽激不超过备价推品数（1--2个）.表3格时各组总的不个格品效不超过1个时,定型试验合格，7标志、包装、贮存、运输
7.1标志
传感薪应按费求的重要,履序标出下刻内穿：型号
产品编号
制造年，月
精确皮等
详细规范号
制造厂的名弥和商标
传感器的外上应清断地际出上法、、5、一球内穿，并见能标呼其他项目当传感器体积小到无法标土述三项内容时序运当部位加标态降，以便标江有关内容，电源雅入线和箱山线，差压份感露商压利乐端应有标志。特殊要求（师禁油防册等)的传鼓据，皮有特殊区分标志。7.2包装
传感辨装入专用的包装盒内，
装有传感器的包装盒应效在下燥的，并能随难.防尘、防享的本粘内，箱内应耐存装箱单，传感器合格证，传患驾便用说明书和测试记录，包装箱的外整的文字及际志应整齐、清楚、耐久，其内容应径合GB1S1一73包装、储运指示标态>回家标准的规定。
7.3购存
传够能应存在需国环境扭度一10~40℃.相对证度不F80%，厨国穿气出设有配性.碱或其它滴蚀归气体的库房内。了.4运输
包装限箱的传患器应在避免需、前立披游装的净件一，可用适当的运输工其运送。
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