【电子行业标准(SJ)】 湿敏件用湿度发生器和湿度测试方法

中华人民共和国电子行业标准
SJ/T 0431-—93
湿敏元件用湿度发生器
和湿度测试方法
Humidity generators and humidity tegingmethods for the humidity sensors1993-12-77发布
1994-06-01实施
中华人民共和国电子工业部发布1.范围
中华人民共和国电子行业标准
湿敏元件用湿度发生器
和湿度测试方法
Homiditygenerators ond hunddity lesting: rethods far the hamidity sensorsSI/T 10431—93
本标准规定了湿效元件用湿度发4：器、湿魔测取装重和测试湿元格度特性的主要力法，这些装置和方转也置用下测试湿度传感端，较准毛显变表.于湿表（计）等共它类型湿液仅(计)。
2总则
2.1名词术语
气体<通带指空气)中水蒸气的量b.绝对湿度
单位作积气体中水燕气的质量。水燕气压
气体中水蒸气的分斥。
d.销和水热气压
水平面或冰平面与水蒸气共处丁相平衡时的水燕气压，6对凝度
气作中的水益气压与相同温度下地和水蒸气压的百分比。对显度用%或%RH表示。、露点
在压力不变条件下，气体中水凝气压等呼水面上的饱和蒸气压时的短度。&甜点
在压力不变条件下，气体中水蒸气压事于冰面上的饱和蒸气压时的猛度。h混合比
：气体中水蒸气的质盐与平气件的质盘之比。.体积出
在同拥度和总压下，气体中术获气的述积与十气体的准租之比，用PPm表示，小湿缴敏元件
中华人民共和国电子工业部1993-12-17发市15940601实施
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理量按-定规锌随环境得率而空化的做感元许。：燕度传脑器
湿微元件及其变换电降组成的传感，本标准中与湿初湿数元件有关的其它名词术语，应尽施从GB4475一84敏感元计名词天诺中选取
2.2源度表示法的士要公式
3.绝对醒度
相别谨度
绝对起度和相对品度的关系
100+3.003662
昶会比
对空气：
水燕气的摩尔比
式中：，-绝对靠度（g/m）
温度（）：
一实体正(pa)
水气压【pa）：
抛和水薰气压（p）
U：抢对湿度（给或%RH)：
F=滩合比：
m—水蒸汽所整(ky)
千燥气体质量(kg)；免费标准bzxz.net
一水气的度尔比，
2.3湿度发生覆和显度测坚装
作为证敏元件用性逻实制试标准，必源有一个危够被档确池签制求证世的退康源，月以产生测试湿敏光性湿泄书性所需要的恒定湿度。本标让款定的两个温供清、两个正力资，分须踏和饱和慧落液造四钟最度发生器均能产生恒湿气件通风下湿表比按失和湿敏3件比较达调外湿度测量装置系通过比较获得恒湿气体（见其2.4.3e条），平盘法和臻点法两种测量装置谢是直测量水然盘，：2.4获得已知像连气体的要求和方法2.4.1要求
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。与水探持相平衡状态的气体所员有的水蒸气分正跑水蒸气[），仅与温应有关。与水保持相孕衡状态时气体的相对祝度为11火。6在密容器内，与就的水游液保待平衡状慈时气所其有的水蒸气分压，取决下温度，许质种类和率这，在一定游度下，与其一溶质的构和水液保持平衔状态时气体的担对湿度一使定值。
c、在压力恒定条件下，师快气将温发生变化，气体的水蒸气分压仍保持不变此，可以通过效变损理的方法，获本向的相对辑。在担度恒定策件下，气体的相对湿度与压力成距出，引种扫加函度的点体滤会在“电，则滤合气任的相对翻度，可快比例通过计票求行。2.4-2方法
2.4.2.1蒙得银和本需气气体的方法3.离心式。让气体泄器案线方向进人地扣够，进人炮和器的气许教慢地掠过水而，与水保持长时间购接肿，见图1）.鸥心式饱和器也适月水的述点以下温度，多层接就式，让气体绝设地选人托盘式良离报结构的地拍器，炉气体与水丽保持良时问接触.地图国1（)，家层接触式糖合器边适用承的述点以下温度。.，效泡式，让气体通过细导带进人饱和器本中，并以气泡您式放出，以！e），苹跑式饱称器只适用水的袜点以上温度d吸气式.水范过吸气（水流气），将有依吸入，书婴人的气休与水保持良好的齿，更战为饱和本薰气气体（泡利湿气体），览图1(业)。()两心式
(b>条层接触式
（e)肢式
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气体12—他和函气体13—他和器14-低每档15系(d)吸气武
地和器的儿种形式
2.4.2.2得干燥气快的力送
使气体通对过平谢剂、或素通过倪益冷凝、减等方法获得所需要的干操气体。2.4.2.3失得已如湿度气体的方送的两个短度法
在某一温度1。下，传气床合和水落气然后使该气体的温度上升络定的较高游度印见图2，，为跑和器温度，为试验室温度。当饱和器利试验室内压力相等时，气体的相对湿度可从下式求得：
U=≤×100
式中，一指对深度，
-一温度，时气体的饱和水热气压：一一遍度时气体的物和水激气压。1--气采：2一和部：3—试立：
一恒品描
图2两个担度法慎湿气依的发生
当饱和器和试验毫乐力不等时，应增能正值，b.两个压力法
压箱气体通过追和器，做为含饱和水蒸气的气体，绘感胀解减压后进入试龄本（见图3）SI/T10431—93
1-气你2账服网3地和器
4试教案：5.正起摄
图3两个压力送恒煜气伴的发生
为了达到光全他和的月的，应将两个以上愧和器连接起来使用，并凡前一个钩器的温度比后个饱和器的温度高。
试验室内的相对证度以下式求衙，典×100
式中：—相对退度
量后个饱和器内的气件所处溢厚下的将相水热气压！试验室内的气体所处温度下的炮和水蒸气压：—试验室内气体总正力；
—最后一个利端内气体总J1刀
如果对式（8加上增無因了项，修工因非现想气体状态产牛的误差，可炭将更高的精度，c、分流法
干源气体被一定比例分成两股气流-变者使工梁气件分虑两股气流后再分测谢量其随基，其中一般气演进入饱和器·成为悔和湿气体；另一股气流仍然保持千烘，两股气流还妮合后进人试验室（现图，
1干燥气外2锂最计-他科强
4一试验室:5—恒使信
图4分流法机湿气体的发步
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试验室内气体的相对湿度，可以下或求衔：U=
式中，一一气体相对醒度。
P, -(1- ,
分流比（进入和验前的那股气流与全部气体之流登比）；一一试验室内气传总正为：
一世和器内气件总压力：
一饱和需内气体温度的他和水蒸气压，d。：炮和盐落法
在弃闭容器内，与热类饱和水佩持平薄状态时气体本的保对湿度，只收决于游负的种类和温度。可作为固定点操虑，用亍校准小体积握元代。表1列出儿种盐的泡和落筏在G0C范服内的平衡相对湿控值。比较法
用任意方式调书密闭室中气体凝度，燃后用待测壶敏元件与先经过情需校准的源度表（正定密闭望中气体湿魔，井加以比较，比校选中需用的有源散元位比较法和通网十源表比控离，表
地和盐溶液衡相逻度
沿克（
资斯种类
CNE,SO,
Na,CrD,20
K.cO, ·2Ta
MgCr. - 6H.C
2.5逐懒元件用证度测试方法的种类2.5.1利用已湿度的气体
基于两个盟在法原理提度烈试方法基于调个述力替惊非的源应测试方站据丁分流祛原理的显度试方法
划于饱和益解获法原理的湿度测试心法2.5.2利用比较泄
湿心长比教法湿庭测试方法
通风下湿表出较法湿度测试方法f.
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2.5.3直接测整水蒸气含母和露（短）点K、重基然
h、露（霜）点送
各种湿做测试方法的忧缺点殖\附录A，供势孝。3两个温度法湿度发生器
两个湿度法递发生维主餐由饱和料，试腔和气策三部分组成，它门之间内管进连通，组成一个您闭气体系统，气系下作驱便气体在长和器利试验毫之间不断循环（见图5），为了提高询效事，也前用两个的相中连。抱和爵和试验室分彩于两个不同温度的恒泻控，由冷液描分制握供两个恒避措吊的冷源。
气泵.流量计及其连接管道放整在商了试验掌退度的地方，以免督道内壁约器饱和器内水湿、气温应和挡温一致，如果要使装置精度选到士1火尺必充分您务种因索，其中温坐测用格度感让到= 0. 05 .
一调节网品一禁品计一气系一热年换能：和器1:1-试验室1—恒设请18—冷减清医。两个温度法混度发生器
4两个压力法湿度发生露
谢个压力法泥度发牛器上要小商还气派，饱和器和试验空三部分组成见图5SJ/T 10431-93
回通点站
1大气12—压编气：3—净化限：4—圾限：5—止力语节：5一高量计7一前医快和器B一势变换缺【作为中间变和器9一热交换器11C--影服阅111--究全它和券12—试睡空，13恒盗情114-冷迹格
图6两个压力法湿度发生器
高压气源。压翰空气整过过滤和工燥、除去杂质和水份后进人前置尴和器。压空气的F力和说逆用谢压阀整谢，如果要求试验室内得低湿·必细提供儿十个大气压力的压靠空气，饱和器.分为前慎和舒，中阅饱和器和光全饱和器，分别宣于恒温抬中.前暨炮和器和中间他利器温度分别比完全抱和器温度南1～1G℃和0.~2。气体进入各个他利群的温度衡带热型热交换器进行。每级饱和可出上个或儿个恼和器组吸。一般采用离心式地和器。试验室，试验家设盘在与完全饱和舒一个恒渠内。从品金地和器流出的气体，整过孩账翊降低压力+性试验室保持校艇的压力（··般略高干房间大气击》，试验室内专门放置待试验或按调的证数元件，
三小恒品槽由冷减档分别提供冷源。如果要便装置获得士1%RH销度，必须充分考也各种四末，其中压力测量精度应达到一，温度测罩精度避达到土0.它。5势流法限配发生器
分流法微度发生器丰世由十燥气库，流量比例润（或两个流鼠）、地和器和试验组成(见图7)。
下燥气件。气体（一圾为大气》通过计蝶剂利低冷龄等方法成为干燥气体，气体巾微粒，泊等杂尚出过滤器降力
流量比例阀，把干梁气怀分满成名千比例（如0、1/6、1/3,1/2、2/3、6/6和1等比例），更好的方法是来用惯问服机构的流量控制装量，位可用两个精密统整计代替疏盘比例间。8
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饱和器。超和方式的选择与试验查工作盘度有关。试验室，于换气体和饱和气体先在氓合室合（必须充分海合），整后进入试验室，饱和路、试验室放道在同一个包温为，保持湿度一致，一般温度控制精度为士0.1女，流经饲和器的气体，由于压力降低，需进行压力调节、快两部份气流的斥相等，载者通过测盈压力的变化，对压力值进行峰正，装销度脓决于流最比附（或流量计)的精度和下燥空气的感点蕴度。为了使转置获得较高精度，干燥空气需点温度必须在60C以下。1—大气：2—低盘十煤器：3—调压间4—化间，5—他和错1F—试检空17—恒组者图7分流法报度发生器
6饱和盐溶液法漏发生器
61置的使用要求
试验改室内附件应出股水率很低的惯水材料制成；试龄市应完全出闭：
试验室内空气或饱和盐溶液应充分境动，以保证平衡融度的均句性；混费元件约滤虚而积应不大于饱和垫存液的表面段：d
试验家内裕液温度仰激气温魔应十分接近：试验室内温度控制错医应达到十+0.1C；e
使用试验室前，试验至内迟度平衡时间应于先经过酬试；应使用化学魂盐类，饱和盐溶被中必须有足够的过到固查盐。g
6.2单固定点湿度发牛器
单固定点益座发生号是一只密闭的容器（例如裘璃制的三颈瓶），装有苯种化学纯益的钩利落液，容器内安置搅拌器和测温元件，将待酬裁敏光件放量在穿够空问，开动搅拌器，达列平衡时获科基·-点湿度二见图（).当需要进行多流度点技准时，出若：个装有不同饱和盐搭寇的密闭容解，将待测源嫩元件从一个容器转放人另一个容器中，6.3多固定点可调途费发生器
多周定点可调湿度尘生器是利用个底有地和盐溶激的密闪穿器，通过调门和管造与符测链元作连成一体见国8(1）打开其中一对润门（例，a，可售试冷坐和饱和盐游波容器之向树成谢陷，利州气察使空气在通路中循环，即可实现试验宽内湿的升商或降低并到新的滤度平御
，达到恒湿值所需的时间.依装置结构而界、·段在15--60分钟之间，--出闭咨器12--到温元件13--风期心·行测保元件：：询和盗陷限G·语
(a)单同定点
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2气泵：1--间据周:%一试验罕：器
b)多固定点
图8低和盐溶液法递旺发土器
了湿敏元件比较法测置装置
避敏元件比较法纠带装置地出试验室、地和解，干爆器和气聚组成的闭合系统。试验室内设查予劳经过高粘度湿度发生器校准的湿敏元件，配用仪直技指示湿度为出较标准间时犯定接入控制朗、BC刃的市陷工（见图），当试彩案婴升凝时.打开阀C，气泵驱动气体沉经饱式入试验牢，再世气泵，不断回所。当试验室要降昆时·打儿阅与，传气体流绝干器进入试验室，当试验室到给定配度时打开调门A，伸气休自接流过试验室，不断回流，保持恒报为了迈连然得较高度，饱和器温度应商于试验室渠度。盗度控制精变皮必剂10.1。
8酒风平逐表比较法测赫装道
图为通风下湿表比轻法的一种测量装置，该装臣出式验室、划得累，大湿器和谢书润组成，加湿器整温水，大整器感强吸都剂<如需酸），试将事需学升湿时在风肩驱动下，气体经选加湿器加湿：试些室带要降显时，气估经过去湿器去湿。一个控制和指示用的谨数元件安置布试验室内接人购A和H自动房闹的控制也路小为迅连求再较高湿度，加湿靠水温应高于试险空账验证试降案魂察你安满源风干湿表，当试快实湿度达情定时，即操作通风下短表，测型8J/T10431 ·-93
战验室内气体相对禄度，作为比轻标非。这他出要文在机温环境工作5
1说厘制电路2流步光3谛市区，汽系：，-干端券，6一试险一经情按推的证元件追一包避者9-他利器1A,B,C-·电磁
当试验室容册较小，湿坏上水会引起度增高，在低湿情远下误差供大。另一种箱件本身能够自动调织施侧装留，其试收室内有紧获风通风，采用下显衰作为此比较标确，可供激度4℃上行靠度测战，用铂电斑，热教电似和热电偶代整水氓温度农的，使用前必频对它门选行按准，通风十湿表的使用方法比附款B
1-试率2一用所度片划的诉统元件13中-面下促表；—去能器加生器—海度检利样—础网图通风保表比投洁盘装
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