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【机械行业标准(JB)】 半导体器件扩散炉 能耗分等
本网站 发布时间:
1991-09-13 16:00:00
- JB/T5630-1991
- 现行
标准号:
JB/T 5630-1991
标准名称:
半导体器件扩散炉 能耗分等
标准类别:
机械行业标准(JB)
标准状态:
现行-
发布日期:
1991-09-13 -
实施日期:
1992-07-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.rar.pdf下载大小:
KB
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标准简介:
本标准规定了半导体器件扩散炉(以下简称扩散炉)能耗分等。本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。 JB/T 5630-1991 半导体器件扩散炉 能耗分等 JB/T5630-1991 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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