【机械行业标准(JB)】 计量光栅 术语

ICS 17. 180.30
中华人民共和国机械行业标准
JB/T9341.1—1999
计量光栅
Metrology rating technology-Vocabulary1999-08-06发布
国家机械工业局
2000-01-01实施
39/T8341.11999
莫尔技术
荧尔花祥
英尔蔡较
英尔象效方程
向莫尔条教
光可莫尔象纹
凯向莫尔条较Www.bzxZ.net
同心蒙尔条政（莫尔国)
黑亡英尔象纹
衍射莫尔察教
实尔等高毁
英乐象纹的敢大作用
点尔条纹的平均效应
莫尔案纹的全接收法
地细分
光学细牙
光学空间滤波器
钮线绚
量光临
衍射光栅
光猫方强
直绿正弦形光栅
京载矩形光相
闪模光栅
直线梭光栅
需白幅光栅
网转光栅（格栅）
透射光栅
反射光橱
玻璃光猫
金属光栅
带光栅
崛格光摄
镀金光闭
胶膜光姆
机刻光
光刻光临
母光模（洗模步）
过临光带
光栅尺【长光栅、标尺光摄】
等位光摄尺
零位标志
指示光栅
单相指示光母
裂相指示光册
蒙相数需
季位指示光摄
光栅盘(蹈光拇、主光幅岛)
径间面光栅（摘射形光栅）
切向圆声初
扇形光栅
光据付
零位光栅付
自成烯流付
光拥读数关
光栅传密器
菲逐尔筛而
纵轴线
数和拉术指标
续长！
光栅线宽。
光栅棚距d,r
栅距数
黑白比R
光掘尺分划长度
光册尺有效长度
圆光娱中径Dp
圆光抑节距,
扇形光糖的分划度
求形光师的有效角皮6,
光碑讨气断
光押维导接收函可（）.
光摄线的光密度QD
光密宽变化率OD）
其尔系效的对比度 C
其尔杂效悄号制调制度所
JB/T 9341.1—1999
P.TI...rr..IT...P.
真流电（直滋分量）0
直统电平企化率
光讯信号相位差
光通信号相位提的误券40，
光栅有号相位差的变化量。
光极信污幅值变化盘
正弦主误莹
..-t..
孕位标每付的光通量。
穿检标志对的光通比R。
JB/T31.11999
光乐尺相线（懒线组)位置误差1，轻尺任意两要线（摇线在）的同误差光择尺的准皮V-
充标盘烫病（摄红）娱善
光好盘换（扭缆）位置误差品，光盘年急两摄线（扭毁组两误蒸直径误差
有经位置误考
真任间预误差
在经企中误差
封河荒为
期性误
误考效递
周期谅整
JB/T 9341.1-1999
本标准是对ZBY249.1-84计量产帜米语的偿订。修订时，对原标准作丁编暂性悠改，主要技术内容没有变化。
本标靠有实施之日起，代势ZBY249，1—84。本标准白金国光学和光学仪幕标席化技术委质参报出井归口本标准负起单单位：下海光学议器究所，贵阳光电技术研究所。1范园
中华人民共和国机械行业标准
计量光栅术语
Metrlogy grating technotogy -- Vocabulany本标准规定了计量光幅的真尔技术、光期、象数和技术指标的余语。丑门9341.1—1999
代替ZBY249.1—BA
本标准适用于仪器饮表、机被制造和计量技术等领城的长产、科、数学和出版中所使用的术语和定文。
2“葛尔技术
英尔Moir'e
来源于法文。其料学总义是由美国物理学家璋利河明的。指水被、金离表面波，电锐干扰改利格留、光栅，丝纸品等由下相互五叠而形成的明暗丧较的总球，莫尔花样Mair'epaltrrn
由有规则的或具膏一定周期的函案相互重叠所产牛的明陪花样，英尔条较Muirefinp
两片光想再骨时，所产生的有规则的具有一定湖期的明咯归问的条效。其尔承纹方器egutionufMoit'einirige2.04
表征奠尔策效与形成英尔条蚊的光栅的位置特征的方再。如由两橱更不等的乎行息线光继和形成的英尔余这，当轴垂真于光相相线时（图12共方程为：
式中.d.-a光拥规距；
—h光切慢距
-a，h消光栅抵线的来角：
F与 8, b两光栅相关的位受序数。2.05向英尔条绞transvurse Meir'etingesin 8
当两片光概变叉重进0角软小时，所形成近忆垂直于极的募尔兼较。由因1可得。aace(
式中为莫尔条纹和轴的夹角
两指邻莫尔年势的间使（心，）为：图机械工业局1869-08-06批准
etg n
2000-01-01实施
JB/T 8341,1—1999
2.06光闯莫尔条纹ligistlockMoir'efrinpe当两片摄臣相等的光重受9组等于采时所形成的莫尔象效。此时，墓尔条较的间题无限大。在有限的规场内，只量现一片均勾的背景。在两片光栅相对移动一个相距的过程中，仅改变均勾背景的亮。
纵向巢尔象教（静标英尔条较）LangituadinalMoir'efringe(vemierMoir‘fing）2.0
两片栅距不等的平行真战光抵重台角等于零时所形成的克尔条纹。亲纹间距大小取决于两片光誉的栅距差。根据奠尔策纹方程，琐间莫尔案蚊间原为：d.
同心尊尔条纹（莫尔国）concentriceMoir'eirg两片切线方向相皮（或方间相同但所切小圆直径不等)所形皮的同心圆环状莫尔条纹。黑白莫然乐纹tinemdspaceMoir'efing2.09
两片光栅交叉重叠所形皮的，无彩色墨次的期喷相间的要尔条纹，暗橱线交点的连线形成英尔条效的亮光，光通量最大。在交登区，形或莫尔条纹的暗带，光通量最小。循射尔象纹diffraionMnirefrirnge2.10
由衍射光栅重叠面形成的效次闪雄（或多达闪耀)的莫尔策纹。2.11
莫尔等高践Doartourdf Moir'e fingt超影在拉测物体表面的光栅影悦，再通过原光相变其有相同期距的光厨来观案投影快时所产告的等高莫尔花样，用以检恶衰面轮嘟形状。相邻录纹的距高对应于物体的高度差。JB/T9341.1—1999
2. 12莫尔条纹的收大作用magniGration property f Moire [rings当光提距为的两片光樊以角重叠时，所形点的英尔象较然问距，为册距4的1将烟愈小，条较的间距意小。其使单的关系式均：d-
2.13英尔条较的平均效底averageclfeelofMoirefrings(5)
典尔景纹是由许多钮缓参与而形成的，出于换收面权内光通普的积分效应，使舒距谋差（矩质期误益)或册线的低然误差以及其空缺第战于均传。从而使奠尔案教的间距误整远小于督线的原始误差
英尔条蚊的全格收法nehodfuallinkingoverbMrirc finge2.14
根莫尔条纹平均效实的原理，塔回多与形成克尔察纹的切线数，师可提高费尔条教管号的游确度。可采尺法静光提的全栅线接收，从而便多加工作的栅线效N达划最大值，电手细分eleconicsudiigion
在计置光桁票统中，为错商拍出信号的分燃率，通过电子光的方法，而物莫尔余政原检信号闪以分置或销疑的方法。
光学细分opical bubdivision
应用光学原理，便标尺光要（晓主光期盘）与指示光研相对移动：个拼距时，有效条莫尔条统移过，以达到信号细分的月的。
学空闻德技器nticnlpatial.Filter2.17
为改等案尔条较原始信守的正弦性所采用的滤波光阐。3光趣
Fratins
在被旁（或金属光栅坏（或光桥坛膜层)上，制有大盘等间距（或不等间距)的乎行线条率刻捐）就等骨阅的同心预对状绒条（或刻榨）的透光和不遗光的光学零件。3,02
罐线grading Iire
光栅分划线的简。是组成光规的明雌载多。如不如说弱邮指暗线条。线组gralingLinegroup
在光极丧收密口范围内全部栅线的集骨。3.04
计盘光栅mebrulogyerating
用于升盘工作的光模。是测量长度、角度等几何量的标准元件。拓射光栅：difracdonating
具有孕间距的产生解射效应的多班随元件。3.0
光翔方equaicnof gmling
描述光划衍射效应州何关系的数学表达式。d(sin +sins=m-
式中：d—光握册距;
—射角(射光与光翻乎面法线的夹角）—千涉级数（=*1±2，±3）
1——形成亮系效的光波缺长。
真线正弦形光栅lincarainenling3.07
帮线为直线，而划线走向数面形状为正弦形或选过率（反射净）符合正弦规律的光据。3.o8直线矩形光料Linearroxtansdegating-6
JB/T9341.1—1999
妞为，四量的法向固形状为矩形或添过率（受射事特合矩形见伴的光钮：闪烟光锅blazedrating
控他光册刻拍形状，快能在特定的方向上，特定的光错级和特定的波长上获得最集中前能盘的一种衍射光栅。这特定的技长就楚闪短被长。3.10直线按镜光栅linearpriarywicgrauing植形为三角形(娠齿形)的闪疑光栅。黑白福值光橱lineand spaceamplitmdegpating3.11
透光（反光)不选光(不反光)栅线组成的光榻。光波透过（反胜)后只产生幅值的变化，而发生方间变北。
网格光册(格栅）id
在一个平面内，相互垂直的两个方尚上都有提线的光细。3.13避射光摊Lnunsmissiom grating利周从明栅线上透射的光工作的光摄。3.14反射光罐mflective Brating利用以明再线上区射的光工作的光典。3.15玻英光摄dasprating
在透明的弱基体上刻制的光母。玻璃光锻一般为射光韧。3.16
金网光桶：medalgotirg
在金属基体上刻制的光拼。金两光资一般为过射光期。3.17帮形光栅bpe grating
在醇的金两带或鼓片上刻制能光。培格光栅chruminum-platedgraing3.18
归链铭的方格得到的担为帮线的光栅。3.19
镀会光器podplated grating
用钱金的方法得到的拥绒为金线的光栅。股光影eaing
压明胶等够膜推为基的光斑
机刻光摄raledgaimg
采用刻线机用金激石等刻刀所刻制的光疆。3.22
光刻光爆engravedgrliag
在光坏料上，涂上感光膜，通过光刻头，将携板上的线蚊投影在感光膜上，并使其骤光，轻尼影而得到的光摄。
3.23母光栅（光幅慎板）
masleraratiry
用求复制光刻或动变光刻中用作模板的光拥。光册pliagaing
用母光举采用接随式或接近式赚光的力法所将翔的光扭。3.25
光钮尺（长光栅、标尺光栅）gratingbar计量光额中，作为测量长度的标准概元件。在光极仁中也称为标尺光册。零位光概尺zopositiongrstirgbar3.26
指在光情尺上刻有标志零位的待殊编码组的光栅尺。零位标志zero paaitian uark
起零位作用的特殊的编闪毁效逛。指示光栅indexgrating
在应用莫尔录放术作长度或角度澳量的系貌出，用以形成莫尔条较信号，并与标尺光栅（或主JB/T 9341.1—1999
光栅盘)产生相对运动具有足够扫端场的光相。单相指示光量single=phuaee index grating3.29
刻有一组栅矩相等的指示光栅。3.30
预相指示光摄Beperated - phasc index rating划有几组栅距相等，但各纽同有一定相也差的指示光栅。滚相数rnmber of sepuraled-phage3.31
在裂相指示元彻中,最小相位豊与2折之商的倒数。学位指示光控
zew mxiticn index gruting
刻有零位标忘的指示光册。
光树盘（原光栅、生光栅盘）atingiek计量光栅中，作为测盘角度的标准光侧光件。在光初付中也称为主光探盘。空向圆光驱（输射系光册）radialgnaling扭线或惯规的延长线交于一点的遇龙拥。切向圆光娜Langeartislgrsting拥载或期线的延长践切于一小的圆光据。潮形光栅fangrating
圆光栅的一种，分划范围小于360°，形如扇手，光帮付gralingpair
在奠尔条纹技术中，用以产生总尔条纹信号的归彻组。通常，光栅付是由标尺光栅（或主光爆盘）和指示光极成。
攀位光册付：zero poaition aling Fair由零位光幅尺和零位指示光栅组成。除产当募尔条效信号外，在两孕位标志重合时，还产生标志绝对零位的零肤冲信受。
自成像光抵付
ferating pair Eron self imngre组成光付中的指示光拥是标尽光精本身的橡光嗨读数头reakding ineedodgraling获联光柯莫尔信息的光电转换装置。光解传感端。grating tnanadhucer也光栅尺（光盘)和送数头组成的能用以测盘较位移(角位移)的装宜。衡量线统移的称为光栅位翻传感器。量角位球的称为光据角位传感器。菲翌尔常面Fresnel focalplane3.42
光趣目上基点的相快关系能在光概b上重现，则光闭b所在的平面叫做菲望尔焦面。其类系式为：d-n.dt
武中：—·两片光间的气谢
N--焦序效(N = 0. 1,2,---) :
d—光扭抵;
——人射光波波长。
纵轴线longitudinalxifgrating3.43
为要手安装、调试和统一检测所刻制的垂真于拼线方向的基难毁。此线一般为垂查平分光提载长的直线。
3.44基国线bagic zircle line
为便于安装，两试和检测，在圆光裙上所刻制的与分划中心同心的圆环续。李数和技术指标
据线长。erauing Line length
摄貌的长度
光拇线觉 b grating line breads4.02
捆线在垂直于线法方向三的宽度。JB/T SQ41.1-1999
光扭栅距（光抵数)d，gratingpitch4.03
光栅上相邻两摄线中心位的间延（d)或角臣（）。拼距数ucnber of grating Fpirch4.04
单位长费（或单位角)内内线对数。对光插尺一般规定为每竞求长内的母线需。W=2550100等，对回光相，一股取整证同内的扭数。如W10800.2:600.64800等。4.05
昆自比RLine a uemite
相等喷扭线和哭妞费节宽多之比，光尺分划长准L，nuled lengh of gratingbar光诞尺分划范围的总长度，
妞尺有效长，eHeetireenhalirgar光研尺在意统中，所能法行证盘的长度国光摄中径Dgmencianiberofeimularalir医光每中，确经外经和电经的平的，国光妍节距d，cinclegrarrg Fiick购光频径上，两相等载中心色查之到长。影光想的划度0mngkefEanaiag
形充购能量大点座
形流韧的有效角底ceivcnglcffangritng泉形想在测量累统，所滤注行烫盘的筛度。4. 12 光册付气鼠gp c gatirg psir为获码所要求的莫尔信号和止摩族而对光摄付中商光件（如光研尺和指示光板）之间所要求的距离，
信号接窗口（A）eceiiwinduwofgratingsignal4.13
在光概化中，策收英尔信号的范固。整来决舌光电接收元件或通光光阐的尺寸。光母遇线的光密欧ODcpticaldeoaityoferatingline4.14
对于透射光相指费线钓不透明程烹，用光栅裁透让率到数的些数对数变示。对了反射式彻指视线对入射光统的反射理,用阅线反射率例数的常用对数表示。4.15光密凌化率（o）ptitnl densityrariatiate在光栅测量范用内，栅级光率这的变化程度，其置欧为：(OD) = OD-O..
4.16奠尔条较的对比度C
congasl af Moit'a finge
透过莫尔承效明条纹的光通量（中）和查过暗条软光通最（更）的对比程度。其基度为：Gam
mcdulation pf bfair'e siynal4.17奠尔条较信号的调制度M
光敏接收器件所垫收的莫尔期喷录设信号幅值的对比怪度。其盈溃为：-L
-( 10)
式中：
值号的最大幅值：
—-信号的最小幅值：
1信号的交流幅值：
L这证电平。
FB/T 934t.1—1999
4.18直流电平（真流分量)。d.c.e*el光电接收元件持变化的光光信号转换成变化的光拥电信号时，其输出电玉的乎均位。4.19
直液电平变化率Sit.c.levelshiftate享读电平在光拥金长上的驾化强度。其盈度为：Su
光趣信托位装gphnediieretoefgatingsign4.20
各光电接收元件在光衡不同位系点上，同时换收的光借号之间的相位差值。光栅信母相位差的误差Aprenur af ptuate dlierent uf grating signnl4.21
光衔信号相位差的实际值与理抢值之差。光拼信号柜位差的变化盘录
varietion of grating phase difference光扭信号相位差在测益范压内的最大变化责。, =g -
光押值导幅值变化盈布
aumrditacke verinnicin ad grating signel光扭信号幅值（4)在测量范围内的最大变化盘。=-A
正弦性误差
cmor ofsine
当光栅信导为正整倍号时，实际光概信号偏高正弦性的程度。季位标志付的光运量
luminoua ux cf zaro &ering mazk pair(11)
·(14)
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