【机械行业标准(JB)】 扩散硅力敏器件

中华人民共租国机械行业标准
JB/T 94811999
扩散硅力敏器件
Diffused type silicon force sensing devlces1999-08-10 发布
国家机械工业局
2000-01-01实施
JB/T9481—1999
本标准是对ZBN11011一88(扩硅力敏器件>的修记。赔订时，对原标准作了辑性修改，主要技术内容议有变化。
本标准肖实施之日起，代替ZBN11011—附水标难由机械工业部使器仪表元器件标准化技术要员会提并归口。本标准负资起草单：比阳仪器仪表工艺研究所。本标准主要起草人：徐学峰、丰宗杀源，胡静山1范困
中华人民共和国机概行业标准
扩散硅力敏器件
Diffhbed lype silkull forcr sensiug devicesJB/T 9481—1999
代营2RN11011--88
本标准规定了扩散娃为敬器件的产品分类，要求，试陷方法，检验规列及标忘、包装、运输和存，本标准运用示半体扩散型硅标式力做器件。2引用标准
下列标准所包含的条文，通选在本标窄宁引用而构成为术标准的条文。本标准出版时，所示战本均为有效。所有标消都会被静订，使月本标声的各方序探过使下列标确最新版术的可能性，G/T2423.5—1995电工电子产品环境试险第2部分：试验方法试验Ea早则：冲击GB/T2423.10-1995电工中产品开境议验第2部分：比验方法试验Fe和导划：振动（F弦）GB/T2828--1987通批检查计数拥程序及样表（适用于连续比的校查）CB/T4475—1995敏密元器件本诺定义
本标滑采月下列定义。
其您术语来用GB/T4475的相关定义。3.1敏感电阻Rgbeasingresistance把被测的物理通转换或电填变化的电用。3.2
温度扑偿电阻Rleerijerilurr orijeisatien rosisLince与被测的物理燃无关，只配温虞补偿用的电阻。3.3激Exexcitatian
为使器件正带工作而施知在式入端的外部电宠电氏，3.4 反间击穿电压Vreveisu breukdowi vuliag尚级器(J-1照示仅)测出的器件两半桥之闹的隔离击穿电乐。3.5零点输出Vzeroautput
器件受计室源条件下，施加标称激励，当被涵量值为季时酬出的器牛桥路输出值。3.6满至程价山Zgfullpanoutput器件量上限时娇路抢出俯与零点抢出侦的代数差，3.7等点时读Dzenlime:drin
将器件贡丁恒温条件下（温变动衣姐过2℃)，连续测最的，其零点辅出的最人与最小使之差与满画程摘出之比。
3.8源迎范园temperaturTangg
能保证器件技术性能毒激所许的环境录低退度到避高温度。国象机械工业局1999-08-10批准2000-01-01实施
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3.9零点源秘系数drifl faelorusheniwrero当被测量值为等时，度必室温变化到规定范湿度范国约感高或总低温度所引的李点输出变化量与室管时零点编出之比。
3.10热灵敏度漾移系数Bdrififantnrnfthrmnkensirivity器件施加测量上展江力，温质以室温变化规定的温质范用的最高或母低温惠所号起的灵敏度变化量与源时的灵教度之比。
温同美，terperaturehyateregiserror器什经过高，低温（温度范巨的高福点和低源点）循坏后，再可至原来的温废1.器性的零点输出校友到原来数值的够力。
3.12充许过载Powallowable心verluud器件的性能指标不产生永大性变化或不超过规定的允差时，函以测量范围的能力。3.13灵敏度心Eensitivity
产室湿条件下，施标彩激助，器件轮出增量与被测量与量之比3.14鸡性8incarity
器件松调典裁开选某一规定点载的卷。3.15带点nysteresi.
当被阻值先这断增册到额定值，然后再落渐少急零时，在划定范用内，被测量各个检整点中对应的出的量大养值
平专性epeatability
在相同条件下，以可一方向是续施加相间被测量效宜于，器件重现输出读数内能可。3.17
准确度accracy
谢量给果中，系统误差与随剂误差的除合.表示测量结果与意使的符合虚。3.18德定生 5pslability
在规定的工作或试验条件下，经过一定时间，器保持变点款满量程输出不变的能力。4分类与命名
4.1型号命名
4.1.1型号的组
器牛的型号出没语拼育我数字维成：M
4.1.2说时
盘上程
艺特院
列元件！
保欧始元作！
型号中等三领“结控特征“：1-能成必计、2-危定架、3-链杯。型号中筹四顶“制率工限“由三位数宁组或。「位效代表测量上限的费数值，个位代装对整上限的小教俏，百位数代表以于的儿次靠：例划：32
十的兰改茅
[19481-1995
该数表示的量限是：2.5x10P=2s00a器件的现受及烈量上限月于丧空滑量的器件型谢量下限)见表1。1
产品型号
ML3-010
313-016
M13-25
ML3-050
ML3-125
MT,3.14[H
ML3-21C
ML3-216
ML3-220
ML3-260
H11.3-310
H3-316
ML3-325
ML3-340
ML3-3G0
M13-410
MI3-416
ML3-435
ML3440
L3-465
4.2品及规格
品种及规格型号见表1，
4.3结炮、尺寸
方敏器性的典型结构况图1，典型尺寸见表2。谢量上限
非典型结构的力效翌件梦照图1给出影响互换性和安装的变送器或传感器需要的各尺表2
4.4准度等级
器作的准确度等级符合表3的规定。难确度等效
出：带括号的等极为不推荐值。5技术要求
5.1工推条件
5.1.1温度范围
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甚本误去（和对满且程输出莅）0条
器件快用的典型环境提度为-30%+30%。其它特殊要求的器件，叫参照下述妞度等敏选择：-55，-40℃-25℃-10+5和+4/.+50.+70℃+35℃.+100℃.+125℃.+155℃12009c.5.1.2避断
器件的标称激断，用于变送器的典型值是！1;用于其它传感器$也可选择2mA、5mL、10mA或直流克玉3V、6V、9V、12V、1RV、26V5.1.3硅
器件短在池（或氧池巾工作，硅池（或怎池）的绝缘电阻量在1M9以上，牌用温度膜围-40+100%。
5.2敏感电阻
器件嫩感电阻的标称阻值及允差见表4。表4
标称限估
5.3尺向击穿电压
器件尚半桥之向的反间击痒电压用仪器酒量时，应是硬违案。5.4量程输出
器件微动源1mA，按图2方式组挤，无补偿时的满母程增出应从下列送取；10mV、20mV，50mV100m.200mV。
5.5举点输出
器件邀励源1m，按图2式距桥。另补偿时桥降的举点龄出应从下列选限：±5见S、410%、土20%FS、±50%FS,±75%FS。
恒流票
5.6线性度、滞后、再复剂
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高低益试监的
蒙字电变(1)
你出方计
用凋试联置
数了巴什(2)
器件这三项控术指标由准确废来需星，其允差微值档次按照本标准准确度等级表3在产品质耳分等标难中规定。准德虚按公式（1)算：(1)
式中品员按公式(2）、（3和（4)计算：式：
2Um×100%
一馅离规定直线的最大说差位；正反行社母大偏差值
正或反行程任何点量大与最小指示值之差，5.7零点时票
器件的琴点时染在溢度格偿前，典型的每小于等丁土仍.25%/F5.其余的，根据两量上和准确度等级在产品质盘分等标准中规定。5.8热变点系转系费
日器件的热车点漂秘累数无补偿时小于等+59%FS/55℃b）器件的势要点课移系数，补偿后用工变送器的，典型的定为小丁等工+0.25%6FS/55C：其余的，模据测盘上限和准确度等缓在产质量分等标准中梗定。5.9热灵微度源移系数
a)器件的热灵整度操称系数无补偿时小于等于5%FS/55℃，h）器竹的热灵敏度源缴系效，补偿店用于变邀量的，典型的定为小于等于0.25%FS/55%；其余的，根整母上限私准确度等级在产品质量分等标准中规定。5.10温度回差
器件的摄度回差典型的定次心于等下.25%FS，其余的，根据料量上裂和准确度等氧在产品预量分等标准中规定。
5.11充详载
器件充许过获到测量二限压力的15(源，不得破碎、滤漏或改变其性能整数。5.12被劳寿金
辑件的破劳再命在10次以内，不得被逆渗耀或改变其性能整数。5.13稳定性
JBT94811999
器件稳定性，月于变送星的，典型的定为小十等+0.25%/FS，其余的，根强测量F股1准确度等级在产品质盘分净标准中规定。
5.14添穿
件施如上限压力，持15m证，不准有添漏现参。5.15拒动与冲击
器件经变报动与冲击后，不得有任何机振期伤或改变其步能参数。5.16温变环
器件经过高娠温循环后，不准渗确或改变其性能参数。6试验方法
6.1试验设备仪器要求
6.1.1标准器
标准器分许的准本误差不应过检器件的1/3-1/5。对0.05级的被检器件，可以选用±门.12究的标准器对准确度等级在0级二的被检器件，标准器等级选择可板抵实际情况山供需双方协商确定。标准器可泌用工作整准正力计，一、一、三等标确压，力计，包据夜体式、俘球或，气动式等，选用符合要求的泌试裂置和精密标压小表。使用的标准器应有未过期的检定证书，与标准器配坐拍压力系统成能在全范困内连续可调。
6.12激励
微效源的稳定度按力数器件的技术要求确定，一般为被检器件注疏度的1/5~10。可选用直流多压电源，恒流源、十中池、蓄电池等。6.1.3读数记录装受
读数记录装留的格确度一股方被检器件准确度的1/10。可选月直流效宇电压表，直流电位差计或其它相应的专用装置。
6.1.4离低温试验箱
商低温试验箱的调节范围应带抵力敏器片要求配备，高源到+100℃；低追到-40%，温度控制精确度
将器件按图2接人测试出陷。
h)通人ImA的激励电流，周10u标准电阻和数字电压表(1)益视电流大小。心）在室盗时测量器件的缴感电阻和桥略的冬点输出值，用标准压力加压到测量上限值，阅验凹Cp
在温虚范固的最温点重茶。
在温度范男的最低温度点上重复心案。6.3反击穿电压
a)将器件证光保扩，两个半矫各引一导线接人仅器(函示仪)CE插案。b)变换集电极摄“+”、“-\极性，测出器件两半桥之间的反向击穿电出。6.4零点整出,满孟程输出
a)将器件按函3按成桥路，炼加ImA微励。h)测出AE两点的出on
心）用标准压力计加虽到测早上限值。d)测出AB两点的输出Ur
e）计算微量握辅出：=-g
6.5、线准度、誉后、要效
)月 6.4a)
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回句均输人压力，月数字且压装读出止行程输出电压低，至少心个划试点。以当刘东到潮量上限时，保技后力5.，燃产，逐还减少与力，在备个资成点上读出反行群推出电5年。
重复、心一次.非就性收二次测量中车测试点号热定直战的景大差值的平均值，积滞、前复性取三该题谢出现闪最大信，
6B零点时源
同)。
b书数字电压表直系息位差升测AB做点箱出e)逆践迎8h,每随-记录--次。
由公式(5)计算零点时要。
武中：
等点最人原整，
6.7动空点和将灵破度漂移多数
川将器件装人专用测试装受。效人高解银试验箱内。5将高后祖试验调整到弯温，保持恒温3，阅出该流度点的零点和测量上限时的输出。将高低温试验箱调到温度范周的最高组意点上，保温。侧出该运度点上的零点和测量上时的验出
将高低温试微物调整漏度能西的量低温以点上，保持出孩保改点上的零点须运限时的拍出。
心）热零点漂移系数,慧灵敏度器移系警β分划按公式(6和（7)草：1%
pen-liial x00%
FB/T9481—1999
一温度为时的等点痛出，mV：
式宁：
Le(to)
Urs(s)
度为时的累点拍出，
温宽为！时的满量程输出，rV
U(m一一益度为时的满量强验出,mV。注：以其型温度范函为例，t=+80时，t+25：博+25时.t6.8温度可差
在2.5±2时，湿3h，量/g
h将高低避试验箱调到温度范周的最高温度，机温，再回到25℃+2么，丧患24h，0档c将高低温试爱箱调到温度范为量低温度，恒源3n，再寻到25℃+2℃，稳定24h，测值，d)取心、U像之间的量大差俏，由公【8计算福度回券，Ug-Ual×100%
式中：Ue——试验前的 o
—试验后的U
6.9拉载
的将器件安装到试验装胃上。
b加载班上限压力的150%，保持1min。御载。
6.10瘦劳态命
将半工作状态的器件安装到有自动计数机构的寿试验暨上。引出线困定。
加五到量上取的80%，
启动命试验装
6.11晚定性
司）将器件装人试验装受，加压到测量上限的80%。、压后点满程出
出公式（9)决出季点和满量相输出的稳定性。AUa.x100%
Soyrs\tips
移定性试验前厚，或心的最大变化值。式中：Aoe
6.12耐密封
耐乐率款试验必须在6.15作究后进存。b将器件装人耐压密封试验裂置,投人有机溶剂中。(8)
叫测平限在400kP以下的，向需件的肾面压管，通人剂量上限压的净化压箱空气，保持15:不出现一个气迫。
创基上限400k以上的，用油压加压剑测量上限值，保持15min，器件桥路输出值不得下陷d
8.13拆动
将非工作状斋下的器许用专用卡具圈定在冲击台。b)引出线固定。
）振动率55Hz-500Hz，摄幅0.7.5mmma振动向为X、Y、7三个向。
e)拒动时间为每个方向15min。
注：产酷等级菊选择及或险方法，可据拆用户对器件的要求，按照GB/T2423.10进行。8
6.13a和)。bzxz.net
JB/T9481-1999
b)冲击题率为50次/mi证J次/mimt。ch冲击如速度50旺5g、脉冲持继时间3m8.半止艺波)种击方向X,Y,三个方向
c！下击次效每个方向50次
法：严函等圾及试验方法，可根垢用广对器件的要求，控期C8/T2423.5过行，6.15温度循环
将器安装到试酸装置上,授人硅泊中。5整于高低温试验箱内。
)按表5进行温度循环次。
7检验规测
7.1换脸类别
7.1.1H生产」质整营理部门进行产品的出厂检验。7.1.2由产品质量监费部门或生产厂技术，质量管理部门进行型式控验。在下列情况之一时进行型式检验：司新产品或老产品转，厂生产的试制定型鉴定；b）正带生产后.产品养结构、材料、工艺有牧大变化时：正常生产时，定期或积系定产量后，应周期进行一次检验：山产品停产后恢复生产时：
山一验缩果与上次型式检验有大差异时；0国家量监督部门提出要求进行型式检险对。7.2捞脸.判别水平
7.2.1器件的止厂检检，执行GB/T2828般检查水卡E。保函列司
7.2.2器件进行出厂检验时，一般情况下，合格质量水平定为1.5：有特媒娄求时，由供需双方商定。7.3拍样女案
7.3.1器件检险，采用一次正常抽样方案。7.3.2GB/T2828见定的转移规则，也适用于本标准。7.3.3器件的检查批在100只以下时，全。了.4检胺夏目
7.4.1安本标准4中规定的各班选行控整验。可分皮儿个检验组进行检验，第计不会格样品数。按CB/T2828中相成格判定。
JU/T94B11999
7.4.2破坏性和花费时间太长的检验案日，由供需效行有定，全检、部分检或免检。7.4.3对于不要求温度补偿的器件，与识度补偿有关的条款可据实际使用情识，实行拖检或免检：B标志、包装、运据、必存
B.1标忘
2）制道商标，
b）塑号及制洗年、片，
B.2器件放在包装盘内，其周国成有聚苯乙帮墨料泡速村整，使力敏解件存任何交通运辅程中都能得到可靠范保护。包装盒内应有合格证、盘上应有封记。B.3包装的器件充许以各种方式运整，但应保障器件不受机械损仿和潮气、鼓敲气的没蚀，B.4普性应保存在-10°℃~+400，相对湿度不大于80%的通风、消洁无腐蚀性气体的环烧条性下，10
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