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- GB/T 12963-1996 硅多晶
标准号:
GB/T 12963-1996
标准名称:
硅多晶
标准类别:
国家标准(GB)
标准状态:
现行-
发布日期:
1996-01-01 -
实施日期:
1997-04-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.rar.pdf下载大小:
标准ICS号:
电气工程>>29.045半导体材料中标分类号:
冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
替代情况:
GB 12963-1991采标情况:
=SEMI M16-89
首发日期:
1991-06-04复审日期:
2004-10-14起草人:
王鸿高、尹建华、刘文魁、吴福立起草单位:
峨嵋半导体材料厂归口单位:
全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出单位:
中国有色金属工业总公司发布部门:
国家技术监督局主管部门:
国家标准化管理委员会相关标签:
多晶
点击下载
标准简介:
标准下载解压密码:www.bzxz.net
本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的半导体级硅多晶。产品主要用于制备硅单晶。 GB/T 12963-1996 硅多晶 GB/T12963-1996
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