【国家标准(GB)】 涡轮分子泵性能测试方法

UpC621.625：531.787
中华人民共和国国家标准
GE7774—87
涡轮分子泵
性能测试方法
Methods of mearursemenf of theperformance characteristics ofturba-malecularpumps
1987-05-23发
国家标准局发布
1988-01-01实施
中华人民共和国国家标准
涡轮分子泵性能测试方法
Methpdsot msarursementoftha
parformanco characteristics ofturbo-molecular pumps.
本标消规定广泻艳分子求件施滤试方法。本标焦套照采用因际标证150/DF5302《涡格分了系性能测试方法》，1内容及适用范围
UDC 652.216此内容来自标准下载网
: 57831,7
GBT774-7
小长范适用于涡轮分子农能止打，针跳及最大三靠比的测试。所用前级泵将抛速，应是分子象名艾拥速的D.D2～0.1件，分予系证能测试逆定期个近为范国，即，a.1~10-1F
6。任于 10-a
2术语
2.1抽气速审（体积流率）
泵装有标消测试军并换规定条牛工作，从测减单流运的气运流量（Q）与测试罩十指定位受得的半衡儿（F）之此，简称泵的帖迷，印=2.2极限压力
mt京L/s
某装有标推测试军并按规定杂牛了片，在不引入气体的正常工作价况下。趋向稳意的最低力。2.8罩大压缩比
泵入口的气满医为零，动路一添在前数区分市氧少卢止的%时，其前级压力与入压力之比。3鞭置（1～10-a）
3.1测试至
如图1所示。维均则降恶，其轴店尺寸为内径的1.5倍。试验气法迹气管口在测试年轴线上，东入！法兰宏，测金点力的规管接头泵口法0，，其轴线重上于测动军独院，与此规管接头战90”员议一同样接，用来近接效余气体分拆没。测试平应配备烘将装湿。口径心一成等于系，内在取，所的款形要管试单连接超来。
口径大一100系，内径内径周。
3.2真空计
学计必织没。对力成二或等于1P的究计，减校汇粘应栏土5以内，对乐为抵于1的厚，只改度虚在10%以内，游数均茂有控酬（流导不小于2/）的高玉强点阴极电离均两且。分予泵入,11三力用热图极良离点空让—BA规测量。3.3气体流量测量装置
国家机工业要员会批准
198B-01-01实施
进气许口.
GB774BT
观余气体分析仪
图1测试A
川力范1→10-Pa
锯形连接
根遭所训沈益大小选控减气流最均方法，其格为：a，流量大=1a/s为8%
b，统量在1～~10-+上am*/s内为上5%。建议采用滴管式流最装留，登期日63071≤举行流惠空系越气速测方法》，2气你流试装
8，4分子泵出口至剪级要的压力测量及进气装量谢试系统如多3新示。调带装在前级泵入口旺近的说图，以到前求区不写的儿女政，会子余导前教系间采用一内存等分子象口直的刚许连设。规落图短管逆，其提线理直于分子源前级系间境宽的平享部会，比退偿应靠近分子求出。4测件方法（压池国1--10-1a)
装用“定正法”须试。
将测达更装在券王，分产系接规光条件运，在整个源试造票中，家蓝出准15·2名之非可量-温离。测时，温虚许变范主1。的试产地后，测试系签的益签感均了，上在～2之，温虚变化不避过±3的。
4.1极限压力测盘
分子家店11，洪堵试罩，比避应不：120℃，索象择所烤染就，应变划进！在让行烤。甜势续聘福不荐过。
准烤现询及其以户，测盗圾限点的热例破总出计划必额谢造划定理行夫气，包进行2
GB T714 -87
图3分子聚出日至前级间压力量及进气装1—分于系2—致调闭3·制试盟4一高高空计就咨6—利余气代分析仪接费6一高压强真空计，？一液氮学需8—激调附9双级地片兹
一次，地未一次去气室少应在壹极限压力的与h进行。划烤禁策后：内用熟买极电高计测待的，即分严案极股压方。此，联与收间关系曲级的斜率不应为正估。
4.2景大压编比测量
联干塑空气，置气方试验气本，当测证年中达到极限乐力！？，时，盈置档应的前级灯P性P值应怀于10-1P4，调节3中微调阅，试验气体迹入前级区，使前龄力谱大到某一欲位，等压力稳定后，洲常分于系大口力产别不间，值平忽上学序，红起弱级创点。给制分子人口P，对前级求，美系。
办子泵最人压媒比自下式给出：=
测试时测稳好冷气体分所仪或其他指示气体纯度的仪器。让：①应使对试验气许设性的期空计，测法分子谋入门力总前签力当编使育统、致等气体训行时，一种洗吸气讯也，均制级制亚力。4.3抽速测
除非易有规定，一般设1湖为试改产体。测成五中达到极限正力之后，洲节图3中微谢阀：使决验气体整流且测瑞表可进入测试率，证必置单三力的逐步升实进行随试，激名义控速在500以下的分了系，10aP开始到，对名义拍通在6/s以上的分了系，以10*P开规试。取一划试点，系少度举衡in，再充察！min，正为应稳定主然山，此在效，所取效您避为多次谢试绍的乎加作。蛋保上述程片，通行下高为点法就。量级创一点。整到8
于系入口匹力与抽逆的关系曲线。5装算（压力范迪低于10-）
5,1到城罩
GB7774—8T
妇鼠所示。熙为阅简形，其输间尺寸方理内径的3倍，被带有遂望在的中隔板分为（）、（）两部「（x）的元寸及布益形式与图1测试军相同，下部（>）余「夫进气管外，基余尺寸及右资形式与上部（业）杀本程尚。测试案应配备炼越、对可径小于或等乎10m门的泵，逐试草内长取100m。用逐2所示的锥形连接曾把案与测试罩连接也来。
对口径女于期的的泵，测这孕内径与口为轻同，5,2真空计
同本标准3.2条。
5.3分子出口至前被泵问的压力测量及进气蒙置同太标准3.4条。
B通试有法（压力范出低于0-a）as
残余气体分析收
图4年
（烂力范前任于IG-\a)
采用“压差法”试，印“松汇流导法”Φ25
测试擎装在我，上，分了泵按说尽案件运转。空整个测试过程小，室温应在125：之间，测率祺烤行，测议系统的逼致，H准5～25之间，施度变化不超过3。B.1极限压力测素
分子发扇点11后，就将测试成，洪块湿度最高3心心，者录各右供烤装胃，应接制造一规室证行淇沟。燃旁势演时间不得超过非。就期的及其以，量盈股力热附极电施必领按制道厂现密继行“，每01GBT774--87
行一次。最\一次去气至少应在谢谨极限压力品51进行。烘烤结束后48内开热闭报电声计源弹的力，即为分子的极限月。此时，压力与睦间的美系曲然的料不应为正低。
6.2量大压给比测量
同本标准4.2条。
8,8抽增测量
除非身有财定：
股收一燥剂气、气试六体。准闻试我中达到设限压力之局，何节因3中微调医，使试验气入试风，随咨群生的逐我药、使至力为爱限非力的10倍，始进行测试。每取-津试点，主少应防2min，1观察min，力应稳定准±5%以内，到此点有效。重复上述程小满行下一发高服汀点通试、每，儿以望级测点，晚创分学案人压力与抑遗的关系曲线。在好-点，用电产规G、，洲欲的照分则为P，，（率下部（）点，持越白下式出
式中，C一-满联孔孕试验然分于流流与。证录前级正力和品度：
当分子系入1·压为达到7.S×10-：Pa或当该气体分子的乎均自电程少元测试呢宜径的20诺时，停止烫试。
7测试挺齿
T.1测试果
在双对数坐标上经制压维比与前级！：为的关系曲线。在单对数整标纸工祭制分下累独速（性剂照）与入口压力（对效度）的关拍题7.2测试记录
除已行到测试结果外，应包括下面激据，谢试军的元文及所月小礼点径的数：a.
小托流导及计算公戏：
烘烤最商摄店和持续时间，
所使压的金部测保仪表型号知标作条件d
试量上各接头密时形式
f、所使片润评油种类，效位
9.前级泵举别、型学及抽述：
分子系中机功章，范动率：
分学东额定轻运，
环境温度及大气店。
GB Tt 87
启动时间的测量
(补件）
将求与源让风逆接，前级泵和分子泵格处平静止状态，测试最内为大气压，两仓系同时接通电成两台泵接注电源的择间到分了泵达到额定转违的0路的制间，就是分子泵的急动时间。GBTT7&--87
附采B
薄壁死流导计算
【补究华》
萍熙孔对试验贸体府分流流导计算公式：元R
32#8年
式巾，——适伴整数（8.514-o），了—热方学温度，，
附——气体分子景，kg：
5—-报厚度，m
小孔性，m
GBTTT4-ST
点体能量测试装置
（补充件）
按测试品
1一次
品-送调风4--过
明加说明：
本标流电金工真空技术标准化技术资货含费H。本标难南比润真空按采研究所超革。
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