【电子行业标准(SJ)】 氧化炉完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
氧化炉完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
本标准规定了氧化炉的完好要求和检查，评定方法。SJ/T 31224 --94
本标准适用丁显像管电子枪阴极零件在湿氢气的作用下，进行氧化处理的设备。本标准不适用于非凝氢气作的和其它用途的氧化炉。2完好要求wwW.bzxz.Net
2.1主要性能、主要性能的究好要求和检测方法见表1表1
检测项日
炉内温度
出口温度
出厂标谁
1000~1100-20℃
室温+5℃
注：表中两项均为主要项目。
2.2操作系统
完好标准
检测器具和检测方法
用热电偶与温度记录仪检测,按零件处理工艺要求为基准，将热电偶放既炉内五个100G~-1100±20℃
或九个不同您舒测量，量数据按算术平均值计，与基准溢度比较，误差不超过20为格
室温+5℃
用变汁测量，洗测室温并记录.有测H口温度与室温比较
2.2.1操作机构开关、按钮等齐全，完整、灵敏，可靠，标芯齐全，完整无被损。2.2.2人口门，出口门和中间门升降灵活，关、开可靠.无卡滞，无变形，2.3炉体
2.3.1前筒，后简完整无损，无裂纹，后筒冷却良好，无变形，无漏水现象。2.3-2炉芯筒无裂纹，无烧损，无扭曲变形。2.3.3电加热系统接线端了连接牢固可常，电阻丝尤烧损。2.3.4保温良奸，保温层无剥离，无脱落，外留固定可常，无破损，无诱蚀，2.4气体管路系统
2.4.1氮气、氢气管路完整齐全、各阀门开、关灵活可靠，无锈蚀，尤泄漏，2.4.2各流量计完整齐全，氢、氮气体置换装置动作灵敏，流量显示准确。2.5纯水与冷却水系统
2.5.1纯水，冷却水管路完整齐全，各阀门开、关灵活可靠，无锈蚀，无泄漏。2.5.2纯水箱、冷却水箱完整无损，水窗明亮水位标志醒目。中华人民共和国电子工业部1994-0415批准1994-06-01实施
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2.5.3冷却水温度控制准确，水温保证在19主1C，冷却器加热器切换灵敏，运行可肇，搅排机运转良好，无异常噪产。
2.6电气系统
2.6.1元、器件齐全、究整，性能灵敏、可常，无老化现象。2.6-2管线完整、无损、连接牢固，线路绝缘虞光破裂·无老化，无漏电现象。2.6.3负载端绝缘电阻不小0.2M0，中继端绝缘电阻不小了10M0。2.6.4电气控制柜内部清沾.线路布暨整齐标志齐全、朗旅、各端子紧固、无松动现象，元、器件动作灵敏、安全、可靠。
2.6.5温度调节仪完整无损，谢温灵敏，游椭，运行可靠。2.6.6指示灯完整齐全，无破损，显示良好，标志齐全明显各仪器、仪表齐全，完整、灵敏、指示准确，可靠,有有效期内校验合格证。2.7排风系统
2.7.T排风良好，管路无被损，无锈蚀。2.7.2风机运转平稳，无冲击，无振动1。2.8安全防护
2.8.1各安全防护装罩齐全，完整、有效。2.8.2接地（零）可靠，标志明显，接地电阻不人于0.012。2.8.3各电器及线路端子必须符合防爆技术要求。2.9维护保养
按SJ/T31002—94设备维护保养通则》执行。3检查、评定方法
3.1检查方法
3.1.1本标准2.5.3条水温用温度计检查.并与温度调节仪显示温度比较3.1.2本标准2.6.3条用兆欧表检测，本标难2.8.2条用万用表检测。3.1.3其余各条在设备现场，采旧主观法检查。3.2评通方遇
3.2.12.3~2.8所列各条要求中，主要项目为2.1表1,2.3.1,2.3.2.2.4.1.2.4.2,2.5.32.8.1.2.8.2,2.8.3,其余为次要项目。3.2.2，主要项目有一项不符合要求，为不完好设备，次要项日有二项不符合要求，察为不完好设备。
3.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明：
本标准由电子工业部经济运行与体制政革司提出。本标雅由大连显像管厂纽织起草，木标准主要起韩人许传智。
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