【电子行业标准(SJ)】 DRS－Ⅱ840型激光修版机完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
DRS-I840型激光修版机完好要求和检查评定方法
1主题内容与适用范围
SJ/T 31105—94
本标推规定了DRS一I840型激光修版机的究好要求和检查、评定方法。本标准适用于集成电路制版用激光修版机。2究好要求
2.1主要技术性能指标
2.1.1几何精度
激光修版后的加工精度，通过Leitz公司的“电视测仪测量后，进行尺寸精度评估。主要精度检测项目和检测方法，见表1。表1
检测项目
出厂标准
工作台重复精度 测量长度
0~152mm
工作台步进精度
测量长度
0~~125μm
2. 1.2主要性能
完好标准
Q~152mm
测量长度
0125jum
检方法及检测器具
将标准专用检测版，装在机器工作台面上，并使工作台运动，其运动范国为标准检测尺寸版所规定的距高。运用机床所配有的测量功能，校正检测误差。
而后，装上整版并进行加工，用间样方法检测，比较两者之间误差：误差以测定的最大差值计。
激光修版机的性能，应能满足生产工艺要求，其主要性能指标必须达到以下要求。2.1.2.1修补透明缺陷：
修补范围:2X22~20×20μm2
激光功率：0~300mW。
激光波长：0.488mm。
激光输出方式是脉冲式光束，连续式光束。d.
计算机系统控制。
中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准注
1994-06-01实施
2.1.2.2修补不透明缺陷
SJ/T 31105—94
修补范围：2×2μm2~25×25μm。b激光能量：500J。
激光波长：0.532μn。
d。激光输出方式：脉冲式光束。2.2操作系统
各操作开关启动灵活，定位可靠、标志齐全。2.3传动系统
2.3.1X、Y导轨灵活可靠X、Y1作台驱动正确平稳。2.3.2上，下料工作台传动机钩运动平稳，无冲击、无卡滞现象。2.3.3-驱动工作台运行平稳、可靠。2.4光学系统bzxz.net
2.4.1调整光斑曝光均勾性、激光强度调节器工作正常可靠。2.4.2光学系统中移动部件运动准确。2.4.3光学系统中各光学镜头、清洁、视场清晰。2.4.4光学物镜镜头转换录活准确.调难装置移动灵活可靠。2.4.5两种激光器的激光功率调节可靠，光栏调节正常可靠。各附件装置齐全、2.5电气系统
2.5.1电气箱内清洁，布线整齐、线路无老化破损现象。各种线路标志明显。连接可靠。2.5.2电气线路板接触可靠，其它各种接触器动作灵敏可靠。2.5.3自动联锁保护及报警装置齐全，工作可靠。2.5.4各指示灯齐全完整指示正确，各按钮开关灵活可靠。2.6微机控制系统
2.6.1各开关，按钮、操作键完整无损，动作灵敏、可靠、控制装置各组成部分保持完整、功能齐全，性能稳定，工作状态良奸，显示清晰。2.6.2显示器能正常显示通电自检的正常信息，微机系统通自检功能必须正常。2.6.3输入/输出程序正确无误。2.6.4装置内部清洁、布线整齐，线路无老化、破裂，各线路标志齐全、正确。2.7安全防护
2.7.1安全防护装置齐全，性能可靠。2.7.2设备接地可靠，标志明显。2.8维护保养
按SJ/T31002—94%设备维扩保养通则》执行。3检查，评定方法
3.1检查方法
3.1.1儿何精度和工作精度按表1、表2所列方法检测，主要性能指标，运用相应检测器具测定。
3.1.2对各系统完好要求所列内容，在设备现场，果用主观法检查。—2
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3.2评定方法
SJ/T 3110594
3.2.1完好要求中，2.1各项和2.7.1、2.7.2为主要项目，其余为次要项目。3.2.2主要项目有一项不符合要求，为不完好设备，次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。
3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。3.2.3
附加说明：
本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。本标准由中国华晶电子集团公司组织起草。本标准主要起草人：浦纪良、颜军建—3
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