【建筑材料行业标准(JC)】 QSG3透明石英玻璃坩埚

中华人民共和国建筑材料工业部部
QSG3透明石英玻璃
本标准适用于半导体工业拉制单晶用的高纯透明石英玻璃埚。JC 226—81
本埚采用天然石英熔制成坏体，并在其内表面涂一层高纯人造石英玻璃层。一、技术要求
1.物理、化学性能指标
（1）化学成分
a：内涂层化学成分
铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不得大于0.001%。其中：铝≤5×10-4%；
铁≤0.5×104%；
钾≤1×10-4%；
b．埚坏体化学成分
铜≤0.1×10-4%;
硼≤0.1×10-*%;
钠≤1×10-4%。
铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不得大于0.01%。其中：铝≤60×10-4%；
铜≤0.1×10-1%;
铁≤5×10-4%；
钾≤4×10-4%；
（2）热稳定性
硼≤0.3×10-4%；
钠≤4×10-%。
试样在1100℃至20℃温度急变下试验三次，不产生裂纹。（3）抗结晶性
试样在1200C温度下恒温半小时，不允许出现直径大于3毫米的析晶白点，0.5～3毫米的析晶白点，每100平方厘米不得超过10个。（4）涂层厚度应均勾，折合重量应符合表1规定。表1
外径D
2.外观指标
涂层重量
（1）埚坏体部分（见表2）。
中华人民共和国建筑材料工业部发布建筑材料科学研究院出
外径D
涂层重量
1981年3月1日实施
建筑材料科学研究院起草
波(亳米)
允许数量（个/厘米）
充许数量（条/100厘米2）
丝状长径(毫米)
点状直径（毫米）
充许数量（个/100厘米2）
JC 226--81
弧度部分
直线部分
弧度部分
直线部分
透明颗粒允许数量（个/100厘米2）注：①缺陷宽度小于点状下限的按丝状计。②非圆形缺陷的直径均按算术平均值计。（2）甘埚口部不得有缺口，不得有深、宽大于4毫米的表皮崩落。（3）内表面不允许有色斑沾污和析晶。表2
0.3~~0. 4
0.2～1.5
0.2～0.8
（4）内表面涂层上每100平方厘米中允许透明颗粒（直径在0.50.7毫米）为10个。二、形状与规格尺寸
3．半导体用透明石英玻璃埚的形状与规格尺寸应符合下图及表3规定。单位：毫米
80±8:8
100±9:1
106-9:1
114t:1
130±9:
110±3www.bzxz.net
底部半径
厚度范围
同一横截面厚度公差
4．化学成分
JC22681
三、试
按JC186一81《石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法》中的规定进行。5.热稳定性
按JC187—73《石英玻璃热稳定性检验方法》中的规定进行。6.抗结晶性
按JC188--73《石英玻璃抗结晶性检验方法》中的规定进行。7.气泡
按JC190—81《透明石英玻璃气泡、气线检验方法》中的规定进行。495
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