【国家标准(GB)】 金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法

cS 37.020
中华人民共和国国家标雅
GB/T 17722—1999
金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法Gol-plaied thickness measuremeni by SEM1999 - 04 - 11 发布
1999-12-01实施
国家质量技术监督局发布
GB/T177221999
日前市逐正当的黄金制品名日策多，常光的存谨金、包金、般监金以及各种表尽镀有黄金与自银的微含德层的金制品，此外，些K会饰品也在外面链覆练金或K会，一此自金筋品的表面置益有杯种贵金与的镀层，而比用1述方法创成的饰品或工艺品种类十分紫多，面时如此数多的师品利工艺品的质最蓝测是个要大的问题
本方法提出闪对金避益层厚度的直想测母方法，月扫庙电魔从金饰品的断面上真磨测定其要益层的成分，提益原的房数和各灵的序度等，别于评价述各类金制品的质量将具有十分重要的意义。本标准的附录A层摄示的附录.
本标准市全国微贞分析综理化技术秀员会提山井归口，本标准起京单：中画科学院北京科义研制中心、地矿部矿床地质创究所、北京料技大学材料物理系，上海市测友太列究院，中册总25所。本标准主要起草人陆亚估周创雄，得培，张认影徐国照、1范围
中华人民共和国国家标准
金盖层厚度的扫描电镜测量方法Gald-plated thickness measureanent hy SKEstGE/T17722—1999
本标准定，各类金制品内金微益厚度的扫编也镜别过方括技大要求，本标准也道,用于心了探针仪测冠金层压适月的度测或为0.2~10。其他金网材料的雅益层限睡的测量也可照执行2引用标准
下列标准所包舍的条文，通过在术标准中引用间树成为木标准的案文，本标准出版时，所求版本均为有效。所有标准帮会被修计，使用本准的各方成损讨使用下列标准量新版本的可能性，GB/T12334一199金属及其他无切爱盖暑关！厚度微受的宽文和一微规网GA/T 13223—1901
金真品微组检法
金属与合金电子操针定分折详品的制方法GB/T1561S1991
GB/T16594—1!06
微米级长度的扫描自镜漫方运
GB/T17362-1998
黄企的品的扫油电文时浅能谐分所方法G/T173GA-1998
黄金制品的电子换针列兰方法
3术语
局部厚度在基本测量面内对一部位烫定的压度值。平动厚度在基本测或而内不间部位选择即是数盐的与部享度测值的算术平均定：面文H123R+-H90
4原理
布标增方法足光将破测金摄盖展打品的外而所金店保护居后，在事点微盖居坏效薄斤、经过销、研磨、地光后制成试、利用打描印镜观案二次电广像和背整射电子象直接测定置益尽尽数式金凝蓝实的平均厚度
5标准器和器设备
5.1扫推出镜：二次电了像分新小光十10um.费敢的电了像分辨力优十20nm。5.2氟米链长标佳器经达定计量机构标完，最小划座标所消度小于m。5.3比长仪：虽程不小于6m误英不透过士：m。5.4金相显激镜。
5.5超声波情洗器。
5.6线割机或低退余列锯片
国表高量拉术监督局19990411批准1999-*2-01实施
6实登方法
6.1戴面试样制备
61.1金满保层药司备
CR/T177221999
6.1.1.1将得测拦品进行超声波消洗，冲你.炭6.1.1.2样品本面电链上厚度大于1心m内流，保试样.6.1.2崴面式样的打取
1.2.1我切现或刚砂器片垂试样层试，致2~2.mm购截而试样6.1.2.2切面应盘垂直于覆盖展当止直文差10\时产兰的测课禁为：.5%。6.7.2.3试样太小时，试择接评嵌按<14/1561%-1991第6单中选取合适的罐奖进行探作，6.1.3截面试详的燃嵌，研磨和抛光6.1.3.1银成试样。为了保证变到证拌插截而成与短盖垂直，生镶联试样时.持一细的N：的区押丝与试样起进成使空的规行干蓝层心磨地光后应圆形，以载面与题盖层的乘百度：或共谢有效节法6.1.3.2用扭瓶将鼓面试样上压切当损伤部分磨去.6.1.3.3接G/T13298—199：中第3率，将截雨式样研赠、抛光至符合企相样品要求。6.1.3.4用提声减清洗然浮流试拌。序用金相显微境检查双测整个载而，皮强点演晰，元外来物所磨狼。
6.2厚测的咨
6.2.1而试书安装
将样安装在样品座上.使截面保对本.并叫定在扫排电镜样品台上，按GBT1691一15S6第5.I条进行。
6.2.2将扫描电销调整到品上件状念。样品台倾斜角要调物到零，保证截面试样处」同一彩焦平面。6.2.3用Y身载能借仪依测裁逆层的成公信息：多镀系样品还应确定其中金镶层的所在位置。如需正确测定党盖层成未体的化学成分·应按器GB/T17363或CB/T17362光行分外6.2.点拍要一张测受覆益层厚度关全貌照片：片在照片上尔测口覆盖层局部厚属的低个师位6.3局部厚度的则域
6.3.1遗圾合逆的效大倍数，证被金握局部早度总大到5mm以上，对局置度小」0.5m者效大到3m：对层厚度人于5m书，放人借数不小小10.应保图像上不司部空览大培数均约一效。
6. 3.2送
6.32.1将待测厚度调创现场中心.选定的大停效，在相同的放大倍数下，作提一次电于像和皆做对电子像，有电子标尺（油微米级长度标准款准过)者，将标尺标于等测厚度处市服下，要有足能的一度和消晰边界·也可加做分图像。6.3.2.2全金覆盖层上选取名下个有代表性的部位（个数为，且5，对所达的每个部位，分别拍接一张上，并测基后部厚度
6.3.3方法二；
6.3.3.1用微*级长度标注器向待测式详对止测性局烂度时：按13/1165911!96中第5.2系利第5.3条拍拟试样和长度示准端照片，安第5.2条拉性试群时需增排背散射目于像片。6.3.3.24金限上送取下个有光表拍需位：个数15）接G/16554-199中5.2条拍折各部位的二次良子您背胶7像购片.接若币接（B155941SG十第.J条拍换张长度标准器照片。
GB/T17722:1999
6.3.3.3在按案6.3.3.条和第6.3.3.2录交替拍抵长度标准器和金程益层照片时，为了使放大格数随时间的变化降到最小，应延保待加速电压，心磁对中，摘频章，山源集等不变的情况下尽决提下一张照片。
6.3.3.4接GB/116504一1996中第5.1条别单所微需片.光两张长出标准原片中得到平些标长长度A，从第：张待测试样的背散射电子俘照片得到待测享度，按式（1)供到局帮厚变工T, =B, X A
上十，一一你尺处度常标定值。6.原度
从第6.3.2条或第6.3.2条中选取实际测宗的一报局部厚4，的数据，按式（2)计算金菁具的平均厚度了：
7测量误理
卓误劳g)赔式(3)计算
g=va=a+rwwW.bzxz.Net
式中：t局部厚照用标尺设数时读差一标心的分度标定澳差，
F制样中新面与额火角土19米的温差，8测试据告
-（3】
B.1测式结果以平均呼度（m）表示，源见的相对偏，当12um时，小于10%，当T1拍时，偏差小于。
8.2告应至少包抵以内容：式作划定的部位、烫定所用的图像类型、测定时范施大倍数，覆蓝暴教，每一层方成分，局谛原良测定次教和平日厚店，洲定日期和测定者姓名。8.3微测样品的金镜希层质助变规而相随度出响：锻层基木均连续时，选个代表性的局部写度求平均厚安：糖原断续不超过20光时，给出厚度的感大值动最心，一镀层断终超过205时，序良差则很人，提供载面照片和厚良参考值。Ni诱层的配方如下;
据度，C
朗投心流.A/dm；
疏酸锻
飘化腺4号
硼醛8
1. 3~.4. -
15 -- 5
GR/T 17722-1999
（提示内附录）
Ni钟层的配方
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