【其他行业标准】 镍铂靶材

ICS 77.150.99 H68 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 937—2013 镍铂靶材（Nickel-platinum target） 2013-10-17发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 2014-03-01实施 前言 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。 本标准负责起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院。 本标准参加起草单位：宁波江丰电子股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。 本标准主要起草人：朱晓光、顾新福、杨永刚、向磊、何金江、郭力山、吕保国、姚力军等。 1 范围 本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同（或订货单）内容。 本标准适用于半导体薄膜用各类镍铂靶材。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡注日期的引用文件，仅注日期版本适用；凡不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有修改单）适用。 GB/T 1031 产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值 GB/T 6394 金属平均晶粒度测定法 GB/T 14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GJB 1580A 变形金属超声检验方法 YS/T 837 溅射靶材—背板结合质量超声波检验方法 3 术语和定义 3.1 靶材 target 溅射沉积技术中的阴极部分，在正离子轰击下以原子或分子形式脱离并沉积于基底表面的材料。 3.2 靶坯 target blank 阴极上用作目标材料的主体部分。 3.3 背板 backing plate 用于支撑或固定靶坯的结构部件，可通过钎焊、电子束焊、扩散焊或机械连接等方式与靶材结合。 4 要求 4.1 产品分类 镍铂靶材按结构分为单体靶材和复合靶材（如靶坯与背板结合结构）。按形状分为圆形、矩形及异形（如三角形等）。背板材料可为无氧铜及铜合金、铝合金等。 4.2 牌号表示方法 牌号表示由镍铂成分及纯度组成，例如含15%铂、纯度99.95%的镍铂靶材表示为NiPt15-99.95。 4.3 化学成分 镍铂靶材的化学成分及杂质元素应符合表1规定。 4.4 外形尺寸 靶材尺寸及结构由供需双方协商确定。 4.5 晶粒尺寸 平均晶粒尺寸不大于100 μm，最大晶粒尺寸不大于150 μm，晶粒分布应均匀。 4.6 内部质量 靶材内部不得存在分层、夹杂及气孔等缺陷。 4.7 焊接质量 复合靶材分为钎焊和粘接结构，其焊接质量应符合表2规定，如有特殊要求由供需双方协商确定。