【其他行业标准】 镍铂靶材

ICS 77.150.99
中华人民共和国有色金属行业标准YS/T937—2013
镍铂靶材
Nickel-platinum target
2013-10-17发布
数码防伪
中华人民共和国工业和信息化部发布
2014-03-01实施
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员（SAC/TC243)归口。本标准负责起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院。YS/T 937—2013
本标准参加起草单位：宁波江丰电子股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。本标准主要起草人：朱晓光、顾新福、杨永刚、向磊、何金江、郭力山、吕保国、姚力军、王学泽、李勇军、尚再艳、孙秀霖、陈彩霞、张丽、李娜、刘红宾、夏乾坤、蒋宇辉。I
1范围
镍铂靶材
YS/T 937--2013
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T1031产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廊法表面粗糙度参数及其数值GB/T6394金属平均晶粒度测定法5金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则GB/T14265
GB/T15077
贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法GJB1580A变形金属超声检验方法YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。3.1
靶材target
溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。
靶坏targetblank
阴极上用作目标材料的部分。
背板backingplate
用来支撑或固定靶坏的部分。靶材与背板可以通过焊接（如钎焊、电子束焊、扩散焊等）、机械复合、粘接等方式连接。
4要求
4.1产品分类
4.1.1镍铂靶材分类按照结构形式分为单体和复合两种，如图1所示。1
YS/T 937---2013
焊接层
复合靶材
图1靶材结构示意图
单体靶材
4.1.2镍铂靶材分类按照形状分类主要为圆形、矩形和异形（如三角形等）。4.1.3靶材的背板可包括无氧铜及铜合金、铝合金等。注：需方有特殊要求时，由供需双方商定。4.2牌号表示方法和标记示例
产品纯度
铂含量
产品名称
示例：含15%铂，纯度为99.95%的镍铂靶材，表汞为NiPt15-99.95。化学成分
镍铂靶材的化学成分及杂质元素要求应符合表1规定。4.4外形尺寸
镍铂靶材尺寸及结构方式一般由需方提供尺寸，由供需双方协商。4.5晶粒尺寸
平均晶粒尺寸应不犬于100um，最大晶粒尺寸不大于150μm，并且晶粒分布均勾。注：需方有特殊要求时，由供需双方协定。4.6内部质量
镍铂靶材内部不应有分层、夹杂和气孔等缺陷4.7焊接质量
焊接类镍铂靶材分为钎焊和粘接。焊接质量应符合表2的规定，需方如有特殊要求时，由供需双方商定。
YS/T937—2013
%/(-0I)()
s'1千09
666-0N
YS/T 937--2013
% /(,-01×I)
%/(-01)(
16666-0N
YS/T937—2013
（）［
6666-09N
%/(,-01×l)
YS/T 937—2013
焊接方式
4.8表面粗糙度
表2焊接质量要求
焊接结合率
≥95%
≥98%
镍铂靶材表面粗糙度Ra值应不大于1.6μm。4.9外观质量
单个未焊合间隙面积占总面积的百分比≤2%
镍铂靶材表面应清洁、光滑，无指痕、油污、锈蚀、颗粒附加物和其他沾污。5试验方法
化学成分的分析方法
5.1.1铂含量不大于15%的分析按附录A执行，铂含量大于15%的分析按附录B执行。5.1.2金属杂质元素的分析按附录C执行，其他杂质元素检测由供需双方协商解决。5.1.3气体元素C、H、N、O的分析按照GB/T14265的规定执行。5.2尺寸检验方法
镍铂靶材的外形尺寸的测量按照GB/T15077的规定进行，还可采用三坐标仪等相应精度设备进行测量。
5.3晶粒尺寸检验
按照GB/T6394的规定进行观察、评定和确认。5.4内部质量检验
按照GJB1580A的规定进行。
5.5镍铂靶材焊合质量的检验
按YS/T837的规定进行。
5.6表面粗糙度
由表面粗糙度仪检测，按照GB/T1031的规定进行。5.7
外观质量
用目视检查，如发现异常现象，在10倍放大镜条件下进行目视检查。5.8
包装质量bzxz.net
用目视检查。
6检验规则
6.1检验和验收
YS/T937—2013
6.1.1产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准及合同（或订货单）的规定，并填写质量证明书。
6.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准及合同（或订货单)的规定不符，应在收到产品之日起15日内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方共同进行。
6.2组批
产品应成批提交验收。每批应由同一炉次、同一牌号和规格的产品组成。6.3检验项目和取样规定
6.3.1产品应进行化学成分、几何尺寸、晶粒尺寸、内部质量、焊接质量、表面粗糙度、外观质量、包装质量检验。检验项目、取样位置及数量见表3。表3检验项目、取样位置及数量
检验项目
化学成分
几何尺寸
晶粒尺寸
内部质量
焊接质量
表面粗糙度
外观质量
包装质量
取样位置
铸锭缩孔下
结合面
取样数量
1个样品/锭
2个样品/批
要求的章条号
6.3.2取样：晶粒尺寸的检测在镍铂靶坏焊接前进行。取样示意图如图2所示。样品2
圆形靶坏
样品1
图2镍铂靶坏分析取样示意图
样品2
矩形靶坏
检验的章条号
样品1
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