【GB国家标准】 靶材与背板结合强度测试方法

GB/T 39163-2020.Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies.
1范围
GB/T 39163规定了靶材与背板结合强度测试方法。
GB/T 39163适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注:靶材与背板结合方式包括钎焊(传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等)、扩散焊、电子東或激光焊.爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂.热喷涂等。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 228.1-2010金属材料拉伸试验第1部分:室温试验方法
GB/T 228.2金属材料 拉伸试验第 2部分:高温试验方法
GB/T 8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 10623金属材料力 学性能试验术语
GB/T 16825.1静力单轴试验机的检验第1部分:拉力和(或)压力试验机测力系统的检验与校准
3术语和定义
GB/T 228.1-2010界定的以及下列术语和定义适用于本文件。为了便于使用，以下重复列出了GB/T 228.1-2010中的某些术语和定义。
3.1
靶材 target
在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。由靶坯和背板组成。
3.2
靶坯 target blank
阴极上用作溅射材料的部分。
3.3
背板 backing plate
用来支撑或固定靶坯的部分。
3.4
最大力 maximum force
试样在屈服阶段之后所能抵抗的最大力。对于无明显屈服(连续屈服)的材料,为试验期间最大的力。
注:改写GB/T 228.1-2010,定义3.9.1和3.9.2.