【国家标准】 特种气体储存期规范

ICS 71. D40. 10
中华人民共和国国家标准
GH/T 26571-—2011
特种气体储存期规范
Specification for the shelf life of a specialty gas2011-06-16发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
2011-11-01实施
本标准由全国半导休设备和材料标准化技术委员会(SAC\Y:283)提出。GB/1 26571—2071
本标准中全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（SAC/TC203/SC1)口。本标准起草单位：南化工研究设计院。本标准主要起草人：周鹏云。bzxZ.net
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1范围
特种气体储存期规范
求标准规定了咨种特种气体至少应达致的储存期。CB/I 26571-2011
本标准适用丁采用适当容器充装，经分析后储存备用的特种气体，也适用于由特种气体牛产广和供应商提其的气体，在本标推中,储存期是从质量的角度来考虑的。本标准不涉及与延长储存有关的安全问题。
2术语和定义
下列术语和定义适用于本标准。2.1
剩余量reidal level
留在容器中的以质最或正力计的剩余产品量。该最应尽景少,以最大限度降上次在镇气体中高含长东质对作工艺的影响。
倦存期shef life
以分析案成的时间起：供应商假证气体质量的期限：在这个期限内，应保证准分析垃的杂重含量保持或低一果一特定等级气体规定的技不指标上后。7.3
液干qulddry
腋化气忆中所有的液循用完
3要求
3.1影响特种气体储存期的因素
3,1. 1气体的热稳定性。
3.1.2容器和阀门的所其
材料选择：
气密性，
3.1.3气体与不同物质的共存稳定性气体和架质：
一气体和包装材料。
3.1.4充装和分摄作
3.1.5运输和储存条件。
3.1,6 容器中产品的量=
3，1.7阀门的气密性是决定气体诺存期的关缝因素,特别是对于低压气体。为有效提高气体与不同物质的共存稳定性，古先应将气体纯化到-定程度，侦所含杂质不再随时间而变化，同时还应选择合适的包装材料，充装前，对容器内表面进行化学，物理或钝化处理，也可以有效减少反应随时间的延续而产生的影响：
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GB/T 26571—2011
3. 2根据储存期的长短对特种气体进行分类3.2. 1分类
为了定义站存期，将持种气体分为四类，见表1，从備存期的角度来看，有时将表中其有化学反应性的气体归类为非反应性气体。表 1 特种气体分类表
非反应性气体
3.2.2非反应性气体
反应性气体
腐恢性气体
Sicl, I,
通带情况下，不和外界空气、包装材料或带见的特种气体中的杂质起反应的气。3. 2. 3反应性气体
和外界空气或包装材料起反应的气体。3.2. 4腐蚀性气体
通常在微星水的存在下会与包装材料反应的气体。3.2. 5不稳定女体
具有热不稳定性，并H会随时间而白然分辨的气体。3. 3储存期
气体的俗存期不成少于表2 所示时间。表 2储存期
非反皮性气体
36个月
反应性气体
24个月
腐蚀性气体
18个月
不稳定气件
小稳定气体
6个月
3.3.1对除热不稳定气体以外的电子级特种气体，在选择了合适包装材料利对容器进行了合适处理(和钝化)的案件下,杂质含显弹论1:不随对间的变化而变化、鉴于此,不对其储存期规定1限慎。2
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3.4混合气
GB/T26571—2011
混合气的储存娠以混合气中其有最短储存期的成分米确定。例如，反应性气体与非反应性气体的据合气·储存期应该是24个月。混合气储存期内的杂质指标和混合气组成的分析均应符合相成产品规范。
3.4.1对含有低于1000×10-5（体积分数）组分的混合气，成特别注意包装窄器的预处理。容器对低含屋组分的吸附作用可能会使绪存期缩短，因此需要将包装容器内表面粗糙度降至最低或对容器表面进行钝化处瑾。
3.5剩余量
通带情况下，容器中最先流出的气体与最后流出的气体中，杂质含量是不同的。特别是在较低气体压力时，由丁被容器内壁吸附的水的脱附垦增加，使气体中水含基相应升高。除此之外，在液化气体中，气液网相的共存会对气体中杂质的分配产生可测量的影，成留足量产品在案器中以避免“没于”貌象的发生。
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