【地方标准】 半导体行业污染物排放标准

备案号：20949-2007 上海市地方标准 DB31/374-2006 半导体行业污染物排放标准 The discharge standards of pollutants for semiconductor industry 2006-11-01发布 上海市环境保护局 上海市质量技术监督局 2007-02-01实施 前言 为贯彻《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国水污染防治法》、《中华人民共和国大气污染防治法》和《中华人民共和国海洋环境保护法》，加强半导体企业污染物排放控制，保障人体健康和维护生态平衡，结合上海市实际情况制定本标准。本标准主要特点包括： 1）适用于半导体企业水污染物和大气污染物排放管理； 2）水污染物排放根据功能区执行分级标准； 3）大气污染物排放不按功能区分级； 4）现有半导体企业需达到挥发性有机物（VOCs）排放标准，其余污染源不再按建设时间规定限值；半导体企业的噪声控制和固体废物控制按国家和本市相关规定执行。 自本标准实施之日起，半导体企业水污染物排放按本标准执行，不再执行DB31/199-1997《污水综合排放标准》；大气污染物排放按本标准执行，不再执行GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》。本标准首次发布，由上海市环境保护局提出并归口，起草单位为上海市环境科学研究院和上海市集成电路行业协会，由上海市人民政府于2006年10月13日批准，解释权归上海市环境保护局。 1 范围 本标准规定了半导体企业水污染物和大气污染物排放标准值，适用于半导体企业水污染物和大气污染物排放管理，以及半导体企业建设项目环境影响评价、环境保护设施设计、竣工验收及投产后的污染控制与管理。 2 规范性引用文件 本标准引用的标准和分析方法表所列规范，与本标准同效。引用文件包括： - GB3095 环境空气质量标准 - GB3097 海水水质标准 - GB3838 地表水环境质量标准 - GB/T12997 水质采样方案设计技术规定 - GB/T12998 水质采样技术指导 - GB/T12999 水质采样样品的保存和管理技术规范 - GB13271 锅炉大气污染物排放标准 - GB/T16157 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法 - GB16297 大气污染物综合排放标准 - HJ/T 91 地表水和污水监测技术规范 - HJ/T 92 水污染物排放总量监测技术规范 注：上述标准和规范被修订时，应使用最新版本。 3 术语和定义 3.1 半导体企业（semiconductor industry）：指从事半导体分立器件或集成电路制造、封装和测试的企业。 3.2 特殊保护水域（special protected water area）：指经国家或上海市人民政府批准的自然保护区范围内水域，包括GB3838中II类水域及本市各区、县规定的保护水域。