【电子行业标准(SJ)】 真空电阻炉基本参数系列

中华人民共和国第四机械工业部部标准
真空电阻炉基本参数系列
SJ861-74
中华人民共和国第四机械工业部部
真空电阻炉基本参数系列
SJ861-74
本标准适用于用电阻材料加热、在真空状态下工作的电阻炉。标准中所列品种、规格系指电子工业生产中通用的真空电阻炉，不包括半导体专用的和某些特殊用途的真空电阻炉。
1所定基本参数有最高温度、炉膛尺寸、热态真空度、额定功率及相数、恒温区尺寸及其温差等，其含义分别为：最高温度—在规定的真空状态下空载时所能达到的最高炉温，炉膛尺寸一-炉膜的有效空间；
热态真空度一在最高温度下空载时所测得的炉膛内真空度；额定功率及相数一一加热额定功率及加热电源的相数；恒温区尺寸及其温差一一一在最高温度下所测得的恒温区长及在此区域内的温度偏差。该参数仅作参考。
2。本标准接结构特征分为井式真空电阻炉、钟罩式真空电阻炉、底部送料式真空电阻炉及卧式真空电阻炉。3，井式真空电阻炉、钟罩式真空电阻炉、底部送料式真空电阻炉及卧式真空电阻炉的基本参数分别见表1、表2、表3、表4。表1
最高温度
炉瞳尺寸
（直径×深度）
$100×300
$200×400
300×600
热态真空度
(毛）
1×10-5
额定功率及相数
中华人民共和国第四机械工业部发布相
恒温区尺寸及其温差
道温区尺寸
（沿深度方向）
(mm）
1975年1月1日
共3页第2页
最高溢度
最高混度
炉瞳尺寸
（直径×深度）
中75×250
$100×300
$200×400
$300×600
$75×250
$100x300
$200×400
$75×250
$100×300Www.bzxZ.net
Φ200×400
$75x250
$100×300
0200×400
$300x600
护腹尽寸
（工位×直径
×高）
2200×300
2×250×350
2×200×300
2×250×350
SJ861-74
热态真空度
(毛）
5×10-5
5×10-5
5×10-5
5×10-s
热态真空度
(毛）
1x10-s
1×10-5
额定功率及相数
额定功率及相数
续表1
恒温区尺寸及其温差
恒温区尺等
（沿深度方向）
恒温区尺寸及其温差
填温区尺寸
（沿高度方向）
（mm）
最高温度
最高温度
炉膛尺
（直径×高）
Φ400×650
Φ500x
Φ650×1000
$1000×1500
中400×
$500×800
$650×1000
1000×1500
400x650
$650×1000
（工位×直径
x长）
(mm）
2×100800
2×2501000
SJ861-74
热态真空度
(毛）
5×10-$
5×10-5
5×10-5
热态真空度
(毛）
额定功率及相数
额定功率及相数
共3页第3页
恒温区尺寸及其温差
恒温区尺寸
（沿高度方向）
(mm）
恒温区尺寸及其温差
恒温区尺寸
（洛长度方向）
（mm）
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