【电子行业标准(SJ)】 集成电路制版设备名词术语

中华人民共和国电子工业部指导性技术文件SJ/Z2927-88
集成电路制版设备名词术语
1988-03-10发布
1988-10-01实施
中华人民共和国电子工业部发布中华人民共和国电子工业部指导性技术文件集成电路制版设备名词术语
SJ/Z2927-88
本指导性技术文件规定的名词术语适用于集成电路光学制版主要设备的研制、使用、测试及验收。
1一般名词术语
1.1制版设备
mask-makingequipment
在半导体工艺中，制作掩模的工艺设备，称为制版设备。通常包括制作原图的座标刻图机，制作中间掩模的初缩照相机、图形发生器，制作主掩模的精缩照相机，制作工作掩模的掩模复印机、电子束赚光机、激光制版等主要设备。1.2座标刻图机
coordinatograph
在制版工艺中，利用座标原理，刻刀作两维运动，刀尖在红膜上刻出划痕，揭掉无用部分，形成原图的工艺设备，称为座标刻图机。通常由放置红膜的台面、作两维运动的刀架、刻刀等组成。
1.3初缩照相机
first reduction camera
在制版工艺中，利用透镜成像原理，将原图缩小，制作中间掩模的工艺设备，称为初缩照相机。又称一次缩小照相机或大型照相机。通常由光源、原图架、缩小物镜、版盒、观察系统等组成。
1.4图形发生器
pattern generator
在制版工艺中，由图形数据直接制作中间模的工艺设备，称为图形发生器。又称原图发生器。其工作原理是把纸带或磁带存储的图形数据输入给图形发生器的控制系统，控制放有感光版的工作台和成像系统协调动作，制出中间掩模。通常由计算机系统、控制软件、电气控制系统、精密工作台系统、成像系统等组成。1.5精缩照相机
photorepeater
在制版工艺中，将中间掩模的图形进行缩小并分步重复照相，在感光版上形成图形阵列，制作主掩模的工艺设备，称为精缩照相机。又称分步重复照相机。通常由高分辨的光学成像系统、中间掩模对准系统、精密工作台系统和电气控制系统等组成。1.6掩模复印机
mask printer
将主掩模复印成工作掩模的工艺设备，称为掩模复印机。通带山控制系统、光源、透镜组和复印室等组成。
中华人民共和国电子工业部1988-03-10批准1-
1.7乳胶版
SJ/Z2927--88
highresolutionemulsionplate
在玻璃衬底上涂有感光乱胶的掩模材料称为乳胶版。也称明胶版或超微粒干版。在制版工艺中，一般用于制作中间掩模、主掩模或工作掩模。1.8铬版
chromium plate
在玻璃衬底上镀制有铬膜的掩模材料称为铬版。在制版工艺中，一般用于制作主掩模、工作掩模。
1.9原图
original artwork
在制版工艺中，根据集成电路放大的设计版图，由手工、座标刻图机、自动刻图机刻制的红膜图，称为原图。
1.10中间掩模
master reticule
在制版或光刻工艺中，待分步重复、缩小的掩模，称为中间掩模。又称初缩版或一次版。
1.11主掩模
mastermask
在制版工艺中，将巾间掩模经分步重复、缩小而制成图形阵列的掩模，称为主掩模。文称母版、精缩版或二次版。
1.12工作掩模
working mask
在制版工艺中，山主掩模复印而成用于光刻工艺的掩模，称为工作掩模。又称光刻模。
2性能指标名词术语
2.1图有效面积
effective area of engraving artwork座标刻图机可刻制原图的最大面积。单位：平方毫米。2.2刻线间距误差
span error in indenting line在刻制原图时，两刻线之间实际距离与理想距离的偏差。单位，毫米。2.3圆直径误差
diameter error in engraving artwork在刻制圆图形时，实际直径与理想直径的偏差。单位：毫米。2.4制版有效面积
effective areaof mask-making在制版工艺中，可制作图形的最大面积。单位：平方毫米。2.5单元图形面积
single pattern area
SJ/Z2927--88
精缩照相机制版时，一次爆光可制作最大图形面积。单位：平方毫米。2.6工作台行程
stage travel
工作台作直线运动的最大范围。单位：毫米。2.7运动直线性
moving linearity
在运动范围内，运动件实际运动轨迹对理想运动轨迹的最大偏差，如图1中Ay。单位微米。
实脉运动就迹
理想运动轨迹
图1、运动直线性
2.8工作台垂直度
stage orthogonality
作两维运动的工作台，在运动范圈内，某一运动方向的平均直线轨迹对另一运动方向的平均直线轨迹在垂直方向的变动量，如图2中或△α所示。单位：微米或度。D
2.9工作台最高速度
Y向运动平均直线轨迹
久向运动子均直找物迹
图2工作台垂直度
maximum stage speed
单位时间内，工作台某一方向所能移动的最大距离。单位：毫米/秒。2.10工作台加速度
stage acceleration
单位时间内，工作台运行所能达到的最高速度。单位：毫米/平方秒。2.11工作台位置分辨率
stagepositionresolution
工作台实际运动中，任意一次运动都能实现的最小位移量。单位：微米。3
2.12工作台计数分辨率
stage register resolution
SJ/Z2927-88
工作台测长系统可分势的最小长度。又称脉冲分辨率或脉冲当量。单位：微米/脉冲。2.13工作台程序分辨率
stage programmable resolution计算机控制工作台运行时，由程序所决定的最小位移量。单位：微米。2.14孔径运动范围
apertue range
孔径从最小到最大的变化量，以象面的面积表示。单位：平方微米。2.15孔径分辨率
aperture resolution
由控制系统所决定的孔径最小位移量，以象面长度表示。单位：微米。2.16孔径程序分辨率
aperture programmable resolution计算机控制孔径运行时，由程序所决定的孔径最小位移量，以象面长度表示。单位：微米。2.17孔径刀口平行度
apertureblade parallelism
在运动范围内，孔径相对刀口之间在平行方向上的变动量。单位；微米。2.18孔径刀口垂直度
aperture blade orthogonality在运动范围内，孔径相邻刀口在垂直方向上的变动量。单位，微米。2.19孔径转动范围
aperture rotation range
孔径从零位起旋转到最大角度范围。单位；度。2.20孔径转动程序分辨率
aperture rotation programmable resolution由程序决定的孔径转动的最小角度。单位：度。2.21孔径转动回零熏复性
zero-degree repeatability of aperture rotation孔径旋转多次重复回零的一致程度，以象面最大极限误差表示。单位：微米。2.22孔径转动对中性
aperture rotation centering
孔径中心相对孔径旋转中心的偏移量。单位：微米。2.23孔径与工作台运动直线平行性alignment aperture with stage motions孔径刀口在象面上的图象与工作台相应运动直线在平行方向上的变动量。单位：微米。2.24镜头分辨率
lens resolution
$J/Z2927-88
在标准工艺条件下（或在实验室条件下），在镜头视场内，单位长度可分辨线对的数月，或单位面积可分辨的像元的数月。单位：线对/毫米。2.25镜头实拍分辨率
lens practical resolution
在一般工艺可接受的条件下，在镜头视场内，实拍的版面上，单位长度可分辨的线对的数目，或单位面积可分辨的像元的数目。单位：线对/毫米。2.26自动调焦范围
automaticfocusingrange
可自动调节像距的最大距离。单位：微米。2.27调焦精度
focusaccuracy
自动调焦或手动调焦时，实际像距与理想像距之偏差。单位：微米。2.28调焦分辨率
focusresolution
在调焦范围内，调焦系统实际调节可分辨的最小位移量。单位：微米。2.29焦深
depth of focus
按镜头规定的分辨率，在光轴方向上可清晰成像的范围。单位：微米。2.30闪光频率
flash frequency
单位时间内，能达到制版要求的闪光次数。单位：次/秒。2.31光量
exposure
记录介质感受到光辐射总能量的一一种变量。它与光的强弱和骤光时间有关，习惯上，将两者的乘积称为曝光量。单位：尔格/平方厘米。2.32光均匀性
uniformityofillumination
指一次腺光各点所接受曝光量的一致程度。用式（1）表示。+最大值最小值·．…
均匀性三士
最大值十最小值
2.33光-致性
uniformity of exposure
在制版有效面积内，多次爆光所接受曝光量的一致程度。2.34曙光方式
scheme of exposure
在制版过程中，对感光版曝光顺序所采用的方式。按工作台运行状态分为步进式曝光和行进式曝光，按工作台运动轨迹可分为S形轨迹曝光和E形轨迹曝光及选择曝光。5-
2.35复印分辨率
print resolution
SJ/Z2927—88
在制版有效面积内，单位长度可复印的线对数口，或单位面积可复印像元数目。单位：线对/毫米，
2.36异图分布
different pattern distribution精缩照相机在制作主掩模时，将两个或两个以上中间掩模中的图形以同一阵列或不同阵列，曝光在同一块感光版上的功能。3精度名词术语
3.1工作台重复精度
stage precision
工作台多次重复运动的符合程度，即工作台在全行程内的任一点作重复定位时实际位置的分散程度。用技大极限误差土30（或士20）表示。3.2工作台定位精度
stage accuracy
工作台定位时，实际位置与理想位置的符合程度，即工作台在全行程内定位的准确度。以工作台的实际位置与理想位置之差来评定。重复精度与定位精度的关系见图3。通复精度
奖际位置
理想位量
实际平均位置
3.3对准精度
alignmentaccuracy
定位猜度
图3重复精度与定位精度
在精缩照相机中，中间掩模实际对准位置与理想对准位置之偏差。单位：微米。3.4同机套准精度
machine registration accuracy由同-台图形发生器所制作的同一种集成电路的各层中间拖模之间，或由同一台精缩照相机所制作的同种集成电路各层主掩模之问，互相套准，各层相应图形的实际位置之间的偏差，御为同机套准精度。以线性值表示，单位：微米。3.5异机套准精度
machineto machineregistrationaccuracy6
SJ/Z2927-88
由两台或两台以上的图形发生器所制作的同一种集成电路的各层中间掩模之间，或由两台或两台以上的精缩照相机所制作的同种集成电路的各层主拖模之间互相套准，各层相应图形的实际位置之间的偏差，即为异机套准精度。以线性值表示，单位：微米。设备结构名词术语
4.1精密工作台
precise stage
放置感光版，能实现移动，并能进行精确定位的部件，称为精密工作台。又称X一Y工作台或工件台。它由导轨系统、测长系统、伺服驱动系统组成。4,2导轨系统
guidance system
在六维自由度空间中，保证运动件按规定座标方向运动的系统，称为导轨系统。它由承载和导向机构组成。
4.3测长系统
length-measurementsystem
测量精密工作台实际位移，将位移量转换成电信号并反馈到伺服控制系统，以保证厂作台实现精确定位的系统，称为测长系统。4.4伺服驱动系统
serve driving system
根据定位信息，由伺服控制系统对运动件实施起、停、定位，以使运动件作相应运动的系统，称为伺服驱动系统。它由伺服控制系统、电机及传动机构组成。4.5版架
reticule holder
精缩照相机成像系统中固定中间掩模的矩形金属框架。4.6暗盒
cassette
装卸于工作台面、用于放置感光版，并能确保其正确位置、具有遮光功能的专用夹具。4.7可变孔径
variable aperture
在图形发生器上，用于产生可变矩形图形的机构，简称孔径。又称可变光栏或可变狭缝。通常由两组可开合的刀口组成。4.8固定图形台
fixative atage
在图形发生器中，物面上放置具有单个或多个图形的掩模的工作台。4.9″校准台
calibration table
用于校准中间掩模或固定图形与版架相互位置的装置。4.10原图架
artwork mount
SJ/Z2927-88
在初缩照相机中，用于固定原图的框架。4.11复印室
copyingroom
在掩模复印机中，放置主掩模和感光版的机构。4,12成像系统
imagingsystem
在制版设备中，为产生清晰图象的系统，称为成像系统。又称照相系统。它由光源、聚光透镜、镜头及调焦机构等组成。SJ/Z2927-88
附录A
集成电路制版工艺及所用设备概况（参考件）
集成电路制版工艺及设备概况如图A1所示。版医设开
掩模检查修整
版架·
曝光方式·
曙光均勾性，
曙光量.
爆光-·致性·
CAD胶设计反数据编摄
自动刻图
直接分步噪光
语索引
图形发生（光学）
图形发生（激光
电子東爆光
+··2.31Www.bzxZ.net
测长系统·
成像系统
初缩照相机·
单元图形面积·
导轨系统·
对准精度
复印分辨率…
复印室·
铬版·
工作台程序分辨率
工作台重复精度
工作台垂直度
工作台定位精度
工作台计数分辨率·
工作台加速度
工作台位置分辨率
工作台行程·
工作台最高速度
工作掩模·
固定图形台，
精密工作台·
精缩照相机
镜头分辨率
镜头实拍分辨率
可变孔径
刻图有效面积
刻线间距误差·
刻圆直径误差
孔径程序分辨率…
孔径刀口垂直度
孔径刀口平行度·…
SJ/Z 2927-88
..·2.12
.··2.6
孔径分辨率·
孔径与工作台运动直线平行性：孔径运动范围·
孔径转动程序分辨率
孔径转动对中性……
孔径转动范围·
孔径转动回零重复性
乳胶版
闪光频率，
伺服驱动系统
调焦分辨率…
调焦精度
同机套准精度·
图形发生器
校准台…
异机套准精度
异图分布.…
掩模复印机
原图·
原图架
运动直线性·
制版设备
制版有效面积
自动调焦范围·
中间掩模
主掩模
座标刻图机
alignmentaccuracy
SJ/Z2927-88
英文索引
.··2.23
.·2.19
.··3.5
..2.36
.·3.3
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