【电子行业标准(SJ)】 立式涡轮分子泵通用技术条件

中华人民共和国国家标准
立式涡轮分子泵通用技术条件
General specification of vertical furbomolecular pumpsGB11491-89
降为SJ/T1108596
1主题内容与适用范围
本标准规定了立式涡轮分子泵的技术要求、测试方法、检验规则和包装、贮运要求。本标准适用于有前级泵的立式涡轮分子泵（以下简称泵）。2引用标准
GB3163真空技术名词术语
GB6070.4活套真空法兰
GB4982夹紧型真空快卸法兰
GB6071.16071.3超高真空法兰
GB7774
GB7773
涡轮分子泵性能测试方法
变容真空泵振动测量方法
GB7772变容真空泵噪声测量方法GB6587.1~6587.6电子测量仪器环境试验GB191包装、储运图示标志
JB8产品标牌
SJ3192立式涡轮分子泵型式与基本参数SJ1658~1660铜丝密封超高真空法兰GB5080.7设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案3术语
3.1体积流率（抽速）
泵在正常工作条件下，单位时间内被抽气体通过测试罩流经分子泵进气口的体积，即气体流量与测试罩规定平面上测得的平衡压力之商。3.2极限压力
泵在规定的工作条件下，不向测试罩引入气体，泵壳和测试罩经烘烤后，48h内在测试罩规定平面上测得的平衡压力。
3.3压缩比
通过泵进气口的气流量为零，被抽气体在前级区的分压力至少占全压力的90%以上，泵的前级压力与进气口压力之比为分子泵对该气体的压缩比3.4起动时间
从接通电源起到泵转速达到额定转速的90%所需的时间。中华人民共和国机械电子工业部1989-03-21批准TYYKAONYKAca
1990-03-01实施
4技术要求
GB11491--89
一般要求
泵应按经规定程序批准的图样及技术文件制造，并应符合本标准要求。4.1.1
泵在下列环境条件下应能正常工作：4.1.2
环境温度：0～40℃；
空气相对湿度：<85%；
冷却水进水温度：≤25℃。
泵应避免抽除带粉尘、腐蚀性或爆炸性气体。泵在正常运转时不许直接引入大气，不许有强烈径4.1.3
向振动和电火花干扰。
4.1.4为了除气目的，对泵壳、测试罩和真空测量规管可进行烘烤，其烘烤温度不得超过以下规定：a.
泵壳上法兰：120℃；
测试罩或真空容器：350℃；
真空测量规管：400℃。
推荐前级泵应符合下列要求：
分子泵体积流率
前级泵体积流率
前级压力，Pa
4.1.6为防止异物落入泵内，泵的进气口应设置耐腐蚀金属过滤网，并加以固定。4.1.7泵应在明显位置设置主机运转方向的指示标牌。4.1.8泵应采用专用油、脂润滑，其饱和蒸汽压在常温下不得高于3×10-‘Pa。3500
4.2主要性能参数
泵的主要性能参数，极限压力、压缩比、体积流率、起动时间、振动、噪声的要求应符合SJ3192的相应规定。
4.3连接尺寸及密封面质量
4.3.1泵的进气口连接法兰及密封圈应符合GB6071.1~6071.3和SJ1658~1660规定。4.3.2泵的出气口连接法兰及密封圈应符合GB4982和GB6070.4规定4.4安全保持装置的可靠性要求
4.4.1冷却水流量应符合设计要求，且具有保护装置。4.4.2泵的电动机和烘烤装置对泵壳应有可靠的绝缘措施，其绝缘电阻不小于2MQ。4.5转速
泵的转速应在产品标准中标出或说明。4.6电源参数
4.6.1电源输出电流不应大于设计图样规定值，且有保护措施。4.6.2电源输出的三相线电压应对称，其不对称性不得超过士0.5V。4.6.3电源的环境试验要求应符合GB6587.1~6587.6的规定，4.7平均无故障工作时间（MTBF）主机和电源在正常工作条件下的平均无故障工作时间（MTBF）应达到以下要求：主机MTBF≥8000h；
电源MTBF≥2000h。
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4.8运转试验
GB11491-89
主机与电源配套试车后，应进行连续500h运转试验。4.9产品成套性
泵出厂时，应包括主机、电源、备附件和随机技术文件，并满足有关协议规定的其它要求。备附件和随机技术文件的品种、规格和数量应在产品标准及说明书中明确规定或说明。5测试方法
5.1一般要求质量检查
按常规方法检查4.1条规定的各项要求。5.2极限压力测试
极限压力的测试应符合GB7774规定。5.3压缩比测试
5.3.1压缩比的测试装置，除符合GB7774规定外，还应设置质量数为1～100的具有足够分辨率的质谱分压计。
5.3.2压缩比测试所用气体为氮气（N，)和氢气（H），其纯度应在99.9%以上。5.3.3压缩比的测试方法应符合GB7774规定。测试氮气的压缩比时，还应采用质谱分压计进行监测。
5.4体积流率测试
体积流率的测试应符合GB7774规定。5.5起动时间测试
起动时间的测试应符合GB7774规定。5.6振动测试
5.6.1泵应牢固地固定在刚性测试架上，测试架的重量应大于被测泵重量的四倍。5.6.2泵的出气口与前级泵之间应采用金属波纹管或真空橡胶软管连接。5.6.3泵正常运转1h后，按GB7773规定方法测量泵的振动，测量位置为图示A、B、C、D、E、F各点。
5.7噪声测试
5.7.1泵的安装应符合5.6.1和5.6.2条要求。购试
分子套
5.7.2泵正常运转1h后，前级泵停止运转，立即按GB7772规定方法测量泵的噪声。5.8连接尺寸及密封面质量检查
按常规方法检查4.3条规定的各项要求。5.9安全保持装置的可靠性检查
按常规方法检查4.4条规定的各项要求。5.10转速测试
5.10.1泵的安装应符合5.6.1和5.6.2条要求。5.10.2泵正常运转1h后，测试泵的转速。测量转速时，用测振仪在泵的上下法兰沿径向圆周上各测二点振幅峰值，并以最大峰值的频率表示泵的转速值。5.11电源参数测试
5.11.1电源与主机配套试车时，用常规仪器检查输出三相线电压是否符合4.6.2条要求。5.11.2电源与主机配套试车时，用常规仪器检查电源各参数是否符合设计图样要求。3
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GB11491-89
5.11.3电源的环境试验按GB6587.16587.6规定的第1组类型进行试验。5.12平均无故障工作时间（MTBF）测试主机和电源的平均无故障工作时间（MTBF）按GB5080.7规定的“定时截尾试验”方法进行测试。具体方案在产品标准中规定或说明。5.13运转试验
按4.8条规定的要求，连续进行运转试验。5.14产品成套性检查
按照泵的使用说明书、有关协议书检查产品成套性。6检验规则
6.1泵（包括主机和电源）必须经制造厂检验部门检验合格，并具有质量合格证方能出厂。6.2泵的检验分交收检验和定型检验6.2.1交收检验必须逐台进行，交收检验的项目包括：a.
一般要求；
连接尺寸及密封面质量；
安全保护装置的可靠性；
极限压力；
振动；
转速；
电源参数：
产品成套性。
凡新试制的产品或在产品结构、制造工艺、使用材料等方面有重大改变时，应进行定型检验。定型检验的项目包括：
交收检验的所有项目；
压缩比，
体积流率；
起动时间；
噪声；
电源环境试验；
运转试验。
6.3用户在遵守保管和使用规则条件下，从到货（到站、到港）之日起，年内因产品制造质量不良而发生故障不能正常工作时，制造单位应负责为用户包修或包换。7标志、包装及贮运
7.1每台泵应在明显位置装有产品标牌，标牌的型式及尺寸应符合JB8规定。产品标牌至少应标明以下内容：
产品型号及名称：
制造厂厂名；
产品编号及制造日期。
7.2泵包装前应排除主机冷却水管内的积水和油杯内的润滑油，并将泵的进气口和出气口用盖板封严。
7.3主机和电源包装时，先用塑料薄膜罩封，再用发泡塑料封装后装入包装箱内；或用塑料薄膜罩封后直接装入包装箱内用软质材料填充，并加以固定封牢。电源用塑料薄膜罩封时应放入干燥剂（如硅胶）。4
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GB1149189
4包装箱外应有贮运指示标志，其标志应符合GB191规定。7.4bZxz.net
5包装箱应适合铁路、公路、内河航运和航空运输。在运输和存放过程中不许有剧烈振动和倒置。如7.5
对包装箱有特殊要求，按有关规定办理。6主机和电源应存放在通风条件良好的室内。泵的贮存期一般不超过六个月，如超过六个月，应定期7.6
开箱检查。
7.7每台泵出厂时应附有下列文件：产品使用说明书；
产品合格证；
装箱单。
附加说明：
本标准由国营南光机器厂负责起草。YKAoNrKAas
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