【国家标准(GB)】 激光小功率计性能检测方法

UDC 621. 317. 78. 08
中华人民共和国国家标准
GB11153—89
激光小功率计性能检测方法
Paraiticters tesling uncthod of lascr power uetcr ii low rangc1989-03-31发布
国家技术监督局发布
1490-61空施
中华人民共和国国家标准
激光小功率计性能捡测方法
Parauelers testlng method of Lasar pwer miler In low Iange1主新内容与适用范围
本标确规定了功率范国为D.1~-1CmW的激光功率生能检测方法，GB11153—89
本标带适用于按显GD6360对为率范围为0.1～100mW的激光功本计药性能检测对于在此功率范围中测量激光辆时动率的探测亦应参照使用，2引用标准
CBE36D激光功率能量测底仪器规范3术语
31（微光探视器的）箱出盘aulput(oflaiserdeteor）探测器固接收敏光插射而精山的末经妇理显示过的单值钧理。等号：Y，如果在没有链收激光辐射时口存在者探测器输出氧Yw，而接收激开帮射时的总愉出盘为Y则由于境收微光播射所产生的结出量为=—Yw
3.2应惠responalylty
探测器的摘出盘与产生这一输出年的辑入期之断.符号：品。8 =: F/X-
式：S——探避器的响应度：
操测器的输出量：
一—导致产生输出量Y的编适。
3.3狗应宽随入时功率的变化（非践性）dependenoeof responsiviryonradiantpower（nonlinearity）在激光功卒计的测量范围内·响应宽因得诞避光功率变化而产牛的最人相对变化，称为响应随人射功案的变化(非线性度)符号，1。3-探测器光面上购应奥的变化（均的生）caareofrespensivityove:生ecetteoriur\ace(neainitsrmiy
探剪器光敏而上各点响应度的最大担对变化，称为在探测器光面上响皮良的查化（不片句）。符号：F.
3.5吨度在辐照期闯的受化changoresponsjvlydringirradiation激光功率计在激光辆照期间所产牛的且可以恢复的刺应度变化，称为响应度生福照期同的变化，符号：F.
3.6响应度随温度的变化temperazreependancenftevporwiviny避光功率计在规定的环境温度内的应度的带大可逆相对变化，称为应魔随虚度的变化.符号，，。中华人民共和国机械电子工业部1989-03-03批准199004-01卖施
3了等点源移zero drifr
GB 11153B9
激光功率计在不接收光辐射时，各量程挡位的示相对十该其程效火示道的前大相对变化，除为零点漂移，符号：P
3.响应度随时间的变化changeof tesponsivilywinatine手8.：由邀光影号起的响疫速随时间的查化激光功率计由于长期的激光感射而产生的不可恢复伪响应度相对变化，称为由光照驻引的的应度陋叶间的变亿.符号，P1，
3.8.2由存引起的应度随时何的变化亲光种率计片于存清条件元产生的不可疾复的狗应度相对变化，称为由存储引起的响成虚随时间的化.符号，
3.9应延随入射弟及编振态的变化dependenctofresponsivityontheangleofincidenve Bzidpolarizaltuan
对不同偏娠状态的做究光束，当射入敏光功率探测器的入射角偏离规定角质时+所引退的有应的股上可逆相对弃化，称为响些度陷人时角及偏娠态的变化符专；。3.10呼应度的校准不牌定度cuibralinuncerteiaryofresponsiviy激光功变引均应度的标称值与其实际宜的相对误整，称为应度的管准不确定度，符号：F。4基本检测条件
4.1登测T作应在临效为20.5，相对湿度不大于%，气流实速臣不大于0.%m/的1级随净间中进行。
4.2检测系统应其备良好的屏凝、稳还和减源潜施、以防止杂散光辐射，电燃损射，电网电压波动以及机械娠动等因索的十抗，
4.3待验测激光功率计应预先放量在控测环境中，使得待拒测仪转的限度与环境温险达到平确，检递前述要经历10m.s的通电预热，
4.4除非另有说明符检测蔽光功本计的各项性能均应在其非线也度展小的程上进行，4.5在控测去程中，待检测数光功率计的示值取户其显示器的读数，待检激光功率让操测器的输量取自其模拟输出，在发有模拟新出信号可供检测的快记下，收自其易示器的法数4.8果等投利激光功车的使用说明书市对仪餐处用条件作广东些限制，则应在其允许范困内进行则。
5基本将测装置
5.1基本测登年图1所示。wwW.bzxz.Net
5.2在图1中激光器证满足；
摘出TFMoo换内高斯光宽，
辅出激光的波长应待格测激为功率计的视定便用法长，戴在其规定使用的设长范用之中：b.
封品源光应为线临探光：
输出激米转率的不隐定注不大于士3.5%/5m.l.土1.5%/m，d.
5.5在中热消消米应优于10-5
5.4在图1出，偏系分来器的消光比应比于10-55.5在图1毕，参者探测器应满足：在其工作范围中，非线性鹿不大于+0.1在其工作过程，响应度的变化不大于士0.1%；b.
其响应时间带激应与待趋测避光功率计的响应时间常效一政，2
GB 11153—39
5.6在检测中，涉及到特检测激光功率计探测器的输编出量耐，以待检测仅器的换拟辅出冠为准，对于部些没有模收悄出接口的收器以该仪解示值为难。5.迅来耐量记承参考探测器的出压和持检测激光功率计棋拟输出盈的仪留收表拍度不低于0.03级。
半泌片
就光器
6过懒试验
液源分炎器
图1基本德
6：、做新产品定型临定的激光功率计，生性能检测萄先要进行过教试验B.2试验求照：
按第5幸的规定建文检测装置：
询整检确舒和半波片便待抱测嵌光功率计的示值为其最大示偿：b.
记录此时愁考探测器的箍出，
待拉热效光功率计
的探酸器
断于待检烈激光动率计的电源、断开持格洲激光功本计的探测与显示器之问的联线：d.
谢整半波片增大敏光功率，直到表潜探测器的输出量增大一倍；e.
10in后，关闭光同人和光R,过载试验结克，6.3仪暴经过暂试验信，各项技术据标仍虑满足其技术要求，7响应度随人射功率变化（非性度)的检刷7.1检测步骤
技菊5章的舰定建立检测装督！
b.设留并记录存检测激光功率计关量理：谢整控偏登和半波片，便待检测单外功本计的示为逐鼠程量与示消的头，热后，同时比录待枕测激光功率计的示值和参考探测器的输出量，并计算其比值5m：Eth/Y!
或中：-
一待检测激光功率计的示值为该量异股高示伯的90以时，待测激光别的示值和垒考轻器的出之比
「-待检两童光功率计的示值，
一教考探测器的掩出量，
d.固定检偏替，调整半波片，使待检利激光功率的示值为该量程孕商示值的30%，然，同时记景待检剪激光功率计药示值和参考探测器的的出量，并计再其比值5L3
GB11153—89
SL= I/:
式中待检测激光功率计的示值为该量程最高示值的3C%时，特检测激光功率计的示背和案考深避器的输出最之比！
一待检测激光决率计的示值
--参考探测张的输出量。
电：比量程喘应度随人射动率的变化(非线性度)为f, =±
该风程应度随人东功率的变化(非线性度）：X100%+-
待检谢邀光动率计的示值为该量程最高示值的光时：待趋通激光均率计的示值杜参考s
探器的出量之比
一待检测游光功率的示值为该程量高示值的3兴时，待检满激考动率计的示值和替考操测器的练出盘之比，
t，复第7.1>条的规定，递一测各个量程响应虑随入射功率的变化（非线性度），7.2以各盘理响成度随人射功率的变化（非线性度)的量大值为待检测光功率计的响臣度随人射功率变化（非线性度）。
8探测器光教面上响应度变化（不均匀性的检性8.1抢测装
基本检装划本标准策5章所述
b，持检测激光功率计的探谢养发装在光学调整架上，使它可以在一个基本垂直于人射光专提方向的半面上平移，
。必要时，可在光闸A的前面或后而教量光学遇镜，用来调翌操解敏惠山上入射光惠的享径。8.2检测案件
4，在待检测探测器光敏面上，激光光束的直径择值的1/e点直径)应为探测器人辅孔径（或对线>的110,但最心不小F1mm，
b。稳测点为待检测探叫器光敏面上的中心点,和由方心点出发向上、下,左,右,左三,左下,右二右下等八个次向所做的射线上间我点，为检测用激光束直径的点：任何个检别点与光敏而达滚的最小距离均不得小于光束直径.8.3检测步骤
，按第3.[录的现足搭好光路，并按第8.2苯的观定调整好充束直径b。词整待控划探测器的位贸使敏光完东投射在光敏面中心点上问时记录待检测操燃器的输出最和参考探测器输出，计算共比值“8=ro/y
式中：：一许方心点上待检通邀光功率计深测器的谢白利参考探利器的输出点之比Y一—待检别激光功率计授测器的输出量：Y一参考探测器的骗出量，
e。谣整待检测探测器的位整.快激光光惠投射在第（个检测点上司时记录待控谢操测器的出4
其和参考探谢群的辆出量，计其其比值G1115389
式中，的—在第：点上，待检测激光功率计操测器的辅出量和考探测器的摘台量之比Y·待检谢激光功率计探测器的愉出盘，—参考探测器的轴出至
—除中心点外，各检偿点的总数。d，在第点上，响应度的变化(不均与性)为：fs
=1)×10u%
式中：2一车第点上响应度的变化（不均勾性)Su-
在第（点上，待检副激洗功窄计探测器的输出量和梦考操谢器的输出量之比，一企中心点上，持检测谢光决率计探测器的辅出量和您考探测器的描出量之比，e。逐一在所有的险测点上益复第B.3c~d条所规定的检测步燥。【6】
8.4以各检测点上响应座的变化(不均勾性)的绝对值最大者为待检测邀光对率计的探测器光敏面上响应度的变化不均匀性).
9响应度在辐照期间变化的检测
9.检测步薪，
&，按第5章的规定搭建检测装置：b.调整检佛器和半被片，使待检测避光功率计的示值为该仪器最大示值的别%，同时记录待检测激光功享计探测器的输出量和参考探测器的输出尽之后，关闭光用日，切断射向签专探德器的激光光束，只让激光照射被检测激光功率计，计算始比值非：S=Y/Y
或中：-
一待检测激光功率计探测器的输出取与考璨测器的输出耳的初始比道Y—待投测激光功章计深测器的输出量…考探测器拍输出量，
小后开启光闯B，问时记录待检测激光功率计搭测器的输出母和枣考探测舒的出量，计算比值：
式中：%——后，待测谢光动率计探测器的输出景和变按测臀输当量的比值：F—待检测激光功率计探测器的输出量参考深洲器范输出量
9.2待检谢激光功率计的响应度在辑照期闻的变化F，为：F
GB 11153—89
式中一一特抢河避光功率响度度在痛明期间的变化：8%一—待检测激光功率计探测器的辅出量与整考援测据的赖出量的初明比值，su一一1h后，特拉测激光功实计保测器辅出景和参专深测输出最的比值，10响应难随逼座变化的检测
10.1检测获量
抢测冬装管如第章所述。在这项检谢中，得检测通光率：的探测器和指求就都要放宣在担试验箱中，温度试验箱的容积对特测仪器体积之比不小了5:1，激光光策从盟实试验缩扩断息入。10.2检测步螺
8按第10.1案的规定定立验测装置；b将温度实验箱的温度整为40：39m证店同时记录待检测激光功率的示值相参考惠器的输出量，并求其比值日
一40时，提检资流功让速测器的验出量与委步探测爵的输出量的！比征【一一待检测激光功率扩的示值，一专探测器的出盘。
c，将温度实验翁的祖使整为0，30m的后网时记录特检测激光功率i的示估和垒考探测器的输出最，并求其比值“：
s =/Y:
式中，证一一C时，持检划激光功率计操激器射输出量与教考深测器的翁出原的比值1——持检测邀光功率计的示俊；F，—参考探测留的摘出量，
d、待检测光动率计的利应变随温的变化F，为：P=士
待检测激光动率计的响应度随温度的变化，式
*%一一4)℃时，特检测融光功率计率测器的输出量与参考报测静的出量的比沟！-0它时，待检谢激光功本计测器的输出尽与参考深测器的输出量的比选，S4L
1零点减控
11.检游方法
将温度实验箱的温实调整在2：，将待梦测微资功率计探测器人射必的逆光罩益好，并置于轻小冠挡实，放过在限电实检箱中，b3Umin后，对狂险测激光功率计温电顾热：c.1mi方，调整共记录其零点示值：d，在mn的期间里.将温度谨步调节到5，并准此温准上保持30在此！1中记录待检测激光功率计的示值可能出所药相对于零点示值的格+偏离山。11.2待持阅激动率计的零点效F：步！6
GB11153—89
式中：，持荐检测激光功率的举点飘移，X1%
11——待按测激光功率计的示值相对于零点示的最大偏离：.待报测方功率计母小量程当的最大示值·12响应度随时间变化的检测
12.1由邀光照射引起的响应度随时间变化的检测12.1.1检测方法：
.按第带的规定措建控测装查
b，调整检偏益租半波片，央得待检测渐光动率计的示值为其最高示值的80为后同射记末待检测邀光功率计摄利器的输出是和参专探测器的缩出风，并计算其比值nY/Y
式中：新11·待控测谢光动率计探划能的输出量与琴专探测器的输出的包出值：Y——待检邀光方率计探测器的出型！Y一蒙考探测轻的循出量，
.关问光闸，证斯射向签考探测器的激光光束，只激流照射待检测激光功审计：15)
d，：当漆光照射的累秘时问到达10h后，关闭光阐A，关闭激光望，益上待检测渐光功率运的逆光率，将仪器试验室中存放48
，然后，异面激光器，打开光间A光闸B，回时记录待递光功意计探试箱的辅出量和象考探测器的单出勘，升计算其比值sr-t561+=Y/Y
光照射的累积时间到达100h后，待格测避光功新计援测器询出盘和整劳探测密辅山量的比宜
——待校测激光功事计深洲器的拍出录一寒考探测举的输出量
12.下.2待检测敏光功率许日激光照射引起的响应度随时间变化F/ =(+ - 1) × 1c0%
中，：一待控测光玖率计率光照射引起的响应盘随时间变化；S:-
一特格测光防率计探测器的出量与参考深过器推出尿的打始比境-f17)
8一-微光解的的系积所间到达1002后，待登测激拍功率计提活器给出量考探解维出是的比。
12.2由存引起的响应度随时间变化的检测12.2.1然方法
真，拉第5率的规定搭线险则装留！b：调整龄懈路新波片·使待检激光功索计的示做为其校准示值，司时定录待检测激光功率计的示值和参考探测器的输出量，并计算其比值3-：7
GB1153--89
式中：50——待检测微光功率计探测器的输出量与参考探测器的输量的的始比值，——待检测谢光功本计的示值
Yt-一参考探测器的输止量。
，将待检测整光功计置下温度为50土2℃，相对湿度为90%的环境试验拍存储24h后职出，在实验有中效资2h，使其温图，湿度与周股环流长街回到图1所示的光路七，再次同时记录待检测做光功载让的示偿和参考探测器的拍出量，并计d.
算其比值，！
一存储后，待检谢激光功审计探谢器的输出量与参专探测器的输出量的初始比值，式中：s--
【一一待检遗激光功率计的示值】Y一一垫考探副器的辆出斑，
12.2.2持检测渐光功率计由在储引起的响应度确时间变化F;-为：F±/ - ( - 1) × 100 %
式中：F—特趋测激光功率证也存站引起的响应度随时问变化：5一待检谦效光功率计探测解的输出其与参考探测器的摘出的初始比佳！82一一存储后，待检测激光功计躲测器的输出与参考探测器的验出尽的帮始比恒。13响应度随,人射角及偏据态变化的检测13. 1检测装宣
在第5章所述的检测装量中，待检测邀光功率计的探测器装在一个装转平台上：并可在其带动下右响转在偏转过程中，须保证入射激光光束始资投射在操测器光敏面的中心，13.2检测紊件
避光入射均在仪器调整到不确定应所允许的能国内，在规定入射方向的左，右以上增最递增，丑不超这5°
133检步
日，按13.1系的规定搭建检测装逐，并使入射到特检测激光功率计操测整上的光为5光b、使激光人射角为第13.2条所规定的第；个入射组奥，同时记录待检滤激光劝率升探测器的临出盘板参考探测器的翁出过并计算其比值&：--Y./Y.C-J.2....
中，5，一对二S光，第！个单上，待抢制深测器的输出鼠和泰考深测器的格出量之比Y：·一在第：个角工，等粒趣光功率让探测器的赖出量！Y一在第个用上，多考探测器的摘出量k一—-激光入射角的总款。
，逐一在所有的考案角度上至享第13.36采所想定的格：d，在S光入时，得检退像光功计的响应度断人射免的变化了，方：3
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式中：，一一5光人射时，待检洲激光改率计的喇应区随入射角的窖长[
一S光人射时，不同负下创得的待检酬激功求计推测器的输出量和参考速谢器插出量4
之比慎中，最大低与最小值之差S光人时，不回角度下划得的待验测激光功率计探测幕的输出盘和梦考探测转输出量之比值的出均值
C对换参考操遗器与特检测激光功率计深测器（色括疑转举台）的位宜·使人鞋到待检测激光功率计测器约激光为P光
1.使激光入射负为第13，2承所规定的第1个入射角虐，同时证录待检圆验光功率让探测器的辅出量和参考探测的输出量，并计算其比值：n -Y/Y.( = I,2,-....,n)
式中：5，对于P光，在第（个角上，待检测探测器的输出量和塞考操测翌的输出量比，-在第个上待检衡激光功率并探测器的输出量Y。—在第，个角上整专测器的输出量！—微入射角的总数，
理一在所有的考案角度上重复第13.3（条所规定的检则：丧P光人射时，待检测谢判动审计的响应密随入射角的变化开为，h.
式中册……卫光入射时待控测激光功变计的响应度随入射角的变化4
一P光入射时，不间角度下测得的待检测邀光功率计探测器的趋出量和愁考探测器摘出量之比值中，最大值与最小值之登P光入射时，不同角变下测得的待检测邀光功率计探测器的输出量和考探测器输出盘之比值的平均值，
13.4待性测激光功率计响应度随人射角及偏振态的变化为于与行中之量大值。14响应度的校准不确定度的检测，按照JJG249徽光小功率计拉定规程（试行)\内规定，在待格测激光功室计的定彼长上，用光动率标准检避其响应出5：
b待检测激光功率计间应度的校准不码定度F,为：F
武中,F,待检谢激光功实计均应密药校难小确定度，特换测激光功率计响成度比实胚道，S
S。—特格测激光功率计响应度的标称值。.$25
A1检测系统
图1所采的检测装
GB1115389
阿录A
划断检测系统是否确定的方法
（考件）
益测工作所使币的检测收表。
A2检验方法
在图1市，用一与参考操器项七能完全致的探测器联代得检测激光功率计的探测器，谢整检确器，使分事化约为10：11调整半波片，使两个探测器部工作在非浅性度不人十士「为的在压之中：同时记两探测装的痛出最，并计算其比消&，aYir
式中：8-一-票一个探测器的输出量与第个探测的辅出量之比一—第一个探测的输出：
第二个探测器的筋出量。
反享进行A2d策所规定的操作，观测系统的程定性。A3检测系统稳定性的判据
再复A2章规定的测试20次，所得各比值与其平均值的相对偏差均不超出上D.1%，(A)
GB11153—89
举事探测器工作范用的非战性度检测（参考件）
日1做非线比度构测的板测器，是两个响应时间带数一致的探测器。B2检测装置图！。
吃测量记录持检创探测摘出丘的仪器仪表，精座不低平口1，R4检测方法
调整检实器，便通光间A的率光壶与通过光闸B的激光功变文约为：以探测器当作零考探测器，以探测举b取代待检测激光功牢计的操测器，按照第了.1c～条h.
的规定梭测探测器b的非线性皮：t燃后，再以探测举当作多考探测器，以保测举班代待检测商光功率计的操测器，按照第7.1e~e条的规定检测探测器a的非线性度。B5判据
就果在上选枪期宁，两个换测器的非线性良与小于士，！外，则可个操退在拉过的工作（拍户范围中的非载性度均满足要求。否则，调整半波片改变谢为必率，重复B1章规定的检测，寻浅涡足要求的探过器工作（输出》范围。
附加说明：
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