【国家标准(GB)】 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

UDC669.782-172-415
621.317.33(083.5)
中华人民共和国国家标准
GB/T 13389—92
掺硼掺磷硅单晶电阻率
与掺杂剂浓度换算规程
Practice for conversion between resistivityand dopant density for boron-dopedand phosphorus-doped silicon1992-02-19发布
1992-10-01实施
国家技术监督局发布
中华人民共和国国家标准
掺硼掺磷硅单晶电阻率
与掺杂剂浓度换算规程
Practice for conversion between resistivityand dopant density for boron-dopedand phosphorus-doped silicon主题内容与适用范围
GB/T13389--92
本标准规定了23℃C时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。本标准适用于掺杂剂浓度1013~1021cm-3电阻率0.0001~100000·cm）掺硼硅单晶和1012~5X102%cm-3（电阻率0.0002~4，0000cm）掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算，也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。2引用标准
GB6615硅片电阻率的直排四探针测试方法3方法提要
用公式、表格或曲线图形进行电阻率和掺杂剂浓度之间的换算。4换算步骤
4.1按照图解法、表格法或计算法把电阻率值换算成掺杂剂浓度值。4.1.1图解法
4.1.1.1掺硼硅单品使用图1中标有“硼”的曲线。4.1.1.2掺磷硅单晶使用图1中标有“磷”的曲线。4.1.2表格法
4.1.2.1掺硼硅单晶使用表1。
4.1.2.2掺磷硅单晶使用表2。
4.1.3计算法
4.1.3.1掺硼硅单晶按式（1)由电阻率值计算掺杂剂浓度值：N-1.330X10*6
1.082×1017
p1+(54.56p)1-105）
式中：p—电阻率，a·cm,
N—掺杂剂浓度,cm-。
4.1.3.2掺磷硅单晶按式(2)、式(3)由电阻率值计算掺杂剂浓度值：N=6.242X1018
国家技术监督局1992-02-19批准X102
（1）
（2）
1992-10-01实施
式中：r=logiop;
Ao--3.1083;
A,=-3.2626;
Az=-1.2196,
A—0.13923
B,=1.0265;
B,=0.38755#
Bs=0.041 833.
GB/T13389—92
A+A+A+A
1+Ba+Br+B
4.2按照图解法、表格法或计算法把掺杂剂浓度值换算成电阻率值。4.2.1图解法
4.2、1.1掺硼硅单晶使用图1中标有“硼”的曲线。4.2.1.2掺磷硅单晶使用图1中标有“磷”的曲线。4.2.2表格法
4.2.2.1掺硼硅单晶使用表3。
4.2.2.2掺磷硅单晶使用表4。
4.2.3计算法
4.2.3.1掺硼硅单晶按式（4)由掺杂剂浓度值计算电阻率值：1.133×1017
1.305×1016
N1+(2.58X10-19N）-0737）
4.2.3.2掺磷硅单晶按式（5）、式（6）由掺杂剂浓度值计算电阻率值：p
式中：y=(loglN）-16
A'。=-3.0769;
A=2.2108;
A',=—0.622 72;
A',=0.057501;
B',=-0.68157;
B'。=0.198 33
B,=-0.018376。
6.242X1018
A+Ay+Ay+Asy
1+Biy+By+By
（3）
（4）
...（5)
·（6）
GB/T13389—92
实线：
由电阻率换算到掺杂剂浓度
一外推部分
电阻率·o.cm
图1电阻率和掺杂剂浓度之间的换算图10
注：实线为实际数据范围内电阻率一掺杂剂浓度换算曲线，虚线为实际数据外推的换算曲线。103
电阻率
GB/T13389—92
掺硼硅单晶掺杂剂浓度对电阻率的换算表掺杂剂浓度，cm-3
6-65E18
4-20E17
4-87E17
电阻率
1-62E14
GB/T13389—92
续表1
掺杂剂浓度，cm-3
1-4E13
1-72E16
1-7E13
1-93E14
电阻率
(n·cm)
GB/T13389—92
续表1
掺杂剂浓度，cm-3
2-5E11
注：1.0E-04=1.0×10-4,1.2E21=1.2×10（其余类推）。表2
电阻率
(n·cm)
1-61E20
掺磷硅单晶掺杂剂浓度对电阻率的换算表掺杂剂浓度，cm-3
电阻率
(n·cm)
536E18
4-00E15
GB/T13389-92
续表2
掺杂剂浓度，cm-
.14E19
2:12E15
4-52E17
1-01E15
6-91E14
电阻率
GB/T13389--92
续表2
掺杂剂浓度，cm-
S+3E12
电阻率
(Q·cm)
掺杂剂浓度
GB/T13389—92
续表2
掺杂剂浓度，cm+
掺硼硅单晶电阻率对掺杂剂浓度的换算表电阻率，n·cm
掺杂剂浓度
4-26E00
GB/T13389—92
续表3
电阻率，n.cm
7.34E-017.04E-01
5.08E-014.95E-01wwW.bzxz.Net
6.29E-016.08E-01
1-34E01
8.42E-011
2.86E-012.82E-01|2.79E-01
12.60E-01
2.66E-01 2.63E-01
12.31E-01
2.37E-012
2.52E-012.50E-01
2.12E-012.10E-012.08E-012.07E-012.05E-012.13E-01
1.18E-011.15E-01
.50F-011.43E-01
28.43E-02
9.32E-029.12E-02
28.93E-028.76E-028.59E-02
1.32E-011.27E-01
1.37E-011
8.13E-027.99E-02
7.49E-027.38E-027.27F-027.17F-027.07E-026.98E-026.88E-027.73E-02
6.71E-026.63E-02
4-62E-02
6.25E-026.18E-02
6.47E-026.39E-02
5.61E-025.58E-025.53E-02
5.16E-025.12E-02
5.29E-025.25E-02
25.21E-02
4.89E-024.85E-02
4.82E-024.78E-024.75E-02
4.47E-024.44E-02
4.49E-024
4.10E-023.88E-023.69E-023.53F+023.24E-023.12E-02
2.36E-022.30E-02
22.56E-022.49E-022.42E-02
2-25E-02
2.01E-021.97E-02
21.67E-021.64E-02
1.82E-021.79E-02
1.62E-021.59E-02
1.54E-021
掺杂剂浓度
掺杂剂液度
GB/T13389-92
续表3
电阻率，n·cm
1.48E-021.46E-02
1.14E-021.13E-02
1.04E-021.03E-02
9.47E-039.39E-03
7.67E-037.18E-03
1.38E-021.36E-02
1.40E-021
1.22E-021.21E-02
1-10E-02|1.09E-02
1.01E-029.98E-039.89E-03
6.05E-035.75E-035.48E-035.24E-036.39E-03
4.62E-034.45E-03
4.29E-034.14E-03
4.00E-033.87E-033.75E-03
3.16E-033.08E-03
3.33E-033.24E-03
2.73E-032.67E-03
2.50E-032.45E-03
2.36E-032.31E-03
2.23E-032.19E-03
2.15E-032.11E-03
2.08E-032.04E-03
1.77E-031.75E-03
1.57E-031.55E-031.53E-03
1.41E-031.39E-03
81.38E-031.36E-03
1.26E-031
1.24E-031.23E-03
8.49E-047.94E-04
5.49E-045.26E-04
5.05E-044.85E-04
4-1E-04
掺磷硅单晶电阻率对掺杂剂浓度换算表电阻率，0·cm
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。