【电子行业标准(SJ)】 CLS－37型激交调阻机完好要求和检查评定方法

设备完好要求和检查评定方法
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专用设备（续）
中华人民共和国电子行业标准Www.bzxZ.net
CLS一37型激光调阻机宠好要求和检评定方法1主趣内客与道用范制
本标准规定了CI,S一57至谢光医机的完好要求和检查,评定方法，本标准适用TCT.S-型避光调限机。2宪好要亲
2.1 措度
2.1.1调阻精度充差：:+0.05%。2.1.2相对箱度充差：≤±0.5%
2.1.3重复情度九费：s±0.02mm.2.21性能
2.2.1激光描出功率：
2. 2. 2调阻面积
2.2.3聚焦深度范围
76.2×76.2mm.
1.021.35mm。
2.2.4 射频调制题率范用：0~-5ikHz,2.3操作系统
2.3.1齐谢作开关，按钮，启动灵后，定这可常，标志齐全2. 3. 2 步并小盒控制正常,定微准酬。2. 3 3跨示系统调作正常。
2. 4系统
各元器件齐全、点整，元亲化规款，性能良好，上作可能，世气性能良好，运行可需，保护装置齐全，程效2.4.3线踏定整，绝缘具光破表，无满电现象。SJ/T 31248-94
2.4.4电气拒内部清情，线路布空整齐，标志齐全、明昆，件端子紧固无松动现象2.4.5仪表齐全、完整无摄+指示灵敏准确，有有效期内校验合格证。2.5微机控制系统
2.5.1许开按钮、操作键完整无损，动作炎敏、可掌，控制装能各组成部舒保持完整、功做齐全，性带稳定，工外状态良虾，显示清晰。2.5.2显示器能正常显示通电自检的正带信息，微机系统通电自检功能必正含。2.5.3输人，输出整序正确无促。2.5.4打印机、穿孔机与主机接口良好，工作证带。中华人陵共和国电予工业郸1994-04-15批准 758-
1994-06-01实推
SI/T31248-94
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2.5.5装置内部消洁，布线整齐线路无老化、载裂，谷线赔标心齐全、正确。2.5.6所有排需导体件包括外点）必须与保护接地端子构成通路，保证有永久良好的导电性，操护接地翁子与微机控制系统红何课露导体件和整机外壳之的电阻不得大下3.1。2.5.7故障诊断教件下作正常。
2. 6激光系统
2.6.1氧一试激光系统定准确.
2.6.2忆妈石瘤不激光器发削正书：调阻i：确，刻痕访漆消晰，2.7附属装置
2.7.1 去离子水冷却系统颤通,无泄髓。2.节.2自米水冷却案统畅通，洁，无滑测：水压不低5.24MP，出水温度不高于3D℃。2.7.3稳压费齐全，工作正常。
2.8安全防护
2. 日.1 安防装骨齐全,完整,上作可靠2.8-2接地（零）可靠标志明显
2.8.3扩毓清待.完整。
2.9维护保养
2.9.1改备各装置连接可章,整齐。2.9.2去商子水定期更换。
2.9.3其他按S1门31002一94设备继护保养通则34第一章执行。3检查、评变方法
3. 1检查法
31.1标难中激光调阻精退和相对情度检查，用教字式出阻表对5~10片试什测孕比较。3.1.2标准中重基榜度检查：用显氯键对同一试件进行五次再复定化观系探针接触点的变化.
3.1.3标唯中激光输出功率检音，用滋光功机计格前灯用源谢至15~201测品。31.4微机系统检查：用制造厂报供的避试下确认行项工性正案。3.1.5别各系境完好要求所到内宰，均案用主观法检查3.2评定方法
3 2. 1 标准中 2. 1. 1,2. 1. 2,2. 1. 3,2, 2. 1,2. 2. 2,2. 2. 3,2. 2. 4.2. 4. 2,2. 5. 1,2. 8. 1,2. 8. 2为主要项日，其为次要预日
32.3主要项目有一质不符合要求，为不完好设备次恶项日有一项不可台要求，亦为不完好设备。
3.2.3完对设备的维护保养要求.应达到优等设备标准。附加说明，
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