【电子行业标准(SJ)】 铝金属化机完好要求和检查评定方法

设备完好要求和检查评定方法
（下册）
KANKAca
专用设备（续）
中华人居共和国电子行业标雅
铝金化机究好，求和检变评定方法1主题内容与造用范围
木标准规定了期金属化机的完好要求和直、证定方法。1/7 31247-94
本标准适用于对帮绕自径1Umm的只容器，低期料，练绝或其它薄膜上蒸镀智膜的设。
？完好要求
2.1性能
2.1.1蒸发均，无报快，誉瓷整齐，滴品点产工艺要求，2.1.2兼发室限真空度不低于0.1H155sPa：工作真空变不低.1665P。2.1.3举端我链度可谢范为0~-1.66m/s.钙丝快送速度可调范用为4--25mm/s。2.2操作统
2.2.1齐操作手情、开关、按组、凝钮启动录活，定位可靠，标表齐全。2.2.2制动限快装胃齐全，以监可举，2.3伤动系统
2.31卷莞送就构运转收稳无异常动，无冲前。2.3.2变速机构此速弃全。
2.4直空系统
2.4.1真空余还转平格，光异带报动，无冲击，投限真个低1C.G66Pa.2.4.2广数票.冷附内表面清洁·衰工作正带。2.4.3蒸发牵折清、密封良好观痴窗情。2.4.4点学端本接紧固叮靠，扬通，带划良好。2.4.5真空间门并闭灵活，时靠，2.5电气系统
2.5.1电气性售良好，盗行可靠，保护装证齐全：自效，2.5.2线整完整，绝录层无蔽裂+无满山现象、2.5.3计量仪器，表定好.指示准确，有有效期内校峻合格证。2.6其他系统Www.bzxZ.net
2.6.1冷却水管踏畅道，清洁、个漏水。2.6.2冷水压不低于U.15MPe出水度不高于3J。2.7安全阴护
中华.人民共和国电子工业部1994-04-15批道756
1994-06-01实施
2.7.1安企防护装置齐金，可率。2.7.2接地可带标志明号。
2.8维护保养
2.8.下设各零部件齐全整，
S1/T3124794
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2.8.2其他按SJ/T31113--514&设备进护保养通则>中第三章执行，3检查、评定方法
3.1检量方法
31.1完好要求中，真空度用复合式真空计测量。3.1.2完好要求中线瑰度艳查抛成转速后用转速表测年3.1.3对替系统完好要或所列内穿，采用土观法检查。3. 2评定方法
3.2.1宽好感求所列内容1+2.1.1-2.1.3,2.2.2、2.4.1~2.4.5,2.2.1~2.#.2为元要买白，其为达要质目
3.2.2主要项日有一项人符合要求，为不完好备，次要项日有二项不符合要求，亦为不完好没备。
3.2.3完灯放备的维护保养.应达剂优等设备标准附加说明：
本标准由电产工业部经济遂行与体制政革司提出。本标准由国肾宏明无线电器村厂组纸起草。去标准主要起草人：包丁滋。
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