【电子行业标准(SJ)】 ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法

中华人民共和国电子行业标准
ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
本标准规定了ASM型微机扩散炉的完好要求和检查、讲定方祛。SJ/T31132—94
本标准适川于ASM型微机扩散炉。其它型号的微机扩散炉也可参照执行2究好要求
2.1主要技术指标bzxZ.net
2.1.1温度范围：300℃—
1300℃
2. 1.2温度稳定性：士0.5℃(在72h之内)。2.1.3副炉温度范用：300——950℃2.1.4手灿温度范围，9001300℃2.1.5副炉慎温区：长度2200m1m±0.5℃。2.1.6主炉恒温区：长度≥860mm±0.5℃2.1.7整机恒慎温区均性+0.5C。每炉批之间。2.2机械系统
2.2.1移动速率，进出舟为0.21mm/s一41.9mm/s，实用0.64mm/s-41.9mm/s，连续可设定。
2.2-2移动距离1549tL，可任意设定，2.2. 3 拉力 41N,
2.3气路系统
2.3.1气路系统的运动件在规定的各种速度范围内，不应发生振动和显著的冲击，不应有停滞现象。
2.3.2各电磁接触器，磁力启动器，继电器动作灵活，到位，流量计工作正常。2.3.3各流量计指示正确,误差在允许范圈内，且有前效期内校验合格证。2.3.4气路及真空管道、接头、阀门元件之间联接应牢固，密封、无漏气现象，2.3.5各气动阀，手动阀工作正常，开启,关闭录活，到位。2.4电气系统
2.4.1电气控制箱内布线整齐：各指示灯齐全完整，指示正确可靠。线路无破损老化。2.4.2电气系统装置齐全，安全可靠，管线完整，性能良好2.4.3各种开关动作灵敏，自动保护装置及报警装置齐全，安全可靠，工作灵敏可靠。2.4.4控制器按键操作灵活可靠。2.4.5各指示灯齐全，指示正确,CRT显示数据可靠，中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994 06-01实施
SJ/T31132—94
2.4.6自动保护装置和连锁装置齐个，工作正带。2.4.7测温组件指示正确。
2.4.8人电流连接处光发热现象。2.5微机控制系统
2.5.1各关、按钮、操作键完整无损，动作灵敏、可靠，控制装置各组成部分保持完整.功能齐全，性能稳定，1作状态良好，显示清渐。2.5.2显示器能正常显示通电自检的正常信息，微机系统通电自检功能必须正常。2.5.3输入/输出程序正确无误
2. 5.4打印机、穿孔机与主机接门良好，1.作正常2.5.5装置内部清洁，布线整齐，线路尤老化、破裂，各线路标志齐全、正确。2.5.6所有裸露导体件（包括外壳），必须与保拟接地端子构成通路，保证有水久良好的导电性。保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大于0.10。2.6冷却系统
2.6.1冷却器具齐全，
2.6.2冷却系统不能有直线状的漏液流2.6.3冷却管道，过滤网无堵塞。2.6.4冷却水不得渗入电气籍内和设备内2.6.5风冷部分各风扇运行正常，过温保护装动作灵敏2.6.6净化柜风机运行正确。
2.6.7装片净化柜的洁净度100级。2.7安全防护
2.7.1设备保护盖板，挡尘板齐全，光整无损、率固、可靠。2.7.2炉管两端用保温棉填塞，防止热量外泄。2.7.3排毒风管每管平均5CF。
2.8维护保养
按SJ/T31002—94《设备维扩保养通则》执行。3检查、评定方法
3.1检查方法
3.1.1用温度测试仪监测温度精度。3.1.2用2m左右长的热电偶放在好堂正中，用数字溢度计检测恒温区长度及温度精度，3.1.3其余项H用现场主观方法进行检查。3.2译定方法
3.2.1主要项目有2.1.1.2.1.2、2.1.3、2.1.4、2.1.5、2.1.6、2.1.7。其余为次要项目。3-2.2主要项目有-项不符合要求，为不完好设备；·次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。
3.2.3完好设备的维扩保养，应达到优等设备标推，附加说明：
本标准出电手工业部经济运行与体制改革前提出。本标准出中国华晶电子集团公司组织起章。不标准主要起草人：吴正伟、顾军建，王永忠。2
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