【电子行业标准(SJ)】 HP4284A型精密LCR测试仪检定规程

中华人民共和国电子行业军用标准FL0150
SJ20240—93
HP4284A型精密LCR测试仪
检定规程
Verification regulation of modelHP4284A LCR precise measurement instruments1993—02—09发布
中国电子工业总公司
1993—05—01实施
中华人民共和国电子行业军用标准HP4284A型精密LCR测试仪
捡定规程
Verification regulation of model HP4284ALCR precise measurement instruments1范围
1.1主题内
SJ20240~-93
本检定规程规定了HP4284A型精密LCR测试仪（以下简称HP4284A）的检定条件、检定项日、检定方法，检定结果处理及检定周期。
1.2适用范围
本检定规程适用于HP4284A型精密LCR测试仪的检定.同类型仪器也可参照本规程进行检定。2引用文件
本章无条文。
3定义
本章无条文。
中国电子工业总公司1993-02—09发布1993—05—01实施
TYKAONKACa-
4一般要求
SJ20240--93
4.1受检计量器具的用途和原理
HP4284A是通用的LCR测试仪，适用于L、C、R元件、材料及半导体器件的测试。测量频率范用为20Hz～IMHz,C—D测量的基本准确度为士0.05%（C），士0.0005（要测量结果以六位数字的分辨力直接显示在液晶显示屏上。同时还具有比较、分类和扫频测试等功能，可与其他装置配合·实现全自动化元件测试、分类和产品质量控制。
该仪器采用矢量电压电流测法，用四端对连接被测元件，可有效地消除分布电容、残余电阻、电感的影响，从而保证较高的测准确度。
4.2技术要求
4. 2. 1 谢量功能
4. 2, 1. 1测量参数
ZI,IYI,L,C,R,G.D,Q.R..R.,X,B,o.4. 2.1. 2参数组合方式
4.2.1.3测量等效电路
并联和串联。
4.2.1.4测试电缆长度
标准为 0m 和 1m。
4.2.1.5测量速率
慢，中.快三种。
4.2.2测试信号
4. 2.2.F颗率
D,Q.R..R..G
频率范围：20Hz～1MHz共8610个可选择频率点：2
准确度：主0.01%。
4.2.2.2信号电平
电压：5mV～2V:
SJ20240 -93
准确度：土（10%+1mV）：
电流：50gA~20mA：
准确度：=（10%+10μA）。
4.2.3测量范围
z.R.X.0.01mn~99.9999Mo
IY.,G,B: 0. 01nS~99. 9999S
C:0.01IF~99.9999F
L:0.01nH~99.9999kH
D:0.000001~9.99999
Q: 0. 01~99999. 9
0:180. 000°~ 180.000°
A%：-999.999%999.999%
4.2.4测量准确度
测量准确度检定必须满足下列条件：(1)预热时间≥30min。
(2）测量电缆长度：0m，1m。
如果选用2m.4m电缆.测试信号电压与颖率应满足说明书第9章10页之规定。
（3)已进行开路与短路校准。
（4)偏置电流置下QFF。
（5）测试信号电压与直流偏置电压应根据说明书第9章11页图B进行设置。
4.2.4.1总不确定度
a.IZi,IYI.LC.R.X.C和B的总不确定度由下式给定。A.+A. ... ()
TTKAONKACa-
SJ20240—93
式巾 4.为准确度.A:a为校准不确定度。当 Dx0. 1 时.对于 L,C.X，B 言 A应乘以因子Vi-D
当Qx≥0.1时，对于R,G而言.A应乘以因子V1Q，h.D总不确定度由下式给定。
D,+fml ...
式中,D。为D值测量催确度,0为校准不确定度（弧度)。当Dx（测量值)≥0.1时，0应乘以（1+Dx)。4. 2. 4.2准确度
a.ZI.Y L,C.R,X和 B的难确度由下式给定。A,=±A+(K,+K,+Kb×KbXK.)×100+K,)XK.(%).
式中:A—基本准确度;
K,K,阻抗比例系数，
+*+*. (3)
Kd、K．Kh——电缆长度系数（详见说明书);K—并路/短路校雅系数：
K.——--温度系数。
b.D 维确度
D,=±A,/100(绝对 D值)
当 Dx≥0. 1 时,D,应乘以(1Dx)4.3检定条件
4.3. 1环境条件
a.环境温度：20士2℃：
b.相对显度，45%～~75%；
c.大气压强：86~106kPa
d.供电电源：220V±2%，50Hz土1%：++*.(4)
e.周围环境：无影响仪器正常工作的机械振动、冲击和电磁场4
干扰。
4.3.2检定用设备
4.3.2.1数字式额率计
SJ20240—-93
频率范围：20Hz～1MHz;
准确度：≤±1×10-5，
参考型号：E312。
4.3.2.2电压表
频率范围：20Hz～1MHz；
交流有效值电压范围：5mV~20V；直流电压范围：40~40V：
交施测量准确度：土3.0%；
直流测量准确度，±0.1%；
参考型号：HP3458A，7150和DA—16。4.3.2.3标准电容器组
电容量：lpF，10pF,100pF,1000pF,0.01μF,0.1μF，lμF校准准确度：士0.01%；
参考型号：HP16380A，HP16380C4.3.2.4标准电阻器组
电阻值：1000，1,0kz
校准准确度：土0.01%；
参考型号：HP16074A。
4.3.2.5转换器及测试电缆
参考型号：HPPN1250—0080,HPPN1250-0781HP PN 1251-2277,HP PN 8120-1838HP16048A.
5详细要求
5.1检定项目与检定方法
5.1.1外观及工作正常性检查
TTKAONKACa-
SJ20240—93
5.1.1.1受检仪器应附有产品技术说明书及必要附件，非首次检定时，应附有前次检定证书。
5.1.1.2受检仪器应无影响其正常工作的机械损伤，通电后仪器能正常工作。
5.1.1.3受检仪護须在检定环境条件下放置24h后方可检定。5.1.2测试信号频率准确度检定
5.1.2.1仪器开启电源后预热30min以上。5.1.2.2按图1连接仪器。
BNC-BNC 电缆 aCem
5.1.2.3将HP4284A系统复位。
HP4284A
a.按MEASSETUPMENU（设置测量菜单）键，仪器显示MEASSET UP(测量设定）页。
b.按CURSOR（光标）键，将光标移至SYSMENL（菜单列）区。
c.按［more1/2］软件，使仪器左下角显示ESYSTEMKEEFT系统复位。
d.按[SYSTEMRESET软键，
e.按：YESI软键，系统即复位。5.1.2.3按表1规定的检定点检定频率,将频率计读数记入附录A(补充件)表 AI 中
额率点
20klEs
SJ20240-—93
测试频率及合格范围
合格范围
0.9999~1.m1kHz
7. 9592~8. 12008k1z
19.998~2n.002kHz
79. 992--80. 008kHx
399. 96 ~ 40, 04kHz
0.9999k1z1.0001MHz
5.1.3信号电平与电平监视器的检定按图2连接仪器。
5. 1. 3. 1
转换器
HP3458A
电压表
BINC同轴电缆
5-1.3.2将电压表置于ACV档。
5.1.3.3按5.1.2.3条将HP4284A复位。5.1.3.4按下列要求设置HP4284A：FREQ（频率）：1.25kHz
HI-PW（高压）：OFF
HP4284A
三连轻接器
5.1.3.5使仪器出现MEASDISPLAY(测单显示）负。按表2设置振荡电平，将电压表读数及电压监视器显示5. 1. 3. 6
值记人附录 A表A2 中。
TYKAONKACa-
SJ20240-~-93
电平检定点及电平监视器合格范围（HI-PWOFF）测试电平点
合格范圈
电压表读数限
10=2mV
20±3mV
50±6rsV
100±11mV
200±21mV
250±26mV
500±51mV
1V±0m
2V±201mV
注：1>M.R.为电压表读数。
电平监视器读数限
M.R.P±(3%+0.5mV)
5.1.3.7将测试频率设为960kHz.重复4.1.3.6策。5.1.3.8将HI-PW置ON，按表3规定点，分别在1.25kHz和960kHz频率下，将电压表读数及电平监视器显示值记入附录A表A2中。
测试电平及电平监视器合格范围（HI-PWOV)测试电平点
合楷范压
电压表读数限
10=2mV
2.5±0.26V
20±2.01V
5.1.4直流偏置电压确度检定
按图3连接仪器。
5. 1. 4. 1
电平监视器读数限
M.R. =(3%+0. 5mV)
M. R. ±t3% +0. 5mV)
M.R.+(3%+5mV)
M.R.±(3%5mV)
HP5458A
电器表
SJ20240—93
2将电压表置于 DCV档。
5. 1. 4. 2
5.1.4.3按5.1.2.3条将HP4284A系统复位。5.1.4.4按下列要求设置仪器状态：TestSignalLevel(测试信号电平）：0V：HighPowerOption（高压选择）：OFF；DC Bias(直流偏置）:ON。
HP4278A
5.1.4.5按表4规定的偏压值进行检定，并将电压表读数记入附录A表A3中。
高压选择
直流偏置电平检定
储置电平
合格范围
1.425~1.575
1. 9 ~2. 1
0. 0010--—0.010
0. 0989~0.1011
1.9970-2.0030
5.9920--6.0080
13. 98114. 019
29. 960-30. 040
39. 950-~ 40 050)
[h1rF,989
—2,0030~—1.9970
—6.0089~—5.9920
-14. 019~—13, 981
：30.040~—20,960
- 40. 050~ 39, 950
TYKAOIKAca-
S120240-93
3. 1.4. 6 仅器若带有 001 高压选件,将 H1-PW 置于 0N.再按表 4 规定的检定点进行检定,将电压表读数记人附录A 表 A3 中。5.1.5阻抗测量准确度的检定
5.1.5. 1按图4连接标准器。
标准器
5.1.5.2按5.1.2.3条将HP4284A系统复位。5.1.5.3按MEASSETUPMENUA键，再按[CORRECTION](校准)键使仪器显示校准页。
5.1.5.4将开路终端器连到 HP4284A 的 Unknown 测试输人端。
5.1.5.5将光标移至OPEN处，按[MEASOPENJ(开路写入）键，存储开路校正数据（大约等待90s）。5.1.5.6将短路终端器连到HP4284A的Unknown端。5.1.5.7将光标移至 SHORT处，按［MEAS SHORTJ(短路写入)键，存储短路校正数据。
3.15.8将HP4284A置于手动触发方式。5.1.5.9按表5—1规定的信号电平和测试频率，分别连接10pF，100pF和1000pF标准电容器到仪器Unknown端.以手动触发方式进行检定。将各测量读数值记入附录A表A4一I中。5.1.5.10按表5-2规定的信号电平和颖率，分别连接0.01μF、0.1μF和1μF标准器到仪器Unknown端，以手动触发方式检定。10
SJ20240—93
将各点测量读数值记入附录A表A42中。表5—1
信号设定Www.bzxZ.net
阻抗准确度检定点及其合格范围台 铬 范 (C,LD)
ltpP标唯器
12. 5kHz Cjc.V.±0.6318F
±0.6G031
100pF标准器
C. V. ±1.759pF
±0.01739
C. V, +. 312pF
= t. 04293
C.V.±o.137uF
43kHxGp C. V, +u.U2462FI C. V. ±G. 162pF=0. 0190
96klIz
G,IC. V. ±i.1275pF
Cr'C. Y. +. 0249pF
1kHz iCr
±0. 0n38
Cp/ C. V. ±b. 办2pF
1kHzCp
C. V. -0.122pF
+ 0. 0116
C. V. -0. 112pP
C.V. ±u. BS8pF
C. V. ±0. 208F
C. V. +0. 293pF
1MHxCpC.V. 上a.029?pF
C.V.±0.152pF
C.V.标准器在1kHz的校准值。
C.V.C.V.值乘以1.003.
表5—2
信号设定
5t ri v
1000pF标准器
c.V.±a2.9pF
±0.00319
C. V. ±3. 05pF
主心.D0286
C.V. ±1.00pF
= 0. 000a1
C. V, =1. 13pF
±0.00095
C. V. ±1.16p2
C, V. ±1. 31pF
C. V.'+I 53pF
± 0. 00083
C. V. ±2.53pF
C.V.'±2. 59pF
C.V.±1.48pF
C V.*+2. 03pF
阻抗准确度检定点及其合格范围合格范图(Cp）
.标准器
心. 1μF标准器
C. V. ± 0. 0052nF
C.V.±0.0R1nF
C. Vu+u, trInF
C. V. ±t.1814nF
C. V. +a. T132nF
C.v. :标准器在 IklIz 的校准值，*仅适用于 001 选性。
C. V. -). 13InF
1#E标雅器
C, V. ±.08inF
C. V. ±6.67nF
C. V. ±1.31nF
TTTKAONKAca-
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。