【国家标准】微机电系统（MEMS）技术微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

本网站发布时间： 2026-06-25 17:55:17

GB/T42158-2023
现行
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基本信息

标准号：
GB/T 42158-2023
标准名称：
微机电系统（MEMS）技术微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
标准类别：
国家标准(GB)
英文名称：
Micro-electromechanical systems technology(MEMS)—Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
标准状态：
现行
发布日期：
2023-03-17
实施日期：
2023-07-01
出版语种：
简体中文
下载格式：
.pdf .zip
下载大小：
4.96 MB

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标准分类号

标准ICS号：
电子学>>半导体器件>>31.080.99其他半导体器件
中标分类号：
电子元器件与信息技术>>微电路>>L59微型组件

关联标准

采标情况：
IEC 62047-26:2016,IDT

出版信息

出版社：
中国标准出版社
页数：
28页
标准价格：
50.0

其他信息

起草人：
张硕、顾枫、李根梓、沈俊杰、俞骁、周再发、王敏锐、贾建国、许百宏、许克宇、王志远、刘志广
起草单位：
苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛(杭州)微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心等
归口单位：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
提出单位：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布部门：
国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

标准简介/下载

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标准简介：

本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构，并给出两种结构几何形状的测量示例。本文件中沟槽结构的深度为1 μm～100 μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5 μm～150 μm、深宽比为0.006 7～20。棱锥式针结构具有三个或四个面，其高度、横向宽度和纵向宽度为2 μm或更大，并且外轮廓尺寸可包含于边长为100 μm的立方体内。本文件适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。

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