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- YS/T 978-2014单晶炉碳/碳复合材料导流筒
标准号:
YS/T 978-2014
标准名称:
单晶炉碳/碳复合材料导流筒
标准类别:
有色金属行业标准(YS)
英文名称:
Carbon/carbon composites guide shield of single crystal furnace-
发布日期:
2014-10-14 -
实施日期:
2015-04-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.pdf .zip下载大小:
2.31 MB
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标准ICS号:
电气工程>>29.045半导体材料中标分类号:
冶金>>半金属与半导体材料>>H83化合物半导体材料
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标准简介:
本标准规定了直拉单晶炉用碳/碳复合材料导流筒的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于直拉单晶炉用碳/碳复合材料导流筒。
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准主要起草单位:湖南金博复合材料科技有限公司、西安隆基硅材料股份有限公司。
本标准主要起草人:廖寄乔、李军、谭周建、邰卫平、李定武、王跃军、龚玉良、周锐、陈英、李丙菊、石磊。
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1804 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T22588 闪光法测量热扩散系数或导热系数
GB/T24528 炭素材料体积密度测定方法
JY/T015 感耦等离子体原子发射光谱方法通则
QJ2099 三向纤维增强复合材料弯曲性能试验方法
QJ2509 碳/碳复合材料灰分含量测试方法
部分标准内容:
ICS 29.045
H83
YS
中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 978-2014
单晶炉碳/碳复合材料导流筒
Carbon/Carbon Composites Guide Shield of Single Crystal Furnace
2014-10-14发布
中华人民共和国工业和信息化部发布
2015-04-01实施
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准主要起草单位:湖南金博复合材料科技有限公司、西安隆基硅材料股份有限公司。
本标准主要起草人:廖寄乔、李军、谭周建、卫平、李定武、王跃军、龚玉良、周锐、陈英、李丙菊、石磊。
1 范围
本标准规定了直拉单晶炉用碳/碳复合材料导流筒的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单(或合同)内容。
本标准适用于直拉单晶炉用碳/碳复合材料导流筒。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括修改单)适用。
GB/T 1804 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸公差
GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 22588 闪光法测量热扩散系数或导热系数
GB/T 24528 炭素材料体积密度测定方法
JY/T 015 感耦等离子体原子发射光谱方法通则
QJ 2099 三向纤维增强复合材料弯曲性能试验方法
QJ 2509 碳/碳复合材料灰分含量测试方法
3 术语和定义
3.1 导流筒 guide shield
位于单晶炉坩埚上方,用于引导气体流动、屏蔽热量、形成单晶生长温度梯度,具有导流与保温作用的锥筒形构件。
4 要求
4.1 产品分类
4.1.1 碳/碳复合材料导流筒按锥体小端内径分为不同规格,常见规格代号有235(20in/6.5in)、265(22in/8in)等。
规格代号中235后括号表示适用于20in热场单晶炉拉制6.5in单晶棒。
4.1.2 按灰分含量分为一级和二级纯度等级。
4.2 产品标记
导流筒标记由代号、规格、尺寸及纯度等级组成。
导流筒代号以“D”表示。
规格代号为锥体小端内径(mm)。
法兰盘外径代号为法兰盘外径(mm)。
高度代号为导流筒总高(mm)。
纯度等级用“I”“II”表示,二级可省略。
标记示例:
导流筒 YS/T978-D260×516×345-I
表示锥体小端内径260mm,法兰盘外径516mm,高度345mm,一级纯度。
4.3 外观质量
产品表面应光滑圆整,无裂缝(长度>20mm、宽度>1mm、深度>1mm为裂缝)、无磕碰伤痕、无分层、无起泡、无夹杂与结块,无油污、水渍及灰尘等。
4.4 尺寸及允许偏差
尺寸及偏差由供需双方商定,图纸标注按图执行。
未注公差按GB/T 1804中c级执行。
4.5 性能指标
导流筒主要性能指标应符合表1规定:
密度(g/cm³)
灰分含量(mg/kg)
抗弯强度(MPa)
导热系数(W/(m·K))
具体指标可由供需双方协商确定。
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