【其他行业标准】 单晶炉用碳/碳复合材料坩埚

ICS 29.045 H83 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 792-2012 单晶炉用碳/碳复合材料坩埚 Carbon-carbon composites crucible used in single crystal furnace 2012-11-07发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 2013-03-01实施 前言 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。 本标准负责起草单位：湖南金博复合材料科技有限公司、洛阳单晶硅有限责任公司、上海九晶电子材料股份有限公司、常州天合光能有限公司。 本标准主要起草人：廖寄乔、邰卫平、王跃军、吴书晓、王文卫、史瑞、戴瑞麟、黄振飞、李军、龚玉良、王丽、瞿雪林。 1 范围 本标准规定了单晶拉制炉用碳/碳复合材料坩埚的要求、试验方法、检测规则及标志、包装、运输、贮存、质量说明书和合同（或订货单）内容。 本标准适用于半导体领域单晶拉制炉用碳/碳复合材料坩埚，也适用于其他高温炉中提纯多晶硅和冶炼金属用碳/碳复合材料制品。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期版本适用；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有修改单）适用。 GB/T 1804 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差 GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划 GB/T 3074.4 石墨电极热膨胀系数（CTE）测定方法 GB/T 5163 烧结金属材料可渗性材料密度、含油率和开孔率的测定 GB/T 22588 闪光法测量热扩散系数或导热系数 YB/T 5146 高纯石墨制品灰分的测定 3 术语和定义 3.1 表观密度 制品烘干后的质量与其体积之比。 4 要求 4.1 产品分类 4.1.1 碳/碳复合材料坩埚按内径大小分为41、46、51、56等规格。 4.1.2 按结构分为整体式坩埚和分体式坩埚。分体式包括活动底分体式、上下分体式和三体分体式。 整体式与分体式结构示意如图1、图2所示。 （图中参数包括内径d、外径、坩埚高度、倒圆半径、壁厚等结构尺寸定义） 4.1.3 按灰分含量分为I级、II级和III级纯度等级。 4.2 产品标记 产品型号及意义如下： G（z或f）×规格代号-纯度代号 G表示坩埚代号。 结构代号：z表示整体式，f表示分体式（f1活动底分体式，f2上下分体式，f3三体分体式）。 规格代号以内径厘米值（四舍五入）表示。 4.2.4 灰分与纯度等级对应关系： I级：<50 mg/kg II级：50~200 mg/kg III级：200~500 mg/kg 4.2.5 标记示例： 内径508mm、I级纯度活动底分体式坩埚标记为：Gf1-51-I 4.3 外观质量 产品表面应光滑圆整，无裂纹、无磕碰伤痕、无夹杂物和结块，无水、油污及灰尘等杂质。 4.4 尺寸及允许偏差 常用规格尺寸见表2，允许偏差见表3。 图纸有规定的按图纸执行，无规定的按GB/T 1804 c级执行。 具体尺寸与偏差可由供需双方协商确定。