【GB国家标准】 微束分析 扫描电镜图像放大倍率校准导则

GB/T 27788—2020/ISO 16700:2016 微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则 Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Guidelines for calibrating image magnification (ISO 16700:2016, IDT) 前言 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。本标准代替GB/T 27788—2011《微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则》。与本标准使用翻译法等同采用ISO 16700:2016《Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Guidelines for calibrating image magnification》。 与本标准中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下： GB/T 15000.3—2008 标准样品工作导则（3）标准样品定值的一般原则和统计方法（ISO Guide 35:2006, IDT） GB/T 15000.7—2012 标准样品工作导则（7）标准样品生产者能力的通用要求（ISO Guide 34:2009, IDT） 本标准做了下列编辑性修改： 在资料性附录A中增加了一条“A.2.5 中国计量科学研究院（NIMC）”，以使本标准更具有可操作性。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC 38）提出并归口。本标准起草单位：中国地质科学院矿产资源研究所、中国科学院上海硅酸盐研究所、中国人民解放军海军军医大学。本标准主要起草人：陈振宇、周剑雄、李香庭、杨勇骥。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：GB/T 27788—2011。 引言 扫描电镜广泛用于对许多重要材料如半导体、金属、聚合物、玻璃、食品及生物材料等的表面结构的观察研究。本标准应用于扫描电镜图像放大倍率的校准，描述了在扫描电镜中使用有证参考物质或参考物质进行图像放大倍率校准的要求。 1 范围 本标准规定了使用适当的参考物质对扫描电镜（SEM）图像的放大倍率进行校准的方法。本标准适用于对由校准参考物质上间距大小的可用范围决定的放大倍率进行校准。本标准不适用于专用测长型扫描电镜。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 27025—2008 检测和校准实验室能力的通用要求（ISO/IEC 17025:2005, IDT） ISO导则 30 标准样品常用术语和定义 ISO导则 34 标准样品生产者能力的通用要求 ISO导则 35 标准样品定值的一般原则和统计方法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 扫描电镜 (Scanning electron microscope, SEM)：通过电子束扫描试样表面产生放大图像的一种仪器。 3.2 图像 (Image)：由扫描电镜（3.1）产生的试样表面的二维表征。注：用扫描电镜拍摄的试样照片就是图像的一种。 3.3 图像放大倍率 (Image magnification)：图像显示的线性尺度与试样上被扫描区域的相应线性尺度之比。