【国家标准(GB)】硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

本网站发布时间： 2024-08-10 16:11:01

GB/T4061-1983
现行
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基本信息

标准号：
GB/T 4061-1983
标准名称：
硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
标准类别：
国家标准(GB)
英文名称：
Chemical corrosion test method for interlayer of silicon polycrystalline cross section
标准状态：
现行
发布日期：
1983-01-02
实施日期：
1984-01-02
出版语种：
简体中文
下载格式：
.rar.pdf
下载大小：
25.74 KB

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标准分类号

标准ICS号：
冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
中标分类号：
冶金>>金属理化性能试验方法>>H25金属化学性能试验方法

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出版信息

页数：
2页
标准价格：
8.0 元

其他信息

首发日期：
1983-12-20
复审日期：
2004-10-14
起草单位：
峨嵋半导体材料厂
发布部门：
国家标准局
主管部门：
国家标准化管理委员会
相关标签：
多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

标准简介/下载

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标准简介：

标准下载解压密码：www.bzxz.net

本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。 GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法 GB/T4061-1983

标准内容

部分标准内容：

中华人民共和国国家标准
硅多品断面夹层化学腐蚀检验方法Polyaystalline sllcon-Exn miadtiahmethad assesement nf aridwirhex antrst-section by cheinical tomusiueDE
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附加说明：
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