【国家标准(GB)】 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

中华人民共和国国家标准
硅多品断面夹层化学腐蚀检验方法Polyaystalline sllcon-Exn miadtiahmethad assesement nf aridwirhex antrst-section by cheinical tomusiueDE
669.7821548wwW.bzxz.Net
.2:620.193.4
CR 4061--23
产：：品格热原编准名出大
「方流原理
1.1原理
用车移的线品源时品可A化实保建大瑞达的美1.2万法
2该样制务
2.1取痒能
原多品成不的站品入度外性年，P
家4向1981220岁
1054-1201店
2.2试样尺号
2.3试样处理
CB4O1-BS
2.8.1将择盛装纯F，-1：4的泥最游训离后尚！正小冲净须察百
检验方法
可肉服迎来啡的要饮！
4光层评定
1却共火层般芯证下的火是
附加说明：
大称人共和待帝业长
八标泄中读半导添材料：资进起草大标准十要起举人划记境。
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。