【电子行业标准(SJ)】 EVP－13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法

设备完好要求和检查评定方法
（下册）
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专用设备（续）
中华人民共和国电子行业标准
EVP一1380型群控避射机完好求
和检查评定方法
1、主围内容与适用范围
SJ/T 3127994bzxZ.net
本标准规定了EVP一15480则您控滤射机的完好要求和检、伴定方法。本标难适用手VP—1348型感期对机，其它望格的磁控燃射机亦可塞脏热行2术语
磁控减射是在靶上外加互相正直的磁场和电势，在一忘的真空情说一，发生液座度的等离广体，利用等离子体的作用形就账层，3完好要求
3. 1性能要求
3.1.1极限压力，低下1×10-：
3.1.2设备起转：20mr无，极限压力能满见燃射零求.3.2操作系统
各续作手柄.并关按钮等齐全、无缺损、员敏、可影.标志齐全：3.3传动现费
3.3.1传动机物运行接，带，电机变速机构等工作正带，无异带噪音，，3.3.2制动、限位装置齐全，完整、灵缴、可界。3.4润滑系统
3.4.1润滑装图并金完整元抗,作用良好。3.4.2替路齐全，融贴畅通，编窗明亮，油标醒日，油质.油城持合规定要求。3.4.3油崛，油杯、池眼南洁，无堵案现象。游滑良好，基a无满油，即每漏袖点滴拍教，3min内不得照过--滴：
3. 5真序系统
3.5.1空家运转平稳，无常源和，无击，傲收H个低十11C-*P日：3.5.2低需求二作正带
3.5.3兼发室观衰商消沾、李时良好。3.5.4真空智路连换紧固常，断通，咨封良好、3.5.5真空制门开闭灵活可靠：
3.6也系统
中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准10
1994-06-07实施
SJ/T31273—94
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3.6、1、各元，靠件齐全，完整，性能良好，可年，无考化款。3.6？管线完，东挝，联接守围。线路绝绿层无肢器，无老化.漏电现象，3.63电气控制柜内部清洁线路布解性齐，标芯齐会，明显，各端子紧固光松动现象，元，器件动作免敏：岁企、可毕。
3.6.4“悦表齐全、定整，灵，指示准确，可靠，有有效期校验合格证。3.7，附属装置
冷却水供监正常带管道畅通，
3.8安余防护
3.日.1各安全防护装管齐全，完整，二作正常，用靠。3.B.2接地(零）u常，栋志明显，3.9举护保养
按S/T31C29*设备维护渠养通则>快行：4检查、评定方法
4.1检查方站
4.1.1设备极限玉力用真空表检测.4.1.2故备接地端电用兆欧表检测。4.1.3完好要求3.2~~3.9各条所列内穿均案用主独法检变。4.2评定方法
4.2.13. 1-~3. 9所列各条要求r,主要项日为:5. 1.1、3.1.2、3.5.1:3.5.2、3. 5.3、3.6. 23.6.4.3.8.1、3.8.2，其余为按要项日4.2.2生要项尽有项不符合要求，为个完好议备次要项日有二项不符合要求，亦步不完好段备。
4.2.3完好设各的维护保养，应这到优等设备标准。附加说明：
本标准汁电子工业部经济运行与体制改毕司提出。本标准出上将市型衣典求工业局织越学，本标准书要起克人，周范痕，
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