【电子行业标准(SJ)】 A500B2K型高真空薄膜镀膜机完好要求和检查评定方法

设备完好要求和检查评定方法
(下册）
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专用设备（续）
中华人民共和国电子行业标准
A500B2K型高真空薄膜膜机完好要求和检查评定方法
1生题内容与适用范围
SJ/T 31260- 94
本标准规定丁A5C0B2K型高真空薄膜键要机的宽好婴求和检查、评定方法。车标准适用于A5mUB2K型商真空薄膜链膜机，2完好要求
2.1上要性能
催膜生施
膜誉宽度范患：250~520mm
镀最最大宽度：00amm
换球度范固.0.8--8m/s：
.个计算面积单位镀膜范思：1~51。潮空源
极限压力：不低手5×10-\Pa：独气速率，imin不低了1×Pa：
工作极限压力，不低1×10-
满气本，s3×10P：1/
2.1.3链激教孕与加您温度范图为—40℃-~十罚T2.1.4卷势产品端面平整允差不超过土0.1mm，继层无撕伤2.2操作系统
2.2.1各操作手柄、开关、接钮.落钮房动关活.标志齐全。2.2.2动、限签装置齐金，灵数可非。2-3.动系统
2.3.1微膜数、龄瓷，解轴及传动装需，送铅机构运转平晚，无冲讲，术动。2.3.2变速张力机构谢节成敏、可需。2.3.3链随燃、测至轴、张力轴，奇展轴，导轴压轴衣+直光耐，传助灵敏测轴意金层无缺陷，碳测接触可率。
2.4京空系统
2.4.1机械其空要，机械增压泵运转平移，无冲击，无摄动.极限压力不低十5×10-Pa。2.4.3神扩散象，谢增压泵、冷内表而消粘，工作正。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1:94-06-J1实放
5.11312E0-94
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2.4.3蒸发室清清.密封良如，油封不漏神，油位低带观穿断消晰2.4.4有空管路迷接签固可靠，畅通，密封良好。2.4.5真空阀门开闭英餐、可竞。2.5'气动系统
2.5.1、各气动元件动作灵敏，可带.无据动，无股行，2.5.2、各气动管路幅通、病粘,无泄滞,排列整齐.滤轴幕丁作正带2.6. 制冷系统
2.6.1游降压编机冷剂循环系运转平稳，无异带据动.无冲击，循环系压力范因为0.4~-0.5MPa,制格剂量成在合见定要求，2.62制冷誉路连接累叫.可账，无池通.2.6.3冷避、满发步力适中，各间门调竹灵效，可原。2.6.4冷冻机洲回油正常
2.7电气系统
2.7.1各元，器件齐金，完屿..1作可至，无考化现象2.7.2 电气性能炎暂,运行可常,保护装骨齐全,有效。2.7.3线路完整，绝缘层无破裂无需电现象，2.7.4比气恒内清洁，线路布置整齐，标志明显、各了紫固无松动源象.2.了.5计量仅器仪表定好,抗示准仰.有有效期内检验合快证。2.8其地系统
2.81净却
水管路带通，自动阀门灵嫩、可意，清洁，不漏水。h压不低」心。4MPa，出水盘鼠不高下30!。2.8.2空匾
筛路畅通，清洁不谢气.随门调节炎活，压力范图在.5·~.6MPa，.
bh.过工作正常，润器油位清晰断。2.9安全防扩
2. 9 1 安全防护装置齐全、可期。2.9.2接地率可靠，标惠明壶。
2.10灌护保养
按$3/31(102—94设备维护保养通测执行，3检查,评定方法
3.1垃查方法
3.1.1、你准出真空度性查用冷拟授也商真空止点法量，3.1.2标随中魂度检查，换格成转速后用转速表方法测录。3.1.3标准中湿气率控套：穿闭真究室，用学室，扩微等抽全能限桌空度后保持3C公钟，其润气车用（1)式碗定：
海气，PaL：
武f：@-
—压强P：
V—真空室容积.L
一来强升高时间+8。
3.2评定方法
SJ/T31260-94
3.2.1完好要求中,2.1.1~2.1.4.2.4.1.2.7.1、2:7.2.2.9.1.2.9.2为主要顺日.其余为款要项日。
3.2.2，主要项目有一项不符得合要求，为不光好设备次要项日有当项不特命要求，亦为不完好设备。
3.2.3完好设备的维护保荐，应达到优导设备标准。附加说明：
本标准自电子工业部经济运行与体制改率司据出。中标由国营宏明光线电器材！组织赵草：本标准丰要起节人，包于成。 783