【电子行业标准(SJ)】 制冷机低温泵总规范

1CS31-660
备编号：9860-2002
中华人民共和国电子行业标准
SJ/↑ 11259—2001
制冷机低温泵总规范
General specification fur refrigeralor cryopump2002-01-31发布
2002-05-0t实施
中华人民共和国信息产业部发布前
冰规范季照GB7774、日7776、G8门6070、GB/T3163制定，可用于指导该类产虽的研制与生产，
本规范出宇国电子技术标准化研究所（心S1）。本规范起卓单位，信息产业部合肥低电子研究所。4规范关要起草人：抑汉莹，赵东辉、徐友平，严蓉仓、田架
E kaNr kAea
1范围
中华人民共和国电子行业标推
制冷机低温泵总规范
Generalepeciflcation forrefrigeratarcryopampSJ/T F1259—2001
冰瓶范规定了制冷机低温泵的要求、试验方法、质尽评定程序及标志、包装、运输、忙存。本抗范适用制冷机低温东的研制气产。2引用标准
下烈环准包含的条文，通过左本规中引出而构成为本规范的条文。本规范止版时，所示版本均为有效。所有标准暂会被等订，保用本规范的各方应操讨更用下列标准量新版本的可能生。G191一2H包装性运图示标志
GB/T316393品空技乐术语
GB5080.7一B6设各可.验性试验恒定效率假设下的头效率与平均无放序时间的验证试验方案
GR/T60701995高空法兰
GB77T4—87
涡轮分子泵，性整测试方法
GB77T6—87
3定义
慈汽沉安容泵泵糖迟流率测试方法本现范采用下列定义。
3.1低温票cryopump
利而低温表而势集气体的享空象。3.2制冷机低湿泵refrigeratorcryupump刑封阅编环制冷机提供冷源的低温泵.3.3降温时间cooldownlimz
从实温肩动制冷机至冷头温度达到20K时所的时叫34极限压力ulthatepreysurt
系装标准试验率并按规定条件下作，在不号入气体正常下作的情况下，趋问稳定的最低！力：3.5抽气返率volumellowrate
体积流率
尚杂装有标准事并按规定冬物工作时，从试追率流过的气体流量与在试验率上指定位置测得的平衡压力之比，简你系的批速：36气容整apaeily
中华人民共和国信息产业部2002-01-31拉准KNr K
2002-05-01实施
SJ/T 11259--2001
制冷机能温率的拖避由量大下降至抛速（岛mx/）时所抛的气体盘，文称持气量，4分类与率名
4.1命名
制冷机低溢象系列产品型号命名由以下部分组成本型号
辅助型号
代表制冲机低盖象名称，以构成名称的两个关德字（艇温、制冷）的没语拼音第一个字母DZ表示。
自代表制冷机低溢泵的稠格，以其泵口直径装示，见表1。国代表制冷机低温泵设计序号、从第一次改型设计开始，以字母 A、B、C…期序表示，4.2规格
制冷机低温泵泵口直径推荐尺寸见表1.表 泵口直径
泵口直径
4.3示例
泵口直径为200mm.
5婴求
5.1工作环境条件
第三改极计随进的制冷机低溢象命名求例如下，设计序号
系口直径，怕
制将机低温泵代号
制冷机低温系工作环境条件如下：）内运行
b环境温度：°℃~40℃
5）相对流度：≤5%，
5.2外观质量与尺寸
5. 2. 1外观费量
制冷机低温泵外观应光滑平整，无毛：驱等影响寿命和快用的缺陷。5.2.2尺寸
制冷机低温泵的泵口直径应符合表1的规定。5.3性能特性
5.3. 1降温时间
制冷机低温泵的降退时间应符会表2的规定，极限压力
5.3.3抽速
SJ11269—2001
制冷机低温泵的抽速应符合表2的规定。5.3.4抽气容量
制冷机低激泵的抽气客量应特合表2的规定，5. 4 安全性
5.4.1制净机低温累必须配有压力安全鼓置。5.4.2在止常工作条件下，冷机低温泵的电源载与机壳之问的绝缴电阻应人于10M。5.5可靠性
制净机低温衰平均故障间辆射间（MTBF）大手或成等于10000h。表2主要技术指标
泵口直径
N,/ He
构气交量
极黑压力，a
择温时间
6试验方法
6. 1测试条性
500/400
500/50
2k10-2
BOO/600
1000300
1500/1200
2000/600
2200/1500
4000/1200
6.1.1在整个测试过程，室温应为15C～25C，温度充许变化！°℃。320
3000/2000
550091700
T80-0HO
5000/3700
5500/1700
8.1.2测试罩烘烤后，测试系统温度应均划，为15\C~25'°C。温度变化不超过±3\C6.2外观质重与尺寸按查
以目测和满足精度要求的量其对制冷机低温泵的外我、探志和象口知已感进行按查应符合5.2.1、5.2.2、8.1及样细规范的要求。8.3降温时间
测试装工
测试用温度传照器（精度应在0.1K之内）、二次仗表，计时器缅经国家授权单位监定合格，并在有效期内。
6.9.2测试程序
用预抽泵对制冷机低温条抽空车2Pa后，关例实空调：b）启动制冷机，测量冷头温度，即冷头从带满降摄至20K时所用的时间。6.4极限压力
TYTKNKa
6. 4. 1测试装量Www.bzxZ.net
$J/T1125A—2001
.4.1.1测试罩用不销制成，内表面粗牺度为3，原押图如图1。漳气错口
单位：nm
6.4.1.2热阴极电高真空计、B一A现须田家授权单位案定合格并在有效期内6. 4. 2测试程序
a)肩动预抽象，将容器抽究至2Pa：b）测试装冒的外表面应纳绕加热带，对测试量进行烘燃去气，烘烤温度150吧：逆续烘燃时间应十24h。B一A规外壳随谢试装置一起烘烤，烘烤温度350\℃.c）当测试装置、B一A规烘烤去气，达到要求并降至室温后，再行测垒，共部五次，直到极限压力达判稳定，即可读数：
6.6抽速
6. 5. 1测试装量
6.6.1.1测试用不锈钢制成，内表面粗糙度火子，原理图如图2。B.5.1.2热阴极电离真空计，R一A规须间6.4.1.2.6.5. 2测试理序
来用压差法测试，程序如：
司！除非另有规定，·般取干媒空气、氮气为试验气休。在测试罩中达到极限压力之后，谢整图2中微调阀，使试验气体进入魂试率。罩中压力步升高，待止力平衡时，谈P，P值。b）每取测试点，至少应平衡20min，观察10min，乐力肾稳定在15%以内，则此点有效。=）重复上述程序进行下一较高压力点测试，每压力量级测三点，每测一点，用电离计测得的压力分别为P和P：抽速由公式（1）给出：S=C(Pj/ P2-1)-
—被试泵的灿速，Ls;
式出：S-
上测试率乐强，Pa;
一下浏试单压强，P正；
一见公式（2)。
SJ/T1125D—2001
式中，被抽气体的温度，K：
一被抽气体的分子量：
随导孔的直轻，cm。
6. 6抽气容量
6. 6. 1测试装量
测试装宜同6.5.1。
6. 6. 2测试程序
单位am
B）按6.4.2测试制冷机低温泵在泵的入口压为1×10*Pa左右的抽速：(2)
b）训节微调阅，继续往测试率内送气，使泵的入口压力保持衣.Ix10-Pa左右，不断记录充入泵内的气休流品，并计算出相应的抽速，直到抽速下降判5，时，记录过程所用时间！，往；3——平均抽速：
节款（日-2.718).
c）求出平均抽速Se，技公式（3）即可求出荣种气体在1×10-P下的抽气等量。o=s,P
式中：—抽气穿感，PaL：
S。长均抽速，拉fs：
制冷机低温入处的压力，Pa
．测试时间，8。
，7安全性
SJ/T112592001
6.7.1向赢体内充氯气：当压力达0.03MPa时。6.7.2用500V的非欣表（兆表须经国家提叔单位些定，且在有效期内），电源元关处下开\位置，检避仪器电源线对机亮间的绝续电阻，日可整性
按GR5080.7第5章中定时（定数）懿居试验方案试验，具体要求应出详细规范规定。7质量评定程序
7.1检验分类
本规范规定的检验分为：
鉴定检验：
b)质量一致性检监。
7.2各类热验适用范围
了.2，1紧定检验适用于，
a）新产在设计定型及生产定型或老产品转厂生产时：b）正式生产后，如材料、结构、工艺有较大改变，可能影响产品性能时。）国家质空监声机构提出定型检验要求时。7.2.2质早一致性检验适用于正常生产过程巾。7. 3检险项目
各类撤骏的检验项目见表3。
囊3各类检验的检项目
按腺项行
外观质重与尺寸
降益附间
极限压力
安全性
明然性
抽样规购
鉴定检验样机不少于2台。
7.4.2质早一致性检验应逐台进行7.5判定规则
鉴定检验
项置一致性检检
7.5.1案定检验的金趣项目检验合格，才能判定产品整定检验介格，要求体条号
试验才法章条于
7.5.2当质量一数性检验出现不合格项目时，扫许返修后对不格项目重新进行控验，重款检验合格，判该产品质量一致性检验合格：若重新检验仍不合格，读产品质显一致性检验不合势：返像次数不得超过2次。
8 标志、包装、运输、贮存
8.1标志
SJ/T11259—2001
制冷抓低温泵标志用彩色不干胶嵌制造，为容包括：a）产品称：
b）产品型号：
）造单位名称和地址；
d制造日期：
）出厂编号。
8.2包装
8.2.1制冷机低温泵外包装来用专用水制包转箱，内包装按部件用座料布软包装：并以油毡作箱体内衬，箱内以泡沫塑料固定。8.2.2制净机低溢荥婴求防尘、防潮、防雨，并方防震保护，箱内成有使用说明书、装箱单和台格证，含格证上注明：
a）制道单位：
b）产品型号：
c）检验日期：
d)检题员章。
.2.3包装箱外壁成其有GB191规定的“向上”，“易碎物帖”，“怕丽等标志，并注明毛画和外形尺寸（×宽高）。
8.3送输
包装箱在起吊、运轴过程应小心轻放，避免冲也、挑撞和丽雪直接淋落。8.4险存
制冷机低温泵应在-10\C~40\C条件下忙存，忙存环境应保持洁净、通风，无脑蚀性气件。HYTKNKa
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