- 您的位置:
- 标准下载网 >>
- 标准分类 >>
- 国家标准(GB) >>
- GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范
【GB国家标准】 微电子生产设备安装工程施工及验收规范
本网站 发布时间:
2023-05-31 15:11:21
- GB 50467-2008
- 现行
标准号:
GB 50467-2008
标准名称:
微电子生产设备安装工程施工及验收规范
标准类别:
国家标准(GB)
标准状态:
现行出版语种:
简体中文下载格式:
.zip .pdf
标准简介/下载
点击下载
标准简介:
GB 50467-2008.Code for construction and acceptance of micro-electromnics manufacturing equipment installation engineering.
1总则
1.0.1 为规范微电子生产设备安装工程施工,确保微电子生产设备安装质量和可靠运行,促进微电子生产没备安装技术的发展,制定本规范。
1.0.2 GB 50467适用于集成电路,半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括集成电路及半导体分立器件生产设备联动调试及试生产。
1.0.3 微电于生产设备安装工程施工中采用的工程技术文件、承包文件对施工及质量验收的要求不得低于本规范的规定。
1.0.4 微电子生产设备安装就位应按批准的设计图纸施工,修改设计应有原设计单位的变更通知。
1.0.5 用于检测的仪器仪表应经国家法定计量检定机构检定合格,并应在检定有效期内使用。
1.0.6 微电子生产设备安装工程的施工及验收除应执行本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定。
3.1施工条件
3.1.1 设备中转库储存应符合下列要求:
1微电子生产设备中转库应清洁、干燥、通风,有效空间高度、门的高度及宽度应能满足单体设备最大外包装箱搬入的要求,地面应平整且能满足叉车搬运最重设备的荷载要求。
2当微电子生产设备储存有恒温恒湿要求时,中转库除应满足本条第1款的要求外,还应满足特定的温湿度要求。
3设备储存应符合下列要求:
1)设备存放宜按行、列有序排列,严禁倒置,堆叠高度不得超过4.5m,并应留有设备出库时叉车的通道;
2)存放设备数量多时,宜绘制设备放置平面图,在图上应标出设备名称、型号及存放位置编号;
3)小型精密设备应存放在器材架上;
4)严禁存放腐蚀、易燃、易爆物品,严禁火种接近。
1总则
1.0.1 为规范微电子生产设备安装工程施工,确保微电子生产设备安装质量和可靠运行,促进微电子生产没备安装技术的发展,制定本规范。
1.0.2 GB 50467适用于集成电路,半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括集成电路及半导体分立器件生产设备联动调试及试生产。
1.0.3 微电于生产设备安装工程施工中采用的工程技术文件、承包文件对施工及质量验收的要求不得低于本规范的规定。
1.0.4 微电子生产设备安装就位应按批准的设计图纸施工,修改设计应有原设计单位的变更通知。
1.0.5 用于检测的仪器仪表应经国家法定计量检定机构检定合格,并应在检定有效期内使用。
1.0.6 微电子生产设备安装工程的施工及验收除应执行本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定。
3.1施工条件
3.1.1 设备中转库储存应符合下列要求:
1微电子生产设备中转库应清洁、干燥、通风,有效空间高度、门的高度及宽度应能满足单体设备最大外包装箱搬入的要求,地面应平整且能满足叉车搬运最重设备的荷载要求。
2当微电子生产设备储存有恒温恒湿要求时,中转库除应满足本条第1款的要求外,还应满足特定的温湿度要求。
3设备储存应符合下列要求:
1)设备存放宜按行、列有序排列,严禁倒置,堆叠高度不得超过4.5m,并应留有设备出库时叉车的通道;
2)存放设备数量多时,宜绘制设备放置平面图,在图上应标出设备名称、型号及存放位置编号;
3)小型精密设备应存放在器材架上;
4)严禁存放腐蚀、易燃、易爆物品,严禁火种接近。
- 其它标准
- 推荐标准
- GB国家标准标准计划
- GB8442-1987 纺织品上颜色迁移进入聚氯乙烯涂层的评定
- GB/T1742-1979 胶液粘合强度测定法
- GB/T14021-2009 马来松香
- GB50074-2014 石油库设计规范
- GB/T833-1988 开槽大圆柱头螺钉
- GB/T4223-1996 废钢铁
- GB/T30137-2013 电能质量 电压暂降与短时中断
- GB10687-1989 防爆用呆扳手
- GB/T13190-1991 汉语叙词表编制规则
- GB10454-1989 柔性集装袋
- GB/T5506.3-2008 小麦和小麦粉 面筋含量 第3部分:烘箱干燥法测定干面筋
- GB/T19995.1-2005 天然材料体育场地使用要求及检验方法 第1部分:足球场地天然草面层
- GB/T8434-1998 纺织品 色牢度试验 耐缩呢色牢度:碱性缩呢
- GB17931-2003 瓶用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)树脂
- GB/T11024.2-2001 标称电压1kV以上交流电力系统用并联电容器 第2部分:耐久性试验
请牢记:“bzxz.net”即是“标准下载”四个汉字汉语拼音首字母与国际顶级域名“.net”的组合。 ©2009 标准下载网 www.bzxz.net 本站邮件:[email protected]
网站备案号:湘ICP备2023016450号-1
网站备案号:湘ICP备2023016450号-1