【国家标准(GB)】微电子技术用贵金属浆料测试方法分辨率测定

本网站发布时间： 2008-03-31 15:00:00

GB/T17473.6-2008
现行

基本信息

标准号：
GB/T 17473.6-2008
标准名称：
微电子技术用贵金属浆料测试方法分辨率测定
标准类别：
国家标准(GB)
标准状态：
现行
发布日期：
2008-03-31
实施日期：
2008-09-01
出版语种：
简体中文
下载格式：
.rar.pdf
下载大小：
KB

标准分类号

标准ICS号：
冶金>>有色金属>>77.120.99其他有色金属及其合金
中标分类号：
冶金>>有色金属及其合金产品>>H68贵金属及其合金

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替代情况：
替代GB/T 17473.6-1998

出版信息

出版社：
中国标准出版社
书号：
155066·1-31525
页数：
5页
标准价格：
10.0 元
出版日期：
2008-06-01
计划单号：
20062657-T-610

其他信息

首发日期：
1998-08-19
起草人：
刘成、赵汝云、陈伏生、马晓峰、刘继松、朱武勋
起草单位：
贵研铂业股份有限公司
归口单位：
全国有色金属标准化技术委员会
提出单位：
中国有色金属工业协会
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
主管部门：
中国有色金属工业协会

标准简介/下载

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标准简介：

本标准代替ＧＢ／Ｔ１７４７３—１９９８《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法》(所有部分)，本标准分为７个部分,本部分为ＧＢ／Ｔ１７４７３—２００８的第６部分。本部分规定了微电子技术用贵金属浆料分辨率的测定方法。本部分适用于微电子技术用贵金属浆料的分辨率测定。本部分代替ＧＢ／Ｔ１７４７３．６—１９９８《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法分辨率测定》。本部分与ＧＢ／Ｔ１７４７３．６—１９９８相比，主要有如下变动：———将原标准名称修改为微电子技术用贵金属浆料测试方法分辨率测定；———增加了固化型贵金属浆料分辨率测定的内容；———原“光刻膜丝网网径２０?２５μｍ不锈钢丝网”改为“光刻膜丝网，丝网孔径不大于５４μｍ”；———增加６．３将印有固化型的试样按其规定的工艺要求进行静置、烘干、固化，固化后试样膜厚控制在１μｍ～１５μｍ；———分辨率规格分级重新定义为０．１ｍｍ、０．２ｍｍ、０．３ｍｍ、０．４ｍｍ、０．５ｍｍ五个级别。 GB/T 17473.6-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法分辨率测定 GB/T17473.6-2008 标准下载解压密码：www.bzxz.net

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