【有色金属行业标准(YS)】 外延钉缺陷的检验方法

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主题内容与适用范围
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。YS/T 24-—92
本标准适用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小于4um的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比较少且彼被此不相连，本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。2方法提要
将一片聚酯塑料薄膜以特殊方式沿三个不同方向推过试样表面，在两个或两个以上方向碰到的表面突起物被判定为钉缺陷。
3器具与材料
3.1真空吸片装置或镊子。
3.2聚酯塑料薄膜，厚度为25μm，面积为50mm×50mm。4试验样品
抽样方案及试样数量由供需双方商定。5检验步骤
5.1将真空吸片装置吸住试样背面，或用镊子夹持住试样。对于仲裁检测，也可将试样外延面朝上置于清洁表面上。
5.2拇指和食指夹住聚酯塑料薄膜，使薄膜在拇指下延伸约25mm，并与试样表面成45°倾斜。5.3于参考面对面，将薄膜与试样接触，见图1。案酯膜
海膜移动力向
图1试样和聚酯膜放置方尚
5.4推动薄膜至主参考面（见图2中方向①）。中国有色金属工业总公司1992-03-09批准606
1993-01-01实施
YS/T24--92
图2移动方向
5.5使薄膜重复做一系列平行且互叠加的移动。5.6记下薄膜与突起物相碰的每一个位置。5.7对其余两个方向（见图2中方向②和方向③）重复5.5～5.6条。三个方向大致马成120°角。5.8在两个或两个以上方向上，聚酯塑料薄膜与试样表面突起物相碰的每个位餐，当作为一个钉缺陷。
注：必要时，可用显微镜检查钉缺陷的存在及位置。6精密度
本方法对单个实验室平均检出率为95%，精密度为土5%（R2S），对多个实验室平均检出率为92.6%，精密度为士10%（R2S)。7
试验报告
7.1对于批量验收，试验报告应包括：产品类型；
批编号：
有钉缺陷试样数与被检试样数；c.
本标准编号，
检验单位、检验者和检验日期。7.2对于仲裁检验，还应包括标有钉缺陷大致位置的试样形貌图。附加说明：
本标准由中国有色金属工业总公司标准计壁研究所提出。本标准由上海有色金属研究所负责起草。本标推正要起草人施海青、金胜祖。本标准等效采用美国标准ASTMF815--83《外延钉缺陷检验方法》。607
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