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本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。 GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件 GB/T15861-1995
本标准规定了多探针测试台的术语、技术要求、试验方法、检验规则、包装贮存等要求。本标准适用于手动、半自动、全自动多探针测试台。其他类型的探针测试台亦可参照使用。 GB/T 15394-1994 多探针测试台通用技术条件 GB/T15394-1994
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