【航天工业行业标准(QJ)】 洁净室(区)内洁净度级别及评定

中华人民共和国航空航天工业部航天工业标准QJ 2214-91
洁净室（区）内洁净度
级别及评定
1991-08-01发布
中华人民共和国航空航天工业部1992-05-01实施
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主题内容与适用范围
引用标准
空气洁净度级别
空气洁净度级别的鉴定和监测
典型工艺及产品对空气洁净度级别的婴求次
附录 A手工操作粒径分级和粒子数的方法(补充件}.附录B光学粒子计数器的操作补充件）附录C拉斯金(Laskin)喷嘴的结构寸(参考件)附桑
典具产品灯社拍净级型的装考件万稚17bzw.cn脆黛葛髓他饮鑫葛頔痕科5湖
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中华人民共和国航牢航天工业部航天工业标洁净室（区）内洁净度级别及评定生题内容与适用范围
QJ 2214-91
本标准规定了洁净室（区）内空气洁净度级别，以及空气洁净度级别鉴定和洁净度益测的方法，
本标准适用于以空气晶浮粒子为控制测象，新建，收建、扩建的洁净空（区的分级和评定，
2引用标准
GB b[7,1 生埃拉了计数端性能试验方达 转换炎数发B6167.2尘埃粒子计数器性能试验方法颗粒数浓度GB6165高效空气过滤器性能试验方法3术语
3. 1洁净室 (区)
空气悬浮粒子浓度被控制在规定界限内的房问或限定空间，3. 11空态(工态)测试
洁净室【区）已峻工，净化空调系统已处止常运行状态，室内设有工艺设各和生产：人员的情况下进行的测试。
3. 1. 2静态测试
洁序牵【区）净化空谢系统已处十正常运行状态，工艺设务已安装并空载运行，室内没有生产人员的情况下进行的测试，3.1. 3-动态测试
洁室（区）已处于正常生产状态下进行的测试，32洁净度
洁净室(区)内等于或大于某粒径的空气悬浮粒子的浓度航空航天工业部 1991-08-01批准离稚17bzw.cn脆黛褐髓他铁駕褐颛痕张科5湖
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1992-05-01 实施
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33净度级别
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1m’空气中等或大于某一粒径的悬浮粒于在统计学上许可的粒数的相关数对于一般洁净度级别，定义为1m2空气中等于或大于0.5um的粒子在统计学上许可的粒数除以35应的整数，称为n级；对于1.1μm活净度级别，定文为1m空气中等十或大于0.1μm粒子在统计学上许可的粒数除以 35后的整数，称为 0.1 μm t级，当 0.1μm 范净度级别为35时，与一般活净度级别的1级相衔接，3.4粒子
粒径在0.001～1000jm之间前固体或液体物质。3.5粒径
用光学显微镜观测时在观测平面上粒子规在最大线长度，或用自劲化仪器源得的粒子当量直径，当量直径是其有已出特性开和被测量的粒子对检测仪器产生相向响应的参照球的直径。
3,看粒子浓度
单位体程空气中粒于的粒数，粒于液度且在文左米空中的粒数米示单向流(层）
其有总体平行的流线，以单一通路、单一方向通过洁净室（区）的气流，3.8非单向流(乱流)
具有多通路循环特征或者气流方向不平行的气流，3. 9等动力采样
进人采样仪器的气体速度【在人口或人口面处）的大小和方向与被采样的周用空气的速度和方向相间条件下的采样。震信上限
若平均值是从高斯（正态）分布中抽样取得的，按一给定置信百分数的情祝【此处为95%）下，订算的估计上限值会人于实际平购低，计算的估计上限值称为信上限。3. 11气溶胶
固体、羧体粒了或两种拉于在气体介质巾的悬浮体系，4「空气洁净度级别
4.1级别界限的确定
各空气洁净度级别的粒子度异限见表1和图1。表1和图1的洁净度级别界限仅为分级而规定的，不代表在具体场合必然存在的粒径分布，4.2确定100级及劣于100级的级别时的检测粒径空气洁净度级别可以通过测定表1中所列该级别的任仰一种粒径上的粒子数来确定。2
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若测得的粒户浓度按5.6杀的统计分析方法确定在表丨所示江何一种粒径上规定的界限内，购认为达到该级别，
4.3确定优于100级（包括0.1um洁净度级别)的级别时的捡测粒径空气洁净度级别应按工艺要求，指定在表中列出的·种或几种粒径上测至，开按5.6条的统计分析方法确定，
4.4通过在其它粒径上的测盘来分级道过表1或图1规定的粒径以外的粒径上的测量来确定空气洁净度的级别时，其计数值不应超出表1中比测量粒径大的邻近数径所规定的粒了计数界限值，且不应超母表1和图1的两个端点外延。
0.1urh10级
[级(0.Eum35级）
100级
100级
10000级
100000级
35 × 5
35×10
35×35
35 ×350
(35×0.2)
35×75
35× 750
35×34)
35×300
35×10
35×100
35×1000
35 ×10000
35 × 100000
数子等方米
35× 70
35 x 700
注：表中*ד号后面的数字为每立方失尺空气中的粒子数，括号内的数卒为参考值，4.5空气洁净度级别的内插规定
在有特殊要求时，可以规定与丧」提的级别不同的洁净度级别（如50级，300纸
5000级，0.1讯m20级等对于1～100000级，其内插级期可以用一条乎行升图1规足的级别界限的直线与0.5um粒轻线的点的粒于数除以35后的整数来确定：对丁
0.1um洁静度，其内播级别可用一条-平行于图1中规定的级别养限的直线与0.14m粒径线交点的粒子数除以35后的整数来确定：任何内措级别界限不应用下列限定粒径以外测至的粒子浓度丧示：
a，劣于1000级应按工艺要求，用0.5um或5um的粒径测量来确定；3
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b.劣于10级而优于 1000级的级别应按工艺要求，用0.2，0.34m或0.5jm的粒径测量来确定：
c.劣于1级而优于10级的级别应按工出要求，用0.1.0.2，0.3，0.5m的粒径中的种或几种粒径测抵米定；
d.劣下0.1um10级而优于1级的级别应按工艺要求,用0.1，0.2，0.3μm的粒径中的一种或几种粒径测量来确定；
e.劣于0.1μm5级而优丁0.1Jm10级的级别应按工艺要求，用0.1μm或0.2μm的拉径炉的一种或两种粒径谢量来确定；f.约于0.1μm1级而优于0.1μm5级的级别在0.1μm粒径上期量确定5空气活净度级别的鉴定和监测
5. 1空气洁净度级别的鉴定
一个洁净宰（区）的空气洁净度级别应在下死条牛下，避过測基空气甚浮粒子的浓腰来确定
5. 1.签定性测试时机
准活净室（区）建成或投人运行后应进行鉴定性测试。在洁净室（区）内生产设备和工艺进行重大变化或究气净化系统让行大检修后，应进行鉴定性测试，也可按艺要求随时进行
5. 1. 2 测试状态
空气洁净度级别的鉴定，可采川“案态”，“静态”，“动态或其它规定的状态，根据不同的测试且的，由设让、施工，使用单位迹商确定，并在使国单代规定的环境签数条件下进行迎试
空态测试用以检验洁净室（区)的设计、空调净化系统的设计和施工安装能否满足要求，静态测试用以检验工艺设备布置和设备的产尘其是否满足要求：动态测试册以进一检验工艺，生产人员操作情说是否止常。5.1.3粒子计数
对于洁净室（区）内所有洁净虚级别的鉴定，应按5.3杀规定的一种方法进行粒子订数
5.1.4采样点及采样次数
征何一个净室，（区)，其采样点不低十两个，洁净室（区）内除了受设省限制的地方外，采样点应均句分布。每一个采样点采样次数不应低平1次，每个洁净室（区）完最的总采样次数不应低于5饮bzxz.net
5.1.4.1单向流
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对于单向流，洁许区是根据与气流方向垂直流人和流出平面来确足的，溉人平面应刚好在洁净工作区上游处。洁净工作区一般指洁净室（区）内离地面0.8～1.5m高度的以域。生产工艺特殊或高大厂房的洁净工作区高度范围应根据使要求另行规定：对于以验收为自的的活净度淘试，虚在系规是的过您器装量泄清试验以技.8承规是的围护结构及层流罩诱导渗漏试验合格后进行。采样点位置应在洁挣工作区平面上均匀分布，也可按工么要求指定，个枯净室（区）空我估度级别鉴定所带的最少采样点数等于以平方米计算的流人平面面积数值除以2.5，5.1.4.2非单向流
对于非单间流，除了洁净区内受设备限制的地外，采样点应在水乎方向上均勾布置
并接照规定在垂直方向上均匀布置。最少采样点数的计算公式如下A×10
式中：N—非单向流洁净(区)最少采样点数；A一以平方米计算的洁净室(区)地极(流人平面)面积数值一洁净室（区）的空气洁净度级别5.1.5采样量和采样时间
+*+++(1
5.1.5.1不同空气洁净度级别和不同检测粒径的每次最少采样空气基（以下简称采样基！见表2。采样时闻是由来样量除以采样流率计算出来的，采样量的大小应作记录，51-5.2表2十未规定的其宅级别的采样星、应按妻中与宅相邻的要优级刚的采样显规定
丧2中未规定的其它粒子的采样，应按中比它大的相邻粒子的采样懂规定，516
数据的记录
陪将军(区)测试时采样点的市置、采样次数、采样结果，谢试状态以及有关的环境参数和运行状况应作记录。根据实际情况可以选择记录的环境参数和运行状况，包括风速、换气次数，室内空气压力、新风量、温度、凝度、单问流的气流平行度，噪声，振，动、自存时间、设备及人员活动状况等，51.7数据的统计计算
鉴定空气洁净度的级别应按5.6条的规定对粒于浓度测量数据进行统于计算。52空气洁净度的监测
洁净室《区）的空气洁净度在签定合格后，应在动态下予以监测，首先应对粒了浓度作连续测量或多次谢呆，有关的环境参数和运行状况也可纳人监测内释。6
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0.1μm级
0.1un5级
0.1m10坡
[0. t35 级]
100级
1000级
10000级
100000级
28 1×210
(28.3 × 4.0)
(28.3 × 2.0)
(28.3× 0.6)
[28.3 × 0.1
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(28.3 × 20.0)
(28.3 × 10.0)
(28.3×3.0)
(28.3 x0.3)
(28.3 ×0.1)
(28.3 × 23.3)
(28,3× 7.0)
(28.3 × 0.7)
(28.3 ×0.1)
注：表中括号内“ד号后面的数字为每立方英尺数，$ 2. 1 监测计划
(28.3 × 20.0)
(28.3 × 2.0)
(28.3 ×0.2)
(28.3 ×0.1)
(28.3 × 3.0)
(28.3 × 0.3)
使用单位应根探空气洁净度级别、工作性质及产品防拍所必须的清净度控制摇度求制讨监测计划，监测计划规定监测周期、粒子计数方法，粒径、监测点位置、数基及采样量，以及采样数据分析处理的方法等，5. 2. 2粒子计数
粒了的计数应按5.3条规定的测基方法进行，离稚17bzw.cn脆黛褐髓他铁駕褐颛痕张科5湖
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5.2.3监谢位置
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监测位置应选择在工艺对洁净度要求严格的地方以及在鉴定测试期间发现粒子浓度较高的地方。
5.2.4采样量
监测时，不同空气洁净度级别和不同检测粒径的采样量应符合表2规定，52.5数据的分析处理
空气洁净度监测的数据应按5.6条的规定进行统计分析处理5.3引盘粒子浓度的方法
53.1粒径等于或大于5um的粒子计数粒径等于或大于5m的粒子计数，应采用于工操作粒径分级和粒子数的坊法，或使用光学粒子计数器，手工操作粒径分级和粒子计数的方法应接附录A（补充件）的规定；光学粒子计数器的操作应按附录B(补充件）的规定，5.3.2粒径等于或大于0.1um的粒子计数粒径等工或大工01um的粒子止数，应使用光学粒手计数器井按附录B的规定。该计数器必须使用单个粒子的计数方式，只有定期标定并且维护良好的粒子计数器才能在粒子浓质测中使历，粒径大小应为参照标准粒了的当量直径5.3.3粒径等于或大于0.0F的拉子计数粒径等于或大于0.01um的粒子计数可以使用凝结核计数器，并应使用单个粒子的计数方式。
5.4测量粒子浓度的仪器
闲同几何尺寸或操作原理不同的光学粒子计数器，凝结核计数器对而一拉于群计数时，会得出不同的结果。即使设计相同并且近期都标定过的任何萨台粒了计数器，在对同一地点的空气来样时，也会得出不同的潮量结果，5.4.1光学粒子计数器
光学粒了计数器是用显示（或）记录的手段对空气中离散粒子和粒轻进行分级的光敲射式仪器。
北学粒手计教器用手洁净室（区）内洁净康的鉴定和监测，也可用于过滤器装置泄漏试验、围护结构及层流罩诱导渗漏试验。光学粒广计数器而丁高效空气过燃器装叠泄谢试验和洁净室【区】围护结构准层流贸导率漏试验时。其率样流率4应低于29.3L/ min，并能检测0.5um或0.3μm的粒径，光学粒子计数器川于装有超商效空气过滤器的洁净室（区）的过滤器装胃泄漏试验和固护结构收层流举诱导渗漏试验时，应能检测0.1um的粒轻，采样流率不应低于300mL/min
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5，4.2凝结核计数器
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凝结核计数器是通过光学检测蒸汽凝结在小粒子表面而形成的液滴，对等丁或大于约为0.01um的空气悬浮粒子计数的一种仪器，疑结核计数器用丁洁净室（区）内洁净度的监定和监测，也用丁装有超高效穿气让器的洁净室（区）的过滤器装置泄漏试验和围护结构及层流罩诱导灌漏试验，使而凝结核升数器时，应在计数器前连接能分辨出0.1um的啦径分级器，用凝结核计数器鉴定和临测洁净室（区）内洁净度时，应用粒径分级器测出等于或大于规定粒径的子浓度。54.3显微镜
显微镜是出几个避镜组合构成，利川光学放大并观察微细物休的像的一种仪器。适宜角显微镜进行粒径分级和粒子计数的粒于为0.3～20um的固体粒子。鼎微镜用了活净室（区）内活净设定和蓝测时对等或大干M的粒于进行手工操作粒径分级和粒于计数，
显微镜测量的粒子的粒径是观测到的粒子视在最大线长度，5.4.4秘释器
使用粒子计数器时，诞定的粒子浓度或粒径大小都不应超出制造厂规定的上限值。测垦结果矩出上限的粒子浓度时，应使用经过标定的稀释器；粒子浓度低丁牧了计数器上限值时，不应使用稀释器，避免由士腾释产生的认量误差5.5粒子计数器的标定
粒子心数器应定期到部指定的单位进行标定，需要标定的参数包括采伴流率，粒径利时间设定慎，
国产粒子计数器的标定按GB6167.1、6167.2的要求进行.进口粒F讯数器的标定参照附录 B进行.
统计分析
洁净案（区）内空气沾净旺级别鉴定的账浮泣子级度数据采集知分析，成按以下规定进行．
5心，1验收标准
洁净室（区）满足空气洁净废级别的验收标准必须间时满足下划两个条件：a.在每一采样点测得的粒子浓度平均值等于或长于该级别界限值（见表1);b.各测点半均粒子滩均俏的95%骨信上限等于或低十该级别界展值。5,6、295%量信上限的许算方法
3.6、2.1一个采样点的平均粒于浓度的计算公式如下：稚17bzw.cn黛褐髓种铁黛褐顏痕张科5渊縫蟀17izw.com脆蟀种妖峄架鹅轰1乐颖60翼
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式中：”一采样点的平均粒子叛度，粒／立方米;C，一各次采样粒子计数值，粒/立方米；B一该点进行采样的次数。
5. β. 2 2 各点半均粒子浓度均值的计算公式如下:N
式中：M一各点平均粒子挫度的均慎，粒／文方米；卫一各平拦点的平均拉千浓度，啦/立方半一采样点数，
5.6.3标准编差的计算公式如下：..-(2)
我中：
S一各点平均粒于浓度的标偏差，粒／立方米。5.6.2.4标准误差的计算公式如下：a
式中：一各平均粒子浓度均的标准误差，粒文方米，5.6.2.5置信上限计算公式如下：r =m+a×K
式中：T，一各平均粒广浓度均值的95%骨信上限，粒／立方米K一与采样点数相的95%置信上限系数10
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