【航天工业行业标准(QJ)】 红外干涉滤光片通用技术条件

中华人民共和国航天工业部部标准QJ1697-89
红外干涉滤光片通用技术条件
1989-02-25发布
1989-10-01实施
中华人民共和国航天工业部发布主题内容与适用范围
引用标准
技术要求
试验及检验方法
质量保证：
8包装、标记、贮存和运输
（10）
(13）
(16）
中华人民共和国航天工业部部标准红外于涉滤光片通用技术条件
1主题内容与适用范围
1.1主题内容
QJ1697-89
本标准规定了波长从0.7um到50um的红外F涉薄膜（多层或单层）的一般性能和耐久性要求。它包括了在本波段适用的基片上镀的膜层。1.2适用范围
本标准适用于卫星上使用的红外干涉滤光片和光学零件的增透膜，其它红外波段的滤光片可参照使用，
本标准不能代替其它膜层标准，如激光膜等，但可以作为其它膜层标准的补充，2引用标准
GB1185光学零件表面瘫病
GB1315～1330光学零件薄膜
GB903无色光学玻璃
GB1331光学制图
8机械制图
GB4458
3术语
3.1滤光片
optical filter
用以使辐射通过时改变其通量或其光谱成分的光学零件。3.2干涉滤光片
interferencefilter
用于涉方法改变光的光谱成分的光学零件3.3带通滤光片
bandpass filter
透射带的两边都有较深抑制带的滤光片。它包括超窄带滤光片、窄带滤光片和宽带滤光片。
3.4透射率
transmissivity
辐射通过介质时的辐射通量与人射到该介质上的输射通量之比。通常用百分比来表示。3.5峰值透射率.Tp
航天工业部1989-02-25批准
1989-10-01实施
peak transmittance
QJ1697-89
指一块滤光片所具有的透射率的极大值。3.6平均透射率
average transmittance
平均透射率是指所要求的波长范围的平均性能，它可以从红外分光光度计测得的透射率曲线上求得。即在其上画一条等透射率直线，使在此波长范围内的透射率曲线的上面透射的辐射面积等于在它下面没有透射的那部分的面积，这一直线所对应的透射率叫平均透射率。
平均透射率用百分比表示（见图1、图2）3.7中心波长
centrewavelength
带通滤光片峰值透射率一半时通带两边的两个波长的中间值，定义为：一
3.8带宽（半宽度）
，式中，和2分别表示通带峰值透射率一半处通带两边的波长。bandwidth(halfwidth)
通常是指透射率为峰值透射率一半时的通带宽度。带宽用波长的单位来表示。3.9通带
bandpass passband
是透射滤光片透射的波长范围，通常指半宽度3.10截止区
rejection region
指给定的通带以外的光谱范围，一般规定透射率小于1%。3.11相对带宽
relativebandwidth
带宽与中心波长之比。
3.12,十分之一带宽△io.1
-bandwidth
峰值透射率10%的两点间的波长间隔。3.13通光孔径（或有效面积）
clear apertuer(C.A)
指要求镀膜的直径(或有效面积)。3.14减反射膜（或增透膜）
anti-reflectioncoating
为了减少表面反射损失而镀到光学零件表面上的薄膜(F涉型),它可为单层也可为多层。3.15监控片(或比较片）
QJ1697-89
延长线
延长线
图1滤光片术语图解
QJ 1697-89
2【（14-16）um的］增透膜术语图解50
250200
coatingmonitor
QJ1697-89
是在沉积光学镀层时用来监视或计量膜层厚度的基片。3.16试验片（验证片）
witness piece
是一个试验时替代产品的“试验替代片”。它比起产品来除了面积可以不同外，其它技术要求应完全相同。这样，对它做的试验就川以认为是对产品所做的试验。3.17基片
substratebzxZ.net
根据滤光片要求所选定的光学材料制备而成。3.18抗磨蚀性
abrasion resistance
是指用指定的方法磨擦滤光片表面时，表面抗磨损和不被擦掉的能力。3.19附著力
adhesion
是膜层附着在基片上的牢固度的量度。3.20牢固性
durability
指滤光片对特定的环境试验的抗损坏能力，应包含的指定试验如下：溶解度、温度、湿度、盐雾、抗磨蚀性。
3.21可清洁性
cleanability
指膜层和滤光片材料在一定的清洁操作中抗损伤的总强度。3.22抗湿性
humidityresistance
指滤光片能经得住在高湿度条件下储存或使用的能力。3.23均匀性
uniformity
指该滤光片的光谱性能在有效面积任部分中的均一性和允许偏差范围。3.24漏光
指滤光片透过了不应透过的辐射能量。漏光有两种：a：光谱漏光
spectral leaks
指透过了通带波段以外的其它不应透过的光谱；b．针孔漏光
pinhole leaks
QJ1697-89
指漏过一部分不希望有的辐射。它是由所镀膜层上的“针孔”或膜层的缺陷造成的。3.25针孔
pinholes
指镀膜表面膜层中产生漏光的小缺陷。3.26蒸发批
evaporation lot
在同一蒸发室内同一次镀制的一批产品。3.27破边
breakontheedge
基片边缘的破损，
3.28擦痕
scratches
指表面的任何擦伤或磨损留下的痕迹。3.29麻点
产品表面上的小斑点。
3.30麻点直径
dig diameter
取与其面积相等的圆的直径，作为该麻点的直径。4技术要求
4.1膜层表面质量
4.1.1物理方面
膜层不应有剥落、起皮、裂纹和超过允许范围的气泡等疵病。4.1.2外观和可允许症病
膜层应符合图样或其它文件所规定的外观要求。镀膜表面应没有污点、色斑、变色、条纹、浑浊等疵病。
但在光学系统中位于焦平面外的光学零件上的疵病，若不影响光学性能和耐用度要求，则是允许的。
4.1.3表面疵病(擦痕和麻点)
膜层上的擦痕和麻点不得超过图样或其它文件所规定的数值。膜层上溅滴和针孔按麻点处理；膜层上的擦痕和麻点应与基片上的擦痕和麻点的要求分别对待。注：镀膜表面的擦痕和麻点用二个字母中间加一短横来表示。（如F-F)，前一个字母表示擦痕级别宽度上限，后一个字母表示麻点级别直径上限。4.1.3.1擦痕
擦痕级别所表示的擦痕宽度如表1。6
擦痕级别
QJ1697-89
表1擦痕标准
擦痕宽度上限
擦痕宽度下限
膜面上所出现的所有大尺寸的擦痕累积长度不应超过镀膜表面的平均直径的四分之擦痕宽度小于表1中下限的可忽略不计。4.1.3.2全部擦痕
如果镀层符合4.1.3.1的要求，则将进一步根据全部擦痕进行评价，所有符合表1规定的擦痕都应考虑。所有擦痕的宽度分别乘以它们的长度与膜层直径之比的总和，当最大尺寸的擦痕达到该级别擦痕宽度上限时，其总和不得超过该级别擦痕宽度上限的一半；当上述最大尺寸的擦痕不存在时，其总和不得超过所规定的擦痕宽度上限。4.1.3.3麻点
麻点级别所表示的麻点的直径如表2。表2麻点标准
麻点级别
点直径上限
麻点真径下限
只要麻点直径上限不超过麻点等级的规定，在镀层表面任一直径为20mm的范围内达到规定级别直径上限的数目不得超过1个。麻点直径小于表2中下限的可忽略不计。7
4.1.3.4全部麻点
QJ1697-89
如果镀层的麻点符合4.1.3.3的要求，则应进一步根据全部麻点进行评价。所有符合表2规定的麻点都应考虑。在镀层表面任一直径为20mm的范围内，所有麻点的直径之和不得超过允许的麻点直径上限的二倍。4.2光学特性
4.2.114～16μm的红外带通滤光片的光学特性如表3。表3光学特性
峰值透射率
平均透射率
中心波长
峰值透射率的带宽
截止区的透射率
波长<12um
17.2um波长<22μm
14～16μm减反射膜的光学特性如表44.2.2
≥70%
≥60%
15.10±0.25um
15.25±0.25um
(1.8± 0.2)μm
≤2.75μm
用监控片测光谱透射率特性曲线时，监控片的厚度应为1.7±0.1mm。表4光学特性
峰值透射率
平均透射率
4.3膜层的耐久性
4.3.1环境和物理上的耐久性
光学膜表面应符合下列顺序所规定的技术要求。数
两面镀膜：≥90%
单面镀膜：≥60%
两面镀膜：≥88%
单面镀膜：≥57%
4.3.1.1附着力
把胶带紧贴在膜层上，然后以垂直于膜层的方向迅速地将胶带揭下，膜层应没有脱膜的迹象。
4.3.1.2交变湿热
QJ1697-89
在规定的温度和湿度下，连续循环三次，镀层表面应符合4.1.1和4.1.2的要求。4.3.1.3抗磨强度
膜层应能经受磨擦试验或擦拭试验，通常用擦拭试验代替，膜层表面应没有诸如条纹或擦痕等明显的磨损现象。
4.3.1.4振动
镀膜光学零件要经受振动试验。试验后应符合4.1.1和4.4.1中的要求。4.3.2耐热和耐清洁性
光学膜表面应符合下列条件：
4.3.2.1温度循环
在规定的高低温度下连续循环两次，镀层表面应符合4.1.1和4.3.1.1的要求。4.3.2.2可溶性和耐清洁性
膜层在指定溶液中浸泡后，应符合4.1.1和4.1.2中的要求。4.3.3耐久性选定要求
当零件图样和其它文件上对耐久性有规定时，应符合下列条件，或以下列条件代替，下列试验通常不对同一个零件进行。4.3.3.1水溶性
膜层在蒸馏水中浸泡后应符合4.1.1和4.1.2的要求。4.3.3.2盐溶性
膜层在盐溶液中浸泡后应符合4.1.1和4.1.2中的要求。4.3.3.3热真空
膜层在热真空试验后应符合4.1.1和4.1.2的要求。4.4基片
基片材料应根据图样或其它文件确定，未确定时，基片材料可以出承制单位选择，必须符合4.2的要求。
4.4.1内部缺陷
在镀膜之前，基片材料应进行内部缺陷估价，例如气泡和其它缺陷。这些缺陷不应超过4.1.3.3中对麻点的要求。同时也应对条纹、裂纹、杂质等进行估价。对这些缺陷的限制应符合GB903的规定。
4.4.2表面缺陷
基片上表面缺陷应使镀膜零件不超过4.1.3规定的表面质量要求。4.4.3尺寸与图样
在镀膜之前，基片应符合4.4.3.1、4.4.3.2和4.4.3.3的要求。图样应符合GB1331、GB4458的规定。4.4.3.1基片尺寸
光学零件的尺寸及公差应符合图样要求。4.4.3.2通光孔径
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。