【建筑材料行业标准(JC)】 QSG1、QSG2透明石英玻璃坩埚

中华人民共和国建筑材料工业部部
QSG1、QSG2透明石英玻璃埚
本标准适用于半导体工业拉制单晶用的透明石英玻璃。JC 17981
代替 JC 179-
半导体用透明石英玻璃埚有QSG1高纯透明石英玻璃塌与QSG2透明石英玻璃两种。一、技术要求
1. 物理、化学性能指标
（1）化学成分
a：QSG1高纯透明石英玻璃
铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不得大于0.001%。其中：铝≤5×10-4%，
铁≤0.5×10-4%，
钾≤1×10-4%;
b.QSG2透明石英玻璃埚
铜≤0.1×10-4%；
硼≤0.1×10-4%；
钠≤1×10-4%。
铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不得大于0.01%。其中：铝≤60×10-4%；
铁≤5×10-4%，
钾≤4×10-%，
（2）热稳定性
铜≤0.1×10-4%，
硼≤0.3×10-4%,
钠≤4X10-*%。
试样在1100℃至20℃温度急变下试验三次，不产生裂纹。（3）抗析晶性
试样在1200℃温度下恒温半小时，对于高纯透明石英玻璃埚不允许出现直径大于0.5毫米的析晶白点；对于透明石英玻璃书埚不允许出现直径大于3毫米的析晶白点，0.5～3毫米的析晶白点，每100平方厘米不得超过10个。
2.外观指标
（1）两种埚均按外观指标分为二级（见表1）。中华人民共和国建筑材料工业部发布
建筑材料科学研究院提出
1981年3月1日实施
建筑材料科学研究院
允许数量(个/厘米\）
丝状长径(毫米)
点状直径(毫米)
弧度部分
直线部分
允许总数（个/100 厘米\)
长　径
弧度部分
直线部分
充许数量（条/100厘米2）
丝状长径(毫米)
点状直径(毫米)
允许总数（个/100通米）
撤痕直径(毫米）
揪痕深度(癌米)
100 毫米以下甘娲此内容来自标准下载网
JC 179-81
0. 1~0. 2
不充许
不充许
不充许
101~130毫米
透明颗粒允许数量（个/100厘米）波纹(癌米）
注：①缺陷宽度小于点状下限的按丝状计。②非圆形缺陷的直径按算术平均值计。10
不充许
不充许
按标样
不充许
（2）塌口部应细磨（内外倒角）或烧圆。不得有缺口，不得有深、宽大于4毫米的表皮期落。（3）埚表面光滑整洁，内表面不允许有色斑。（4）不充许有沾污和析晶。
二、形状与规格尺寸
3．.半导体用透明石英玻璃埚的形状与规格尺寸应符合下图及表2的规定。472
90±8:
114+9:8
130±:3
110±2
注：D130毫米以上塌按协议。
4．化学成分
JC 179-81
单位：毫米
底半径
三、试验方法
厚度范围
2. 0～2.8
横截面的厚度公差
按JC186一81《石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法》中的规定进行。5.热稳定性
按JC187—73《石英玻璃热稳定性检验方法》中的规定进行。6.抗结晶性
按JC188-73《石英玻璃抗结晶性检验方法》中的规定进行。7.气泡
按JC190—81《透明石英玻璃气泡、气线检验方法》中的规定进行。473
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