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- JB/T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件
标准号:
JB/T 4082-1991
标准名称:
溅射离子泵 技术条件
标准类别:
机械行业标准(JB)
标准状态:
现行-
发布日期:
1991-07-22 -
实施日期:
1992-07-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.rar.pdf下载大小:
中标分类号:
机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
替代情况:
JB 4082-1985

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标准简介:
标准下载解压密码:www.bzxz.net
本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。本标准适用于JB/T 4081所规定的二极型(L型)和三极型(3L型)的溅射离子泵(以下简称泵)。 JB/T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件 JB/T4082-1991
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