资料名称: | JB/T4081-1991 JB/T 4081-1991 溅射离子泵 型式与基本参数 |
标准类别: | 机械行业标准(JB) |
语 言: | 简体中文 | ||
授权形式: | 免费下载 | ||
标准状态: | 现行 | ||
作废日期: | ◎ | ||
发布日期: | 1991-07-22 | ||
实施日期: | 1992-07-01 | ||
首发日期: | ◎ | ||
复审日期: | ◎ | ||
出版日期: | 1992-07-01 |
标准编号: | JB/T 4081-1991 | |
标准名称: | 溅射离子泵 型式与基本参数 | |
下载文件: | .rar .pdf .doc | |
标准简介: | 本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射离子泵。 JB/T 4081-1991 溅射离子泵 型式与基本参数 JB/T4081-1991 标准下载解压密码:www.bzxz.net | |
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替代情况: | JB 4081-85(参考) | |
采标情况: | (参考) | |
发布部门: | 国家机械工业局(参考) | |
提出单位: | 全国真空技术标准化技术委员会(参考) | |
归口单位: | 全国真空技术标准化技术委员会(参考) | |
主管部门: | (参考) | |
起草单位: | 机械电子工业部沈阳真空技术研究所(参考) | |
起 草 人: | 冯玉国(参考) | |
出 版 社: | 机械工业出版社(参考) |
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页 数: | 2 页(参考) | |
书 号: | (参考) | |
计划单号: | (参考) | |
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