【国家标准(GB)】 电子工业用气体 三氯化硼

本网站 发布时间: 1999-09-01 15:00:00
  • GB/T17874-1999
  • 现行

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 17874-1999

  • 标准名称:

    电子工业用气体 三氯化硼

  • 标准类别:

    国家标准(GB)

  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    1999-09-01
  • 实施日期:

    2000-06-01
  • 出版语种:

    简体中文
  • 下载格式:

    .rar.pdf
  • 下载大小:

    KB

标准分类号

  • 标准ICS号:

    化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
  • 中标分类号:

    化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

关联标准

出版信息

  • 出版社:

    中国标准出版社
  • 页数:

    平装16开, 页数:8, 字数:11千字
  • 标准价格:

    10.0 元

其他信息

  • 首发日期:

    1999-09-16
  • 复审日期:

    2004-10-14
  • 起草单位:

    光明化工研究设计院
  • 归口单位:

    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 发布部门:

    国家质量技术监督局
  • 主管部门:

    国家标准化管理委员会
标准简介标准简介/下载

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标准简介:

本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料,采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼,主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼 GB/T17874-1999 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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