- 您的位置:
- 标准下载网 >>
- 标准分类 >>
- 国家标准(GB) >>
- GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法
【GB国家标准】 硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法
本网站 发布时间:
2023-12-17 12:44:35
- GB/T 39145-2020
- 现行
标准号:
GB/T 39145-2020
标准名称:
硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法
标准类别:
国家标准(GB)
标准状态:
现行出版语种:
简体中文下载格式:
.zip .pdf
标准简介/下载
点击下载
标准简介:
GB/T 39145-2020.Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers-Inductively coupled plasma mass spectrometry.
1范围
GB/T 39145规定了电感耦合等离子体质谱法测定硅片表面金属元素含量的方法。
GB/T 39145适用于硅单晶抛光片和硅外延片表面痕量金属钠、镁、铝、钾、钙、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌元素含量的测定。本标准同时也适用于硅退火片、硅扩散片等无图形硅片表面痕量金属元素含量的测定。
注:硅片表面的金属元素含量以每平方厘米的原子数计。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 6624硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T 14264半 导体材料术语
GB/T 17433冶金产品化学分析基础术语
GB/T 19921硅抛光片表面颗粒测试方法
GB/T 25915.1-2010洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级
GB/T 37837四级杆电感耦合 等离子体质谱方法通则
JJF 1159 四级杆电感耦合等离子体质谱仪校准规范
SEMI F63半 导体加工用超纯水指南(Guide for ultrapure water used in semiconductor processing)
3术语和定义
GB/T 14264、GB/T 17433、GB/T 37837和JJF 1159界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
扫描溶液 scanning solution
通过扫描方式收集的含有硅片表面痕量金属元素的溶液。
3.2
直接酸滴分解法 direct acid droplet decomposition ;DADD
用含有氢氟酸的提取液分解硅片表面的氧化层,形成疏水性表面,使硅片表面的痕量金属被收集到提取液中形成扫描溶液。
1范围
GB/T 39145规定了电感耦合等离子体质谱法测定硅片表面金属元素含量的方法。
GB/T 39145适用于硅单晶抛光片和硅外延片表面痕量金属钠、镁、铝、钾、钙、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌元素含量的测定。本标准同时也适用于硅退火片、硅扩散片等无图形硅片表面痕量金属元素含量的测定。
注:硅片表面的金属元素含量以每平方厘米的原子数计。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 6624硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T 14264半 导体材料术语
GB/T 17433冶金产品化学分析基础术语
GB/T 19921硅抛光片表面颗粒测试方法
GB/T 25915.1-2010洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级
GB/T 37837四级杆电感耦合 等离子体质谱方法通则
JJF 1159 四级杆电感耦合等离子体质谱仪校准规范
SEMI F63半 导体加工用超纯水指南(Guide for ultrapure water used in semiconductor processing)
3术语和定义
GB/T 14264、GB/T 17433、GB/T 37837和JJF 1159界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
扫描溶液 scanning solution
通过扫描方式收集的含有硅片表面痕量金属元素的溶液。
3.2
直接酸滴分解法 direct acid droplet decomposition ;DADD
用含有氢氟酸的提取液分解硅片表面的氧化层,形成疏水性表面,使硅片表面的痕量金属被收集到提取液中形成扫描溶液。
- 推荐标准
- GB国家标准标准计划
- GB/T15046-1994 脂肪酰二乙醇胺
- GB/T23613-2009 锇粉化学分析方法 镁、铁、镍、铝、铜、银、金、铂、铱、钯、铑、硅量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
- GB/T13576.1-2008 锯齿形(3°、30°)螺纹 第1部分:牙型
- GB/T33880-2017 热等静压铝硅合金板材
- GB9115.6-1988 PN0.25MPa(2.5bar)凸面对焊钢制管法兰
- GB/T30269.1001-2017 信息技术 传感器网络 第1001部分:中间件:传感器网络节点接口
- GB4377-1984 半导体集成电路 稳压器测试方法的基本原理
- GB/T18116.2-2000 氧化钇铕化学分析方法 电感耦合等离子体原子发射光谱法测定氧化钇铕中氧化铕量
- GB/T 40084-2021 钢铁行业能源管理绩效评价指南
- GB7079-1986 电子器件详细规范 半导体集成电路CH2001型HTL双4输入与非门(可供认证用)
- GB/T14352.11-1993 钨矿石、钼矿石化学分析方法 火焰原子吸收分光光度法测定铋量
- GB26453-2011 平板玻璃工业大气污染物排放标准
- GB733-1987 黄麻麻袋、麻布试验方法
- GB/T15067.2-2016 不锈钢餐具
- GB/T 37508-2019 造型黏土中防腐剂的测定 高效液相色谱法
请牢记:“bzxz.net”即是“标准下载”四个汉字汉语拼音首字母与国际顶级域名“.net”的组合。 ©2009 标准下载网 www.bzxz.net 本站邮件:[email protected]
网站备案号:湘ICP备2023016450号-1
网站备案号:湘ICP备2023016450号-1