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【有色金属行业标准(YS)】 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
本网站 发布时间:
1992-03-09 16:00:00
- YS/T23-1992
- 现行
标准号:
YS/T 23-1992
标准名称:
硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
标准类别:
有色金属行业标准(YS)
标准状态:
现行-
发布日期:
1992-03-09 -
实施日期:
1993-01-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.rar.pdf下载大小:
KB
标准简介/下载
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标准简介:
本标 准 规 定了根据堆垛层错尺寸测量硅处延层厚度的方法本标 准 适 用于在,tloo>和(110)晶向的硅单晶衬底仁生长的硅外延层厚度的测缝外延 层 中 应存在着发育完整的堆垛层错,其大小可用干涉相衬显微镜r:接观察(非破坏性的),或经化学腐蚀后用金相显微镜观察(破坏性的)。测量范围为2^75 um. YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 YS/T23-1992 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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